（一） 光學顯微儀之量測
光學顯微鏡用來做微透鏡加工表面細微結構的觀察，放大倍率 可以到達數百倍至數千倍，所量到的圖形等同於透鏡的俯視圖，對 於透鏡表面的粗糙度以及整體結構一目了然，並且可對製程作最初 步的檢驗，如下列所示各圖皆為各元件之顯微鏡放大圖。
圖 4-1 、直角錐陣列放大 200 倍圖
圖 4-2、直角錂鏡放大 200 倍圖
圖 4-3、微透鏡陣列放大 200 倍圖
圖 4-4、圓弧柱鏡放大 200 倍圖
圖 4-5、微透鏡陣列放大 450 倍圖
圖 4-6、圓柱狀鏡放大 450 倍圖
（二）薄膜測厚儀（α-stepper ）
薄膜測厚儀是利用細小的探針與待測面接觸，利用驅動器使探 針滑過表面將其上之高高低低的位移，透過線性位移轉換器變成電 訊送至電腦以計算各種數值，故可用來做微光學元件之加工深度的 測量，所量到的圖形等同於元件之剖面圖，並而瞭解到加工參數與 蝕刻深度的關係，而且對於工件的壁垂直度以及深寬比的關係獲得 確切的掌握。唯一美中不足的是，薄膜測厚儀是以探針和微光學元 件表面互相接觸，難免會有刮傷。而探針的針尖直徑約為 1~2μm，
如果待測物的線寬太細，則會造成失真。
1.微直角錐陣列（寬度為 100μm、深度為 50μm）：
圖 4-7、微直角錐陣列剖面圖
如圖（4-7）為微直角錐陣列剖面圖，上圖為微直角錐陣列局部 放大剖面圖，下圖為原尺寸剖面圖，其線條非常平順。此微直角錐 陣列的加工過程是由直角三角形的光罩所加工的 ，由於我們設計之 微直角錐陣列寬度為 100μm、深度為 50μm，故由上圖可知其已經 接近我們所要的直角錐，再由下圖可知在其接近直角錐的地方有些 不平整，反而造成接近直角錐的地方不直角，故此為造成誤差的所 在。而其所控制之雷射光束照射能量為 0.188mJ，雷射光束脈衝頻 率為 20Hz，與工件拖拉速度為 1.2mm/min，而其工件拖拉速度與加 工深度之關係為：
V
× 1 K
= H
H：加工深度 V：工件拖拉速度 K：加工係數 其工件拖拉速度與加工深度之關係如下表所示：
0.0 20.0 40.0 60.0 80.0 100.0 120.0 140.0
0 0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5 4 4.5 5 5.5 工 件 拖 拉 速 度 ( m m / m i n ) 加 工 深 度
(μm )
表 4-1、微直角錐陣列工件拖拉速度與加工深度之關係表 經過計算其加工係數（K）值為，K=1017.6383μm2/sec。
2.微透鏡陣列（寬度為 215μm、曲率半徑為 250μm）：
圖 4-8、微透鏡陣列剖面圖（一）
而圖（4-8）為微透鏡陣列局部放大剖面圖，上圖為微透鏡陣列局部 放大剖面圖，下圖為原尺寸剖面圖，其線條也非常平順。此微透鏡 陣列的加工過程是由圓弧形的光罩所加工而成，而此我們所設計之 微透鏡寬度為 215μm、曲率半徑為 250μm、加工所需之深度為 25 μm，故由上圖可知其所能控制之參數已經接近我們所要的，其所控 制之雷射光束照射能量為 0.140mJ，雷射光束脈衝頻率為 20 Hz，與 工件拖拉速度為 1.6mm/min，而經過如微直角錐陣列之計算其加工 係數（K）值，K=683.7633μm2/sec，其工件拖拉速度與加工深度之 關如下表所示：
0 10 20 30 40 50 60 70 80
0 0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5 4 4.5 5 5.5
工件拖拉速度（mm/min）
加工深度
（μm）
表 4-2、微透鏡陣列工件拖拉速度與加工深度之關係表 3. 微透鏡陣列（寬度為 43μm、曲率半徑為 50μm）：
圖 4-9、微透鏡陣列剖面圖（二）
圖（4-9）為另一組微透鏡陣列局部放大剖面圖，其線條也非常平順。
也由於我們設計之微透鏡寬度為 43μm、曲率半徑為 50μm、加工所 需之深度為 5μm，故其所控制之雷射光束照射能量為 0.033mJ，雷 射光束脈衝頻率為 20 Hz，與工件拖拉速度為 2.0mm/min，而經過計
算其加工係數（K）值，K=192.2733μm2/sec，其工件拖拉速度與加 工深度之關如下表所示：
0 2 46 8 1012 1416 18 2022 24
0 0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5 4 4.5 5 5.5
工件拖拉速度（mm/min）
加工深度
（um）
表 4-3、微透鏡陣列工件拖拉速度與加工深度之關係表 4.微透鏡陣列（寬度為 50μm、曲率半徑為 25μm）：
圖 4-10、微透鏡陣列剖面圖（三）
而圖（4-10）為微透鏡陣列局部放大剖面圖，上圖為微透鏡陣列局 部放大剖面圖，下圖為原尺寸剖面圖，其線條也非常平順。此微透 鏡陣列的加工過程是由半圓形的光罩所加工的，欲用來與圓弧形光 罩之加工的微透鏡作光點圖比較，而我們設計之微透鏡寬度為 50μ m、曲率半徑為 25μm、加工所需之深度為 25μm，故由上圖可知其 所能控制之參數已經接近我們所要的，其所控制之雷射光束照射能 量為 0.295mJ，雷射光束脈衝頻率為 20 Hz，與工件拖拉速度為 0.7 mm/min，而經過計算其加工係數（K）值，K=401.0483μm2/sec，其 工件拖拉速度與加工深度之關如下表所示：
0 5 10 15 20 25 30 35
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
工件拖拉速度（mm/min）
加工深度（
μm）
表 4-4、微透鏡陣列工件拖拉速度與加工深度之關係表