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懸浮結構應用於紅外線感測器之設計與製作

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Academic year: 2021

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(1)國 立 交 通 大 學 電子工程學系 電子研究所 碩 士 論 文. 懸浮結構應用於紅外線感測器之設計與製作 Design and Fabrication of Suspended Membranes for Microbolometer Applications. 研 究 生:郭定隆 指導教授:黃宇中. 博士. 中 華 民 國 九 十 三 年 六 月.

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