國
立
交
通
大
學
電子工程學系 電子研究所
博
士
論
文
高介電係數介電質於金氧金電容之研究
The Investigation of Metal-Insulator-Metal Capacitor Using
High-κ as Dielectrics
研 究 生:江國誠
指導教授:荊鳳德 教授
高介電係數介電質於金氧金電容之研究
The Investigation of Metal-Insulator-Metal Capacitor
Using High-κ as Dielectrics
研 究 生:江國誠 Student:Kuo-Cheng Chiang
指導教授:荊鳳德 Advisor:Dr. Albert Chin
國 立 交 通 大 學
電子工程系 電子研究所博士班
博 士 論 文
A Dissertation
Submitted to Department of Electronics Engineering & Institute of Electronics College of Electrical and Computer Engineering
National Chiao Tung University in partial Fulfillment of the Requirements
for the Degree of Doctor of Philosophy
in
Electronics Engineering
June 2007
Hsinchu, Taiwan, Republic of China