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金屬 金屬 金屬 金屬----半導體半導體半導體-半導體---金屬光金屬光金屬光金屬光電電檢測器應用於電電檢測器應用於檢測器應用於檢測器應用於整合式整合式整合式整合式生物生物生物生物晶片晶片晶片 晶片An On-chip Metal-Semiconductor-Metal Photodetector as a Biosensor 研研 研研 究究究究 生生 生生 : : : : 林志杰林志杰林志杰 林志杰 Chie-Chieh Lin 學學學 學 號號號號 :::: 9452513 指導教授指導教授指導教授指導教授 : : : 柯富: 柯富祥柯富柯富祥祥 祥 博士博士博士博士////Dr. Fu-Hsiang Ko 中 華 民 國 九 十 六 中 華 民 國 九 十 六 中 華 民 國 九 十 六 中 華 民 國 九 十 六 年年年年 七 月七 月七 月七 月
金屬
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金屬-
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-半導體
半導體
半導體
半導體-
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-金屬光檢測器應用於整
金屬光檢測器應用於整
金屬光檢測器應用於整
金屬光檢測器應用於整
合式生物晶片
合式生物晶片
合式生物晶片
合式生物晶片
An On-chip Metal-Semiconductor-Metal
Photodetector as a Biosensor
研研研研 究究究 究 生生：生生：：林志杰：林志杰林志杰 林志杰 Student： ：：：Chie-Chieh Lin
指導教授 指導教授 指導教授 指導教授：：：柯富祥：柯富祥柯富祥 柯富祥 Advisor：：：：Fu-Hsiang Ko 國 國國 國 立 立立 立 交交交 交 通通 通通 大大大大 學學學學 奈 奈 奈 奈 米米米米 科科科科 技技技技 研 研研研 究究 究究 所所所 所 碩 碩碩 碩 士 士士 士 論論 論論 文文文文 A Thesis
Submitted to Institute of Nanotechnology College of Engineering
National Chiao Tung University
in partial Fulfilledment of the requirements for the Degree of
Master in
Nanotechnology July 2007
Hsinchu, Taiwan, Republic of China
