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AlGaInP與GaN發光二極體之特性提升

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Academic year: 2021

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圖 1-5 傳統 GaAs sub.與 Cu sub.的 I-V 曲線[4]  二、  文獻回顧與理論背景研究  2.1 晶圓接合技術  晶圓接合技術是將兩片晶圓互相接合,再進一步使表面原子反 應,產生鍵結,讓兩片平面彼此間的鍵結能達到一定強度,而使這兩 片晶圓純由原子鍵結成為一體。這種特性能使接合介面表保持絕對純 淨,避免無預期之化學黏接物雜資污染,以符合現代微電子材料、光 電材料及奈米材料等級微機電嚴格製做要求。這種技術可以接合不同 晶格、不同種類之單晶或多晶材料。這項複合之材料具有不同的物理 性質(如
圖 2-3 本實驗室設計用來晶圓接合的夾具 2.  接合溫度的取捨  原則上接合溫度希望是越低越好。這是因為不同材料的晶圓其熱 膨脹係數不同。如果接合的溫度太高,晶圓間熱膨脹係數差異的影響 就會增大。而且高溫製程會影響元件的表現,因此低溫接合已是晶圓 接合一個重要的趨勢了。在接合的過程中,接合界面處的原子數量會 因傳輸而重新分配。原子數量的傳輸在異質界面處是很重要的,可以 使表面的粗糙趨於平緩。  當兩個不同材料要接合,在高溫製程步驟時,會因為熱膨脹係數 的不同導致在接合材料上產生應力場。當應力場超過臨界值
圖 2-4 發光二極體之發光原理      相較於 IV 族,III-V 族複合材料如:InSb、InAs、GaSb、InP、 GaAs。雖然上述材料具有直接能隙,但是對於可見光而言,能隙仍是 過低。GaP 有效大的能隙(2.26eV),可發出綠光但卻是間接能隙,發 光效率不高,就純以二元的 III-V 族複合材料而言,並沒有高效率的 可見光二極體。      為了增加 II-V 族二元化合物的能隙且不改變其直接能隙的特 性,使用合金(alloy)便成為獲得特性良好的方法之一。藉由 III-V 族元素之間合
圖 2-5 III-V 族材料成份、能隙與晶格常數[11]
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