國 立 交 通 大 學
工學院產業安全與防災學程
碩 士 論 文
高科技廠
土壤及地下水污染風險預防管理及控制
Soil and groundwater pollution risk management and
control for High technology Factory
研 究 生 : 温 正 華
指導教授 : 張 翼 教授
中華民國 九十九 年 一 月
高科技廠
土壤及地下水污染風險預防管理及控制
Soil and groundwater pollution risk management and
control for High technology Factory
研 究 生: 温 正 華 Student : Cheng Hua Wen
指導教授: 張 翼 Advisor : Chang Edward Yi
國 立 交 通 大 學
工學院產業安全與防災學程
碩 士 論 文
A Thesis
Submitted to Degree Program of Industrial Safety and Risk
Management College of Engineering
National Chiao Tung University
in Partial Fulfillment of the Requirements
for the Degree of
Master of Science
in
Industrial Safety and Risk Management
January 2010
Hsinchu, Taiwan, Republic of China
中華民國 九十九 年 一 月
高科技廠土壤及地下水污染風險預防管理及控制 學生：温正華 指導教授：張翼 國立交通大學工學院產業安全與防災學程 摘 要 有 鑑 於 經 濟 快 速 發 展 , 各 產 業 之 工 廠 需 求 大 增 , 因 此 土 地 被 快 速 的 開 發 利 用 , 這 其 中 有 以 科 學 園 區 內 之 土 地 最 明 顯 ； 在 這 些 高 科 技 廠 中 , 高 污 染 性 化 學 藥 品 、 油 品 等 之 種 類 相 當 繁 多 再 加 上 現 今 各 製 程 複 雜 , 廠 房 中 管 線 、 儲 槽 密 佈 , 一 旦 發 生 洩 漏 事 件 , 因 洩 漏 所 造 成 之 土 壤 或 地 下 水 環 境 之 污 染 , 影 響 相 當 長 久 , 需 耗 費 巨 額 金 錢 與 時 間 才 可 解 決 。 為 避 免 科 技 廠 對 土 壤 及 地 下 水 產 生 污 染 , 自 建 廠 規 劃 到 營 運 生 產 , 廠 區 全 面 性 之 土 壤 及 地 下 水 污 染 污 風 險 預 防 管 理 及 控 制 極 為 重 要 ； 在 此 透 過 一 座 研 發 測 試 廠 及 三 座 十 二 吋 積 體 電 路 廠 之 經 驗 ， 彙 整 及 擬 定 出 下 列 計 畫 內 容 : 建 廠 階 段 :對 於 即 將 開 發 之 區 域 必 須 展 開 調 查 , 包 括 該 區 域 之 土 地 使 用 背 景、土 壤 及 地 下 水 調 查、區 域 現 場 勘 查 及 訪 談 , 透 過 充 分 掌 握 過 去 及 現 況 , 藉 以 確 認 出 可 疑 污 染 源 及 規 劃 選 出 具 代 表 性 之 採 樣 點 。 營 運 階 段 :則 需 透 過 建 廠 階 段 所 掌 握 之 土 壤 及 地 下 水 檢 測 結 果 、 地 下 水 流 向 、 水 文 資 料 及 廠 區 污 染 潛 勢 調 查 結 果 , 進 行 綜 合 分 析 以 建 構 營 運 廠 區 之 地 水 監 測 網 。 藉 由 以 上 建 立 之 標 準 程 序 , 除 可 做 到 土 壤 及 地 下 水 污 染 風 險 預 防 管 理 , 當 發 生 洩 漏 污 染 緊 急 狀 況 時 更 可 透 過 緊 急 應 變 程 序 以 達 到 污 染 控 制 。 高 科 技 廠 以 營 運 利 益 為 宗 旨 , 但 仍 需 秉 持 著 企 業 對 於 環 境 保 護 之 責 任 。 本 論 文 計 畫 之 目 標 : 建 制 出 一 套 可 供 高 科 技 廠 依 循 之 土 壤 及 地 下 水 污 染 風 險 預 防 管 理 及 控 制 程 序 ， 希 望 能 降 低 初 期 建 廠 因 誤 判 開 發 地 下 水 污 染 廠 址 , 導 致 無 法 順 利 建 廠 之 風 險 ； 並 於 營 運 階 段 提 供 一 套 完 善 之 土 壤 及 地 下 水 污 染 監 控 網 , 避 免 及 降 低 可 能 引 發 之 土 壤 及 地 下 水 污 染 。 關鍵詞：土壤地下水、環境調查、污染潛勢、監測井、綜合分析
Soil and groundwater pollution risk management and control for High technology Factory
Student：Cheng Hua Wen Advisors：Dr. Chang Edward Yi
Submitted to Degree Program of Industrial Safety and Risk Management College of Engineeri
ng
National Chiao Tung University ABSTRACT
In order to meet with all kinds of industrial factory demands with the rapid growing development of economics, land has been rapid developed and utilized, especially for the Science park. Within these high-tech factories, high polluting chemicals, oil and complicated process coupled with pipelines, storage tanks were constructed. Once the pollution of soil and underground environment resulted from the leakage happened, it is required to spend huge money and time to solve it.
To avoid this kind of problem, it is extremely important to establish the system of risk management and control from the plant to operation stage. Therefore, in this project , we propose the following plans by use of the experience of one RD research and three 12-inched integrated circuit factories.
In the plant stage, investigations of the upcoming developed region were necessary, including the background information of developed land,investigation of soil、underground environment and regional visit, interview . By the full grasp of these past and present information, the suspected polluted source would be confirmed and representative sample points could be located.
In the operation stage, from the establishment and comprehensive analysis of soil、groundwater monitoring results, groundwater flow, hydrological data and factory pollution potential findings in the plant stage, a groundwater monitoring network of the factory could be constructed.
Therefore, by use of the above proposed SOP, not only the risk of soil and groundwater pollution could be prevented and managed, but also the urgent pollution caused by the leakage could be controlled efficiently.
For high-tech factory, benefit is the most important undoubtly, but should supposed to be responsible for the prevention of environment pollution. The
object of this project is to propose a series of risk prevention , management and control of the soil and groundwater pollution. To decrease the risk of unproperly plant construction caused by the misjudgment of developed region in the plant stage and provide a comprehensive soil and groundwater pollution monitoring network to reduce the pollution in the operation stage.
Key words: Soil groundwater, environmental investigation, Pollution Potential, monitoring wells, comprehensive analysis
誌謝
首先非常謝謝我的指導教授張翼老師給我許多的指導，真是銘記在 心，另外也感謝我的處長丁立文先生的勉勵及家人、同事們的支持，還有 許多中鼎顧問公司、學長姊們與朋友的協助，因為有這麼多長輩先進幫助 我，方可讓我順利完成研究所學業；交大產安研究所是一所多元化及極具 深度之大學，這些年來，透過授課老師們的教導與解惑，授與各不同領域 裡之學識，給予更深更廣之專業技術，大大提升本身之專業識能，給予我 在環境保護及安全衛生管理工作職場上，提升更高之領域層級；畢業後， 期望能應用在學校所學的各項技能專長能，無論在職場上或學術領域上， 都能在環境保護及安全衛生管理上盡一己之力。目 錄
摘 要 ··· i ABSTRACT ··· ii 誌 謝 ··· iv 目 錄 ··· v 表 目 錄 ··· vii 圖 目 錄 ··· viii 第 一 章 、 緒 論 ··· 1 1.1 研 究 動 機 與 研 究 目 的 ··· 1 1.2 研 究 內 容 ··· 2 第 二 章 、 法 規 及 文 獻 回 顧 ··· 8 2.1 國內相關法規探討 ··· 8 2.2 因應土壤及地下水法規之作為 ··· 10 第 三 章 、 研 究 方 法 與 步 驟 ··· 11 3.1 新建廠階段土壤及地下水污染調查 ··· 11 3.1.1 土壤及地下水採樣分析計畫擬訂及執行 ··· 15 3.1.2 土壤取樣點之篩選 ··· 18 3.1.3 土壤採樣方法及設備 ··· 18 3.1.4 簡易地下水監測井設置 ··· 20 3.2 建廠後營運階段之土壤及下水污染潛勢調查監測 ··· 30 3.2.1 基本資料蒐集分析 ··· 32 3.2.2 廠區污染潛勢評估 ··· 33 3.2.3 土壤採樣點及地下水水質監測井網規劃 ··· 39 3.2.4 地下水設置規劃作業 ··· 40 3.2.5 地下水監測井功能維護 ··· 48 3.2.6土壤採樣方法及設備 ··· 49 3.3 土壤及地下水應變計劃 ··· 51 3.3.1 概述 ··· 51 3.3.2 長期性洩漏土水污染應變措施 ··· 53 3.3.3 緊急污染洩漏事件 ··· 64 3.3.4 廠外污染事件應變作為 ··· 67 3.3.5 調查設備與個人防護 ··· 69 3.3.6 訓練及演練初步評估護 ··· 75 3.3.7 土壤及地下水污染改善技術護 ··· 76 第 四 章 、 採 樣 及 檢 測 分 析 ··· 86 4.1 土壤及地下水採樣位置 ··· 86 4.2 土壤及地下水質分析項目 ··· 864.3 土壤及地下水採樣時程 ··· 88 4.4 採樣分析之品保品管計畫 ··· 88 4.4.1 採樣方法 ··· 89 4.4.2 採樣之品保及品管 ··· 91 4.4.3 採樣作業品保品管執行 ··· 98 4.4.4 土壤及地下水檢驗之品保與品管 ··· 99 4.4.5 分析作業品保品管執行 ··· 99 4.4.6 監測結果分析及研判 ··· 103 第 五 章 、 實 蹟 與 運 作 ··· … … … 104 5.1 廠址土壤及地下水環境背景調查 ··· 104 5.1.1 廠址環境背景調查 ··· 104 5.1.2 地下水監測井規劃設置及採樣分析 ··· 108 5.1.3 土壤採樣規劃及分析 ··· 121 5.1.4 監測結果分析 ··· 126 5.1.5 監測井功能維護 ··· 126 5.1.6 綜合研判 ··· 131 5.2 執行人力與成本 ··· 131 5.2.1 執行人力 ··· 131 5.2.2 執行成本 ··· 132 5.3 困難與建議 ··· 134 第 六 章 、 結 論 ··· 135 6.1 本研究結果 ··· 135 6.2 本研究建議 ··· 141 參 考 文 獻 ··· 143
表
目
錄
表1 新 建 廠 階 段 用 地 土 壤 及 地 下 水 調 查 評 估 … … … 3 表2 新 建 廠 階 段 地 下 水 監 測 系 統 … … … 4 表3 計 畫 工 作 項 目 … … … 7 表4 新 建 廠 階 段 用 地 土 壤 及 地 下 水 調 查 評 估 … … … 1 3 表5 新 建 廠 階 段 用 地 地 下 水 監 測 系 統 … … … 1 4 表6 現 場 監 工 要 事 紀 錄 表 … … … 2 4 表7 監 測 井 之 水 文 地 質 記 錄 … … … 2 7 表 8 完 井 紀 錄 表 … … … 2 8 表 9 高 科 技 廠 可 能 具 污 染 潛 勢 之 區 域 … … … 3 4 表10 較 具 土 水 污 染 潛 勢 區 域 程 度 劃 分 表 … … … 3 8 表11 離 地 土 壤 處 理 技 術 … … … 7 8 表12 現 地 土 壤 處 理 技 術 一 覽 表 … … … 8 1 表13 地 下 水 處 理 技 術 一 覽 表 . … … … 8 4 表14 土 壤 及 地 下 水 分 析 項 目 及 分 析 方 法 … … … 8 8 表15 土 壤 各 種 檢 驗 項 目 的 採 樣 及 保 存 方 法 … … … 9 5 表16 水質（包括：水質水量、飲用水及地下水）樣品保存規定…97 表17 土壤品保品管執行結果………100 表18 地下水水質品保品管執行結果………101 表19 樣品分析品保品管執行查核結果………102 表20 監測井基本資料表………109 表21 地下水監測井地下水水位量測表………111 表22 地下水檢測結果………118 表23 土壤樣品分析方法、實驗室及保存方法表………123 表24 土壤重金屬檢測結果………124 表25 土 壤 V O C s 分 析 結 果 表 … … … 1 2 5 表26 土 壤 S V O C s 分 析 結 果 表 … … … 1 2 5 表27 地 下 水 監 測 井 出 水 速 率 測 定 記 錄 表 … … … 1 2 8 表28 監 測 井 井 體 攝 影 記 錄 表 … … … 1 3 0 表29 監 測 井 問 題 點 與 建 議 措 施 … … … 1 3 1 表30 土 壤 及 地 下 水 污 染 風 險 預 防 管 理 及 控 制 成 本 … … … 1 3 3圖
目
錄
圖1 計畫執行流程………6 圖2 採 樣 器 及 套 管 樣 本 … … … 2 0 圖3 為 現 場 施 工 作 業 … … … 2 6 圖4 完 井 作 業 照 片 … … … 2 9 圖5 土 壤 及 地 下 水 監 測 評 估 流 程 … … … 3 1 圖6 監 測 井 之 設 計 型 式 圖 … … … 4 4 圖7 監 測 井 設 置 永 久 性 標 示 … … … 4 5 圖8 土壤採樣步驟………51 圖9 長 期 性 洩 漏 土 水 污 染 應 變 措 施 流 程 … … … 5 5 圖10 不同形式之吸油棉………57 圖11 緊 急 洩 漏 事 件 土 水 污 染 應 變 措 施 流 程 … … … 6 6 圖12 長 期 性 廠 外 洩 漏 土 水 污 染 應 變 措 施 流 程 … … … 6 8 圖13 廠 區 外 緊 急 洩 漏 事 件 土 水 污 染 應 變 措 施 流 程 圖 … … … 7 0 圖14 各 種 型 式 之 測 爆 器 圖 … … … 7 1 圖15 各 種 型 式 之 光 離 子 偵 測 器 圖 … … … 7 2 圖16 火 焰 離 子 偵 測 器 圖 … … … 7 3 圖17 攜 帶 式 X 射 線 螢 光 偵 測 器 圖 … … … 7 3 圖18 各 式 鑽 機 圖 … … … 7 4 圖19 地 下 水 取 樣 說 明 圖 … … … 9 2 圖20 土 壤 及 地 下 水 採 樣 品 保 品 管 計 畫 執 行 流 程 圖 … … … 9 3 圖21 新 竹 科 學 工 業 園 區 地 理 位 置 示 意 圖 … … … 1 0 6 圖22 新 竹 科 學 工 業 園 區 一 期 用 地 … … … 1 0 7 圖23 場 址 勘 查 之 勘 查 圖 … … … 1 0 7 圖24 MW-01井構造示意圖………110 圖25 地 下 水 流 向 及 等 水 位 線 圖 … … … 1 1 2 圖26 場 址 土 壤 採 樣 點 … … … 1 2 1 圖27 土壤及地下水運作人員組織圖………132 圖28 土壤及地下水污染風險預防控制管理流程圖………140第一章、緒論
1.1研究動機與研究目的
近幾年來，由於「土壤及地下水污染整治法」的公佈及相關子法的逐 步建置，相關事業於設立、停業或歇業前及所使用土地在土地移轉時，將 面對土壤地下水調查之規定或要求，一旦用地發現土壤或地下水污染，而 被環保機關納入污染場址的列管程序後，則可能需耗費難以估計的金錢及 時間進行調查整治工作，情形嚴重者工廠甚至會遭到停業、停工等處分， 使得事業蒙受重大甚至難以承受之損失及責任。因此，事業主對於正在生 產使用的土地，應積極加強污染之防範並監測土壤及地下水之品質。若發 現污染之後則迅速採取污染改善措施，以避免污染擴大而導致更重大之損 失。此外，在事業土地取得之前，也有必要充分瞭解該用地土壤地下水潛 在污染可能性，以釐清在土地使用時可能涉及之土壤及地下水污染整治法 規相關責任。 有鑑於此，現代化高科技之工廠，所可能應用到之高污染性化學藥品、 油品等之種類相當繁多，加上現今各製程複雜，廠房中管線、儲槽密佈， 若一旦發生洩漏事件，輕則機器設備毀損，重則造成環境生態破壞及人員 死傷；而其中因洩漏所造成之土壤或地下水環境之污染，則是需耗費巨額 金錢與時間，方能進行有限度之處理，其所造成之影響是長久性的。有鑑 於此，現代化之高科技廠房，自建廠規劃到營運生產，針對廠區全面性之 土壤及地下水污染污染調查極為重要；新建廠房在施工動土前，針對開發 區域是否曾受土壤地下水之污染，皆是全然無知，必須透過準確可靠之評 估方法及技術，以確認開發區土壤及地下水之污染現況，進而判斷確認是 否進行開發；而在營運廠房部分，因為高污染性化學藥品、油品等之種類 相當繁多，加上廠房中管線、儲槽密佈，為達到土壤及地下水污染預防， 在正式運轉營運前，依據廠區內各高污染性化學藥品、油品、廠房中管線、儲槽配置規劃，而先行展開污染潛勢之評估，將可能導致土壤及地下水污 染之位置區域評估出來，作為在土壤及地下水污染污染防護措施及監測之 作為。 然新建廠區之土壤及地下水污染之調查結果，無論其背景資料、環境 調查資料、土地使用狀況、現勘結果等，都是未來完成建廠後營運，先行 規劃設置監測系統之重要參考資料；而高科技廠房秉持著企業對於環境保 護之責任，且為避免對土壤及地下水產生污染，建置出一套高科技廠之土 壤及地下水污染預防評估程序，為本論文計畫之內容。
1.2 研究內容
對於高科技廠房整體性之土壤及地下水污染防治工作，應包含二大主 軸，一為新建廠區開發前階段之土壤及地下水污染調查，另一為建廠後營 運階段之土壤及下水污染潛勢調查及監測。 .1.2.1在新建廠階段，其計畫內容應包含下列事項： 一、資料蒐集審閱 包括場址環境資料、場址歷史使用資料、及鄰近區域使用情形等之 蒐集整理： 1.蒐集的場址環境資料包括： (1) 是否曾屬主管機關公告為土壤、地下水污染控制場址。 (2) 是否曾屬主管機關公告為土壤、地下水污染整治場址。 (3) 是否位於公告之土壤、地下水污染管制區。 (4) 是否曾違反相關環保法規之紀錄。 (5) 場址所在地理位置圖、平面配置圖及其他相關地理、水文、地 質資料。 (6) 其他有助於評估土壤潛在污染之環境資料。 2. 蒐集的場址使用歷史資料，包括： (1) 航照圖：可供辨識場址開發及活動狀況之航照圖。(2) 土地登記資料：地政機關列管之土地登記資料。 (3) 土地使用分區資料：目標場址的土地使用分區資料。 (4) 其他有助於評估場址土壤潛在污染之歷史資料。 (5) 鄰近區域的場址使用情形 二、場址現勘 在完成相關資料之蒐集及研判後，進行計畫用地之現場勘查，現場 勘查須注意查對之內容，包括場址及毗鄰土地使用情形、水文地質以及 地形狀態、道路、飲用水供應、惡臭、污漬或腐蝕、地表鋪面、植被、 地上結構物、水井、管線、坑洞、水塘或池沼、儲槽、圓桶、有害物質 與石油產品容器、未經確認的物質容器、加熱冷卻裝置、化學品貯存、 廢水處理系統、廢棄物處理、化糞系統等。 三、人員訪談 訪談對象可包括：土地所有權人、管理人、使用人、當地居民及相關 地方政府官員等，以協助瞭解目標場址之使用情形以及評估所須之相關資 訊。針對新建廠區計畫用地土壤及地下水調查評估，各部份工作內容如表 1、表2所示。 表1 新建廠階段用地土壤及地下水調查評估 工作項目 工作細目 1.場址評估 101資料蒐集審閱 102場址勘查 103訪談 2.擬定採樣計畫及執行 201擬定採樣計畫 202土壤採樣 203土壤樣品檢測分析 204簡易監測井設置 205地下水採樣 206地下水檢測分析 3.調查分析結果評估及報告書撰寫 綜合相關調查成果，依計畫區之狀況進行分析 後，提出相關成果。
表2 新建廠階段地下水監測系統
工作項目
工作細目
1.基本資料之蒐集與研判 101廠區及鄰近地區現場資料研判 102廠區地下水地質與水文資料 103廠區雨污水收集系統 104廠區儲槽及使用之原物料分析 2.水質監測井規劃及設置 201監測井設置點評估規劃 202監測井設置 203洗井 204井位高程測量 205地下水位量測 206現場含水層透水試驗 3.地下水採樣分析 301地下水採樣 302地下水分析 4.環境綜合研判分析 401地下水檢測結果研判分析 402可能污染來源分析 403水文地質概念模式建立 5.報告撰寫 501彙整前述調查及分析結果 502分析可能之影響 503提出具體建議及因應對策.1.2.2建廠完成後營運前，其計畫內容應包含下列事項： 新建廠房完成建廠後，其製程、原物料及成品之運送與儲存，皆已完 成規劃定位完成，因此在營運前，除應積極防範土壤及地下水之污染之外， 實有必要建立一完整的污染監測計畫，以防範本身或來自於其他鄰廠所導 致之土壤及地下水污染。 因此，本計畫對營運廠區工作計畫主要目標在於以下三點： 一、藉由新建廠階段所得之監測結果，瞭解廠區水文地質特性、土壤及地 下水質現況，進而建立廠區之基本資料。 二、規劃評估廠區土壤及地下水可能之污染潛勢及特性，預防污染的產生 及擴大。 三、依據上述結果，整合規劃建立長期井網監測系統，以為預警之依據。 依據上述工作計畫內容，擬定本計畫之工作項目包括： ․基本資料之蒐集與研判 ․土壤採樣點及水質監測井之規劃與設置 ․土壤及地下水質採樣及分析 ․土壤及地下水環境綜合研判分析 ․結論 為能更清楚瞭解對上述工作內容之作法，以下將說明工作構想及詳述 各項工作之執行方法，其工作流程見圖1所示，主要工作項目則詳列於表3。
基本資料之蒐集與研判 • 廠區土地使用之歷史 • 廠區及鄰近地區現場資料研判 • 廠區地下水地質與水文資料 • 廠區雨污水收集系統 • 廠區儲槽、製程分析及使用之原物料分析 • 附近地區水文地質及地下水質背景現況分 土壤採樣點及地下水水質監測井網規劃及設置 • 數量及位置佈設 • 地質鑽探及土壤取樣 • 監測井設置 • 監測井維護、新設井完井及井高程測量 • 地下水位及流向調查及現場含水層透水試 土壤及地下水採樣及分析 結論與建議 水文地質概念模式建立 環境綜合研判分析 • 土壤及地下水污染程度研 判 監測井功能檢查維護及適用性評估 圖1 計畫執行流程
表 3 計畫工作項目
工作項目
工作細目
1.基本資料之蒐集與研判 101廠區及鄰近地區現場資料研判 102廠區地下水地質與水文資料 103廠區雨污水收集系統 104廠區儲槽、製程分析及使用之原物料分析(廠區污染潛勢調查分析) 2.土壤採樣點及水質監測 井規劃及設置 201土壤採樣點及監測井設置點評估規劃 202地質鑽探及土壤取樣 203實驗室土壤一般物理性試驗 204監測井設置 205洗井 206井位高程測量 207地下水位量測 208現場含水層透水試驗 3.土壤及地下水採樣分析 301土壤採樣 302土壤分析 303地下水採樣 304地下水分析 4.環境綜合研判分析 401土壤檢測結果研判分析 402地下水檢測結果研判分析 403可能污染來源分析 404水文地質概念模式建立 5.土水污染事件應變 501提出污染事件應變建議 6.結論與建議 601彙整前述調查及分析結果 602分析可能之影響 603提出具體建議及因應對策 604提出期中、期末簡報第二章、法規及文獻回顧
土壤及地下水乃為部分污染物可能之環境最終受體，任何人為或意 外的污染最終皆可能影響土壤及地下水，在現今國內法令及民眾對環境 品質要求漸高、對污染行為更加關切、甚至污染行為人可能因污染行為 觸法受罰之情形下，實有必要對新建廠區及營運廠區擬定監測及調查計 畫以防範於未然。此外，對於土壤及地下水所涉及之污染責任義務問 題，茲就法規面探討說明如下：2.1國內相關法規之探討
茲就「土壤及地下水污染整治法」之相關規定，就土地使用及開發 之部分，探討廠區應考量及因應之法規要點。 一、土壤及地下水污染整治法第八條 第八條規定：「中央主管機關指定公告之事業所使用之土地移轉 時，讓與人應提供土壤污染檢測資料。」，「土地讓與人未依前項規 定提供相關資料者，於該土地公告為控制場址或整治場址時，其責任 與場址土地所有人責任同。」 第八條適用時機為「土地移轉」時，由於科學園區或工業區之廠 房用地皆以向科管局「租用」方式使用，並不算是土地移轉，故並不 適用第八條之規定。 雖然如此，指定公告事業用途之土地租用者最好能在租用前要求 土地所有人提供該土地之土壤及地下水調查資料。若土地所有人無相 關調查資料或不願意提供調查資料，基於風險的考量，最好就該土地 進行場址污染的評估，以做為租用與否的參考。如果該土地已存在土壤地下水之污染，將來建廠及營運後才發現，而被公告為控制場址或 整治場址，縱然污染並非因本身之操作營運所致，不屬污染行為人， 仍可能因下列之管制措施而遭受損失： (一)母法第十三條：所在地主管機關為減輕污染危害或避免污染擴 大，應依控制場址或整治場址實際狀況，採取下列應變必要措施： (1) 命污染行為人停止作為、停業、部分或全部停工。 (2) 依水污染防治法調查地下水污染情形，並追查污染責任； 必要時，告知居民停止使用地下水或其他受污染之水源， 並得限制鑽井使用地下水。 (3) 提供必要之替代飲水或通知自來水主管機關優先接裝自來 水。 (4) 豎立告示標誌或設置圍籬。 (5) 通知農業、衛生主管機關，對因土壤污染致污染或有受污 染之虞之農漁產品進行檢測。必要時，應會同農業、衛生 有關機關進行管制或銷燬，並對銷燬之農漁產品予以相當 之補償。必要時，限制農地耕種特定農作物。 (6) 疏散居民或管制人員活動。 (7) 移除或清理污染物。 (8) 其他應變必要措施。 (二)母法第十八條：污染行為人、污染土地關係人或土壤、地下水污 染管制區內之土地使用人、管理人或所有人對於土壤、地下水污染 整治計畫或污染控制計畫之實施，應予配合；各級主管機關得派員 攜帶證明文件到場檢查或命提供必要之資料，不得規避、妨礙或拒 絕。
(三)土壤及地下水污染管制區管制辦法第六條：所在地主管機關於必 要時，得限制人員進入土壤污染管制區。 (四)土壤及地下水污染管制區管制辦法第七條：土壤污染管制區內禁 止下列土地利用行為，但經各該主管機關同意者，不在此限：(1) 新建、增建、改建或修建非因污染整治計畫或污染控制計畫需要之 建築物或設施。(2)符合開發行為應實施環境影響評估細目及範圍 認定標準，應進行環境影響評估之行為。(3)其他經中央主管機關 指定影響居民健康及生活環境之土地利用行為。 二、土壤及地下水污染整治法第九條 第九條規定：「中央主管機關指定公告之事業於設立、停業或歇 業前，應檢具用地之土壤污染檢測資料，報請所在地主管機關備查 後，始得向目的事業主管機關申辦有關事宜。 環保署已在民國九十三年十二月七日公告土壤及地下水污染整 治法第九條之事業，自民國九十四年一月一日起實施。半導體製造業 即屬公告事業之一。因此，依據該公告：「依法應辦理事業設立之許 可、登記、申請執照等相關行為。如有開挖整地或改變地形地貌者， 應於施工前完成檢測；否則應於工廠或設施進行試運轉（試車）前完 成檢測。」 因此，自民國九十四年一月一日起，依照第九條規定，辦理設廠 時，用地之土壤污染檢測資料乃屬必備的條件。 .2.2因應土壤及地下水法規之作為 綜合上述對於法規面之檢討，茲綜合歸納建議如下： 一、在土地租用前，最好就該土地進行場址污染的評估調查，以做為衡
量租用與否的參考，調查結果也可做為未來相關污染責任釐清之依 據。 二、辦理設廠時，用地之土壤及地下水污染檢測資料乃屬必備的條件。 建議依法於施工前完成檢測。 三、前二點建議之評估調查工作可合併辦理。 四、事業於設立、停業、歇業前及土地轉移，應檢具用地之土壤污染檢 測資料，因此，為達到污染預防，對於營運廠區，最好就該土壤及 地下水進行污染預防及監測，以做為未來相關污染責任釐清之依 據。
第三章、研究方法與步驟
對於高科技廠房整體性之土壤及地下水污染防治工作，分為二大部 分，一為新建廠區開發前之土壤及地下水污染調查，另一為建廠後營運 前之土壤及下水污染潛勢調查及監測；本章將就擬定工作內容及方法， 並於說明下述各節中。 .3.1.新建廠區土壤及地下水污染調查 為執行於土污法第八條及第九條之指定公告事業辦理土壤污染檢 測工作，環保署目前訂有參考指引供事業參。本計畫工作基本上將以相 關指引之內容為基礎，並參酌相關場址調查經驗，提出工作內容建議包 括計畫用地環境場址評估、土壤及地下水採樣分析計畫擬訂及執行，以 及評估報告等三大部分，茲分述如下。 一、資料蒐集審閱 包括場址環境資料、場址歷史使用資料、及鄰近區域使用情形等 之蒐集整理：1.蒐集的場址環境資料包括： (1) 是否曾屬主管機關公告為土壤、地下水污染控制場址。 (2) 是否曾屬主管機關公告為土壤、地下水污染整治場址。 (3) 是否位於公告之土壤、地下水污染管制區。 (4) 是否曾違反相關環保法規之紀錄。 (5) 場址所在地理位置圖、平面配置圖及其他相關地理、水文、 地質資料。 (6) 其他有助於評估土壤潛在污染之環境資料。 2. 蒐集的場址使用歷史資料，包括： (1) 航照圖：可供辨識場址開發及活動狀況之航照圖。 (2) 土地登記資料：地政機關列管之土地登記資料。 (3) 土地使用分區資料：目標場址的土地使用分區資料。 (4) 其他有助於評估場址土壤潛在污染之歷史資料。 新建廠區用地土壤及地下水調查評估，詳如表4所示。 新建廠區用地地下水監測系統，詳如表5所示。
表4 新建廠區用地土壤及地下水調查評估 工作項目 工作細目 說 明 1.場址評估 101資料蒐集審閱 102場址勘查 103訪談 檢視土地使用之歷史，並根據計畫區現場及附近 狀況，初步研判區域環境狀況: 1. 場址環境資料 2. 場址使用歷史 3. 鄰近區域使用情形 2.擬定採樣計畫 及執行 201擬定採樣計畫 202土壤採樣 203土壤樣品檢測分 析 204簡易監測井設置 205地下水採樣 206地下水檢測分析 初步擬定土壤採樣點及鑽設簡易監測井，並進行 土壤及地下水之採樣分析。 1.土壤採樣深度及分析項目如下： (1).表土0~15cm，分析項目為八大重金屬(鉛、 鉻、鎘、銅、鋅、砷、汞、鎳)，共計10個樣品 (2). 裡土15~30cm，分析項目為八大重金屬 (鉛、鉻、鎘、銅、鋅、砷、汞、鎳)，共計10 個樣品 (3). 深層土壤 50~100cm ,分析項目為 VOCs(包括苯、甲苯、乙苯、二甲苯、四氯化碳、 氯仿、1,2-二氯乙烷、1,2-二氯丙烷、順-1,2-二氯乙烯、反-1,2-二氯乙烯、三氯乙烯、四氯 乙烯、氯乙烯等13項)，共計10個樣品 2.地下水採樣分析項目如下： (1).一般項目(水溫、導電度、酸鹼值)、 (2).重金屬(鉛、鉻、鎘、銅、鋅、砷、汞、鎳) (3).VOCs：苯、甲苯、萘、四氯化碳、氯苯、 氯仿、氯甲烷、1,4-二氯苯，1,1-二氯乙烷， 1,2-二氯乙烷，1,1-二氯乙烯，順-1,2-二氯乙 烯，反-1,2-二氯乙烯，四氯乙烯、三氯乙烯、 氯乙烯 3.調查分析結果 評估及報告 書撰寫 綜合本計畫之相關調查成果，依計畫區之狀況進 行分析後，提出相關成果。
表5 新建廠區用地地下水監測系統
工作項目
工作細目
說 明
1.基本資料之蒐 集與研判 101廠區及鄰近地區現場資料研 判 102廠區地下水地質與水文資料 103廠區雨污水收集系統 104廠區儲槽及使用之原物料分 析 根據廠區配置及附近狀況，初步研判 區域地下水文、地質及潛在污染來源 3.水質監測井規 劃及設置 301監測井設置點評估規劃 302監測井設置 303洗井 304井位高程測量 305地下水位量測 306現場含水層透水試驗 初步擬定鑽設監測井，其中監測井完 成後將隨即進行洗井及監測井位址及 高程測量，並進行現場地下水位量測 及微水試驗。 4.地下水採樣分 析 401地下水採樣 402地下水分析 於監測井設置完成後進行地下水一季 次採樣及實驗室水質分析，以便瞭解 土壤及地下水質狀況及濃度。採樣分 析項目如下： (1).一般項目(水溫、導電度、酸鹼 值)、 (2).重金屬(鉛、鉻、鎘、銅、鋅、砷、 汞、鎳) (3).VOCs：苯、甲苯、萘、四氯化碳、 氯苯、氯仿、氯甲烷、1,4-二氯苯，1,1-二氯乙烷， 1,2-二氯乙烷，1,1-二氯 乙烯，順-1,2-二氯乙烯， 反-1,2-二氯乙烯，四氯乙 烯、三氯乙烯、氯乙烯 5.環境綜合研判 分析 501地下水檢測結果研判分析 502可能污染來源分析 503水文地質概念模式建立 根據監測所得數據綜合研判地下水可 能污染位置及濃度，並以建立水文地 質概念模式對廠區作綜合性之地下水 環境研判分析 6.報告撰寫 601彙整前述調查及分析結果 602分析可能之影響 603提出具體建議及因應對策 綜合本計畫之相關調查結果，依廠區 之狀況進行分析後，提出具體建議及 因應對策，並提出未來監測計畫二、場址現勘 在完成相關資料之蒐集及研判後，進行計畫用地之現場勘查，現 場勘查須注意查對之內容，包括場址及毗鄰土地使用情形、水文地質 以及地形狀態、道路、飲用水供應、惡臭、污漬或腐蝕、地表鋪面、 植被、地上結構物、水井、管線、坑洞、水塘或池沼、儲槽、圓桶、 有害物質與石油產品容器、未經確認的物質容器、加熱冷卻裝置、化 學品貯存、廢水處理系統、廢棄物處理、化糞系統等。 三、人員訪談 訪談對象可包括：土地所有權人、管理人、使用人、當地居民及 相關地方政府官員等，以協助瞭解目標場址之使用情形以及評估所須 之相關資訊。 .3.1.1土壤及地下水採樣分析計畫擬訂及執行 依據土水法第九條之相關規定，計畫基地於施工前須進行土壤採樣 及分析作業，並須將分析結果呈送相關環保主管機關備查。因此，以下 將就施工前之土壤及地下水環境調查工作，進行工作說明。 一、現有資料檢視判斷 檢視現有資訊，以確認場址特性及鄰近地區狀況，進而決定： 1. 有哪些潛在土壤污染狀態需加以評估。 2. 在建築物、地面上、地下水、土壤或是地表水及場址附近，潛在土 壤污染物的移動及分布影響。 3. 土壤污染物之評估方法。 4. 地下水污染物之評估方法。
5. 目標場址外之背景值或污染調查。 6. 適當的採樣點及採樣和檢測分析方法。 二、採樣規劃 參考環保署所公告之採樣技術規範或技術指引，規劃最可能取得 具代表性的採樣點、採樣深度及採樣分析方法。 於規劃作業上，依據土水法第九條之規定：「中央主管機關指定 公告之事業於設立、停業或歇業前，應檢具用地之土壤污染檢測資 料，報請所在地主管機關備查後，始得向目的事業主管機關申辦有關 事宜」。目前依照此法令，可參照環保署現今已公告之「土壤污染檢 測資料格式、內容及填寫說明」、「以網格法辦理事業用地土壤污染 檢測參考指引」、「以環境場址潛在土壤污染評估辦理事業用地土壤 污染檢測參考指引」等相關參考指引，來執行各相關採樣、分析、報 告撰寫等各項工作。 原則上土壤及地下水採樣數量需求初擬如下，應依初步場址評估 結果做適當之調配，並擬訂採樣計畫： 1.土壤採樣 於土壤採樣點之佈點方式及數量規劃上方面，可參考環保署所 公告之「以環境場址潛在土壤污染評估辦理事業用地土壤污染檢測 參考指引」及「以網格法辦理事業用地土壤污染檢測參考指引」來 決定，而依據上述指引之內容，於土壤採樣點之數量規劃上，其建 議數量如下：
最少採樣點數 事業用地面積(平方公尺) 最少採樣點數 100＜ 2 ≥ 100 ~ ＜500 3 ≥500 ~ ＜1000 4 ≥1000 10 各土壤採樣點須採取3個深度之樣品(表土0～15公分、裡土15 ～30公分、深層50~100公分)，各深度之分析項目如下： (1)表土(0~15cm)重金屬(鉛、鉻、鎘、銅、鋅、砷、汞、鎳) (2)裡土(15~30cm) 重金屬(鉛、鉻、鎘、銅、鋅、砷、汞、鎳) (3)深層土壤(50~100cm)為VOCs(包括苯、甲苯、乙苯、二甲苯、四 氯化碳、氯仿、1,2-二氯乙烷、1,2-二氯丙烷、順-1,2-二氯乙 烯、反-1,2-二氯乙烯、三氯乙烯、四氯乙烯、氯乙烯等13項)及 SVOCs(包括1,2-二氯苯、1,3-二氯苯、3-3'-二氯聯苯胺、六氯 苯、2,4,5-三氯酚、2,4,6-三氯酚、五氯酚等7項)。 2.簡易井設置及地下水採樣 因計畫建廠用地目前尚未進行相關整地及規劃作業，並不適宜 設置永久性之監測井設置，以免設好之監測井於施工階段，遭施工 機具不留意之破壞。為取得計畫區背景之地下水樣品，須選用適當 機具設置簡易井，並進行一次性的地下水採樣調查功能，各井井深 至少達設置時地下水位以下2公尺。 各進行一次採樣分析，分析項目包括包括一般項目(水溫、導 電度、酸鹼值)及地下水管制標準所列之重金屬(鉛、鉻、鎘、銅、
鋅、砷、汞、鎳)及VOCs(包括苯、甲苯、萘、四氯化碳、氯苯、氯 仿、氯甲烷、1,4-二氯苯，1,1-二氯乙烷，1,2-二氯乙烷，1,1-二 氯乙烯，順-1,2-二氯乙烯，反-1,2-二氯乙烯，四氯乙烯、三氯乙 烯、氯乙烯)。 三、現場採樣及檢測分析工作 相關採樣分析工作，均須依據環保署公告之土壤採樣方法、監測 井地下水採樣方法及各檢測項目之分析方法來執行土壤及地下水之 採樣分析工作。 .3.1.2土壤取樣點之篩選 對於土壤採樣點之篩選方式建議如下： 1.首先以格點劃分方式將調查場址劃分為數個面積相等的分區。在各個 採樣分區各選取一個採樣點，選取之地點儘量接近如曾掩埋或置放廢 棄物之地點，對於較不可能發生土壤污染者(如硬舖面)暫不列入。 2.各土壤採樣點採取3個深度之樣品(表土0～15公分、裡土15～30公 分、深層50~100公分)；其中表土及裡土之分析項目為重金屬(鉛、鉻、 鎘、銅、鋅、砷、汞、鎳)、深層土壤為VOCs(包括苯、甲苯、乙苯、 二甲苯、四氯化碳、氯仿、1,2-二氯乙烷、1,2-二氯丙烷、順-1,2-二氯乙烯、反-1,2-二氯乙烯、三氯乙烯、四氯乙烯、氯乙烯等13項)、 SVOCs(包括1,2-二氯苯、1,3-二氯苯、3-3'-二氯聯苯胺、六氯苯、 2,4,5-三氯酚、2,4,6-三氯酚、五氯酚等7項)等項目。 .3.1.3 土壤採樣方法及設備 土壤採樣方法及設備須採用環保署公告認可之方式來執行，如手動
式螺旋鑽採樣器及不擾動套管式採土器(Undisturbed Soil Sampler)等 各種方式，來進行土壤之採樣。而螺旋鑽採樣器可用於表層土壤重金屬 採樣，不擾動套管式採土器則可用於較深層之土壤有機污染物採樣，採 樣器及套管樣本如圖2所示。 土壤採樣分析之目的在於界定土壤可能受污染之範圍、深度及污染 之程度，故需有良好之採樣設備、完善之採樣計畫及精確之分析技術。 為達到上述目的，本計畫將使用螺旋鑽採樣器及不擾動套管式採土 器(Undisturbed Soil Sampler)進行土壤之採樣。其中螺旋鑽採樣器用 於表層土壤重金屬採樣，不擾動套管式採土器則用於較深層之土壤有機 污染物採樣。 一般而言，雙套管之取樣步驟為利用螺旋鑽桿直接鑽至預定深度後 再取出，換成雙套管採樣管後，再將採樣管鑽至預定深度即可，也可直 接以採樣管做土壤全程採樣。採樣的主要步驟說明如下： 1.至預定採樣的位置，將螺旋採樣桿置入，取得表層土壤樣品。 2.利用螺旋鑽桿或鑽井設備繼續鑽探至預定深度，取出換成雙套管採樣 管。 3.將外管與襯管壓入，使得土壤樣品充滿襯管後，取出襯管，使用管蓋 將管兩端密封並將樣品冷藏。 4.繼續上述2 ~ 3 步驟採樣。 5.藉由品保品管計畫之執行，易於避免交互污染之現象發生。
至預定採樣的位置，將螺旋採樣桿置入，取得表層土壤樣品 不擾動套管式採土器設備鑽探至預定深度，取出換成雙套管採樣管 圖2 採樣器及套管樣本 .3.1.4簡易地下水監測井設置 本計畫簡易井位置之選定將根據場勘查與相關之基本資料，可參考 以往相關調查資料所說明之地下水地質、地下水位及流向，以能掌握及 涵蓋計畫區域之地下水位及流向分佈，同時並能兼顧監測外來可能污染 團為原則，期能釐清地下水之水質狀況，以及地下水質有污染情形時可
正確研判污染來源，及區域內設井數量，井徑至少須內徑2吋以上之簡 易監測井。 .3.1.4.1 監測井設置方法 鑽井方法之選擇，是影響水質監測井品質優劣之重要因素，其鑽機 選擇至少必須符合下列各點：(1)必須適合監測井址之地質情況(2)鑽設過 程盡可能不干擾地下水水質(3)須配合施工期程之規劃。 依井址之地質狀況及預定設計井深，且為降低對環境影響並盡量縮 短施工期程，故採用鑽堡直接鑽挖之方式，可減少施工時間。 施工前由現場工程師及施工人員，先與相關人員進行會勘，評估有 無地下管線後，再以手動鑽桿或其它對管線無害的器具加以挖掘，試挖 深度至少2公尺，由現場工程師判定無地下管線或設施後，始能進行鑽 井工程。圖3.1.4-1所示為各口簡易井之現場設井紀錄照片。 鑽堡之鑽挖，可適用於各種類型之地質條件，惟其限制點在於鑽孔 大小與鑽挖深度有一定之限制；主要鑽挖之設備包含有： 1. 履帶式鑽機。 2. 內鑽桿鑽頭。 3. 每節長度為2米之中空內鑽桿數十節(節數依據鑽挖深度而定) 。 4. 每節長度為2米之外套數十節(節數依據鑽挖深度而定，且口徑需符 合監測井設置規範之要求) 。 5. 大型高壓空氣壓縮車。 一、鑽堡鑽挖 而鑽堡鑽機之工作原理，主要是利用內鑽桿來鑽挖、外套管扮演 支撐地層之角色，同時利用灌入高壓空氣(有時須結合灌入乾淨之水) 將被內鑽桿絞碎之地層土方從內鑽桿與外套管間之空隙，予以吹岀或
湧出，清潔鑽孔，以利繼續往預定之深度鑽挖，且鑽挖過程須隨時注 意是否吹岀物已含有水痕，來決定是否已到達地下水含水層。 鑽堡鑽挖監測井之作業流程說明如下： 4. 鑽機就定位，將高壓氣管連接鑽機與大型空氣壓縮車 5. 將具有鑽頭之第一節內鑽桿結合在鑽堡之旋轉機頭上，開始緩 慢往下鑽挖 6. 待第一節鑽桿已鑽沒入至地表面後，旋下第一節鑽桿並將其留 於地層內，將第二節內鑽桿與第一節外套管一起與鑽機之旋轉 機頭結合，同時也將第二節內鑽桿與留於地層內之第一節內鑽 桿接合，重新啟動機器後繼續往下鑽挖。 7. 依此內鑽桿與外套管交互之順序，持續接合鑽挖至預定之深度 8. 鑽挖過程中，隨時將高壓空氣(搭配灌水)經由旋轉機頭從最上 一節中空內鑽桿灌入，並由最底下一節含鑽頭之內鑽桿之鑽頭 開口處噴出，將已絞碎之地質碎屑從內鑽桿與外套管之空隙噴 出地底。 9. 由此順序緩慢鑽挖至預定深度 10. 鑽挖過程須隨時注意所噴出地層碎屑是否已出現水痕，用以判 別是否已到達地下水位。 11. 當初現水痕後，接續出現有大量之地下水被高壓空氣持續噴 出，可判定已達地下含水層，並可決定是否停止鑽挖並開始進 行後續之設井步驟。 二、簡易監測井設置 當鑽機鑽挖至預定深度後，即開始進行簡易監測井設置作業： 1. 拔出所有之內鑽桿。 2. 放置好井管固定器。 3. 先行下6公尺之井篩管。
4. 下井管(井篩管與井管、井管與井管間之接連處，均需牢接，以 免井管脫離或斷裂在井孔內) 。 5. 下石英砂等濾料(須將石英砂等濾料緩慢放置入井孔內，放置時 須謹慎，以免造成架橋現象，且須填至井篩上端60公分處) 。 6. 放製皂土封(採用粒狀之皂土填充，用於防止地表水滲入，至少 須有60cm厚) 。 7. 進行鑽出土回填，回填至地表，將剩餘之井孔空隙予以填實，以 免造成井管晃動，甚至發生斷裂或位移等現象。 8. 進行完井作業。 .3.1.4.2 鑽井作業執行 施鑽時，現場工程師於「現場監工要事記錄表」如表6中，記載每 日到達現場時間、開始操作時間、每次取樣時間、與其他單位人員談話 之重點、突發狀況、結束時間等資料。此外，於鑽挖過程中，同時也記 錄現場地層狀況，以作為日後水文地質條件之判斷參考依據，相關各監 測井之水文地質記錄如表7所示。 而圖3所示為現場施工作業記錄，主要記錄設井作業過程中，各階 段之作業情形，並作為日後確認存查之目的。 監測井完成後，必需執行洗井工作，完井的主要目的在於清除石英 砂內阻礙滲透之細粒物質，使地下水源能以最小阻力進入井體，幫助石 英砂填充堅實完善，鞏固地層，以確保井體安全。監測井完井方法主要 有 抽 水 法 (Pumping) 、 激 盪 法 (Surging) 、 氣 提 法 (Development with Compressed Air)。本計畫選擇氣提法(Development with Compressed Air) 進行完井工作，完井記錄詳表8與圖4。
表6 現場監工要事紀錄表 計畫名稱： 地 點： ： 年 月 日 氣候狀況： 記錄人員： 第 頁,共 頁 時間 要事摘要
鑽機定位 準備增加內鑽桿與外套管
內鑽桿與外套管 更換內鑽桿與外套管
內鑽桿與外套管之前端鑽頭 鑽至含水層，高壓空氣噴出地下水
下井篩、井管 下石英砂
下皂土封 設井完成
鑽至含水層，高壓空氣噴出地下水 設井完成
說 明： 洗井方法： 氣提法 日期 保護井管： 不銹鋼保護套管 直徑 8 Inch 表 層 封： 地表上 m 至 地表下 m 皂 土 封： 地表下 m 至 地表下 m 細 砂 封： 地表下 m 至 地表下 m 濾 料： 地表下 m 至 地表下 m 濾料粒徑： 2V (0.414-0.833) mm 濾料型式： 石英砂 井底封型式： 螺旋式 井頂蓋型式： 膨脹式 篩孔尺寸： 0.01 Inch 井篩長度 6m 井篩型式： 不銹鋼 316 井管接頭： 焊接式 井管型式： PVC 井管及井篩 井孔直徑： 至 Inch 鑽井方法： _____________________________ 井頂高程： _____________________________ 井 號： _____________________________ 設置日期： 民國 年 月 日 監測井示意圖 表 7 監測井之水文地質記錄 直徑 4 Inch G.L. 19.2 18.4 20.1
工程名稱： 流 量： L/min 井 號： 洗井日期： 年 月 日 開始抽水時間： 地下水最初深度： m 儀器及設備：pH測定儀、電導度測定儀、溫度計 井 深： m(管口下) 洗井方式：Air Lifting 至少應汲取量： 時 間 抽取體積 (公升) pH值 電導度 ( mho/cm) 溫度 (℃) 顏色/其他描述 (單位NTU) 備註： 表8 完井紀錄表
完井作業 完井作業 圖4 完井作業照片 而依據表6之監工要事記錄表之記載，於本簡易井設置作業期間， 曾發生數次因機械作業上之問題，造成鑽挖作業暫停之現象，如：大型 空氣壓縮車空氣濾清器阻塞、內鑽桿及外套管之鑽頭嚴重磨損更換、內 鑽桿斷裂等等，但都能及時將各問題予以解決，並未影響到設井進度， 相關情形將列為日後永久監測井設置時之關注要項。
.3.2.建廠後營運前之土壤及下水污染潛勢調查監測 廠區營運後，為積極防範土壤及地下水之污染之外，須建立一完整 的污染監測計畫，以防範本身或來自於化學溶劑或酸鹼原料的意外洩 漏，所導致之土壤及地下水污染。本計畫對新建廠區未來營運時之土壤 及地下水監測計畫主要目標在於：建立廠區水文地質概念模式、相關土 水環境綜合研析及永久性地下水質監測井規劃設置工作 為達上述目標，初擬本部份工作之工作項目包括： ․基本資料之蒐集與研判 ․營運廠區預設監測井之位置評估 ․營運廠區地下水監測井之規劃與設置 ․土壤及地下水質採樣及分析 ․土壤及地下水環境綜合研判分析 詳細之土壤及地下水監測評估流程如圖5所示。
基本資料蒐集分析
水文地質概念模式建立
環境及監測功能綜合評析
結論與建議
監測井功能檢查
維護及適用性評
監測井洗井維護
監測井井底攝影
地下水監測井網
規劃、設置及採樣
監測井規劃及設置
地下水採樣及分析
圖5 土壤及地下水監測評估流程.3.2.1基本資料蒐集分析 本項工作為既有資料蒐集、整理與分析，為計畫執行之首要工作， 對象包括廠區土地使用歷史、廠區內外潛在污染源、水文地質背景資 料、廠區雨污水收集系統及場址及周圍井況調查等，各重點要項如下： 一、廠區及鄰近地區土地使用歷史 ‧廠區土地未開發前之用途 ‧有無意外溢洩漏狀況 二、廠區及鄰近地區現場資料研判 ‧ 水文及氣象 2 區域地形圖 3 區域地質圖 4 區域地下水資料 5 鄰近區域可能之污染源研判 三、廠區水文地質相關資料 ‧土層分佈 ‧土壤及地質特性 ‧地下水位 ‧含水層位置 ‧水力傳導係數 四、廠區雨污水收集系統 ‧雨污水系統 ‧廢水回收 ‧廢水處理及排放 五、污染潛勢調查 ‧各貯槽種類及配置 ‧各式管線種類及配置 ‧原物料裝卸載方式 2 廠區整體操作及營運 3 彙整廠區現有相關基本防護措施
六、廠區及鄰近地區相關監測調查資料 ‧既設監測井資料 ‧土壤調查分析資料 ‧地下水污染調查資料 .3.2.2 廠區污染潛勢調查 .3.2.2.1污染潛勢評估目的 現代化高科技之工廠，所可能應用到之高污染性化學藥品、油品等 之種類相當繁多，加上現今各製程複雜，廠房中管線、儲槽密佈，若一 旦發生洩漏事件，輕則機器設備毀損，重則造成環境生態破壞及人員死 傷；而其中因洩漏所造成之土壤或地下水環境之污染，則是需耗費巨額 金錢與時間，方能進行有限度之處理，其所造成之影響是長久性的。因 此，依據廠區內配置而先行進行污染潛勢之評估，可了解到廠區內較易 發生土水污染事件之區域，從而可先行規劃設置監測系統，一方面可先 行了解區域背景狀況，另一方面即發揮其日常性之預警監測功能。 .3.2.2.2污染潛勢評估範圍及方法 一般工廠要執行土壤及地下水污染防治管理，首先需由工廠本身之 運作特性、潛在污染源及土地使用情形開始瞭解，進一步針對廠內可能 具污染潛勢之區域，於平時就特別注意並予記錄，也就是「自我體檢」， 透過自我體檢或污染防治管理自評將可減少可能污染之產生。摘列高科 技廠內可能具污染潛勢之區域及執行土壤及地下水污染防治管理之原 則，說明如表9所示。
表9 高科技廠可能具污染潛勢之區域 項次 可能具污染潛勢之區 域 應注意事項 1 堆置原物料之桶槽 廠房內原物料之桶槽堆置，可存之物質包括潤滑油、有機溶 劑、清潔劑等物質，應注意桶槽附近區域有無舖面，以及有 無污染物洩漏至地面上的情形。部分桶槽外部會標示有儲存 物質內容，可供現勘人員參考，惟桶槽儲存物質並不一定與 標示物質一致，需特別加以留意。 2 疑似污染物洩漏區域 廠房內地面上是否有可視之污染洩漏痕跡，通常為原物料於 運作時洩漏、溢出所導致，應注意洩漏區域有無舖面，疑似 洩漏物之顏色、氣味、型態應加以記錄。 3 原物料、產品、廢棄 物卸載區 原物料、產品、廢棄物之卸載區、若無適當之防護措施，有 可能於輸送裝卸過程中，導致洩漏、溢出等情形，而污染卸 載區域附近之環境。 4 製程設施或設備附近 區域 場址內製程設施或設備所在地點，即可能是使用相關原物料 進行生產所在位置，若設備操作不當，即可能使含污染物之 原物料洩漏或逸散至地面，若地面亦無適當之舖面或地坪防 護，則容易造成地下環境之污染。 5 地面儲槽及其管線附 近區域 儲槽區域為高污染潛勢區域，場址內有儲槽存在時，應注意 儲槽附近相關標示，以了解可能儲存物質，並觀察儲槽外 觀、完好程度、連接管線、防溢設施，並視需要於儲槽通風 管口處，以氣體偵測器加以量測判斷。 6 地下儲槽與地下管線 區域 儲槽系統設有洩壓閥、通氣孔（管）與進出料口等設施，若 儲槽系統位於地面下時，可檢視用地內是否有前述儲槽系統 可能設置之設施，來研判是否有儲槽與管線系統位於地面 下，以發覺可能潛在之高污染區域。 7 泵站及污水坑、塘 原料輸送之泵站，其管線連接處附近地面應特別注意是否有 異常情形；若場址內有污水坑、塘，可檢視塘水是否有異味、 表面是否有浮油，必要時可利用現場簡易偵測設備加以檢 驗；污水坑、塘之形成有可能是先前開挖所遺留、其下有不 明掩埋物體、廢污水洩漏等原因積水所導致。 8 廢污水收集處理設施 與放流口、排水口、 溝渠等附近區域 製程廢污水收集處理設施、排水口、溝渠等附近區域應加以 來檢視是否有異常情形，在進入廢水處理設施前之溝渠管線 動向與完好度需特別注意，以發現可能洩漏污染位置；於場 址內外環境並應注意是否有不明管線深入地下或自地下冒 出。 9 變壓器及電容器置放 區 早期使用之變壓器或電容器中，其絕緣油大部分含有多氯聯 苯成分，若廢棄後任意堆置於場址內，有可能因設備受日曬 雨淋導致外殼腐蝕破損而使污染物質流出，進而污染到場址 地下環境。
而高科技廠潛在污染源大致可包括原物料、廢水及廢棄物幾大類， 茲說明如下： 1 原物料 在高科技廠使用之原物料方面，其項目多達一百多項，包含多 類無機酸鹼、有機溶劑、光阻液、異丙醇（IPA）、過氧化氫等， 大多以液體及氣體為主；其中不乏具強烈腐蝕性、毒性之物質。 若 以 其 溶 解 性 及 比 重 之 特 性 劃 分 ， 則 可 分 成 易 溶 於 水 （Miscible）、不溶於水比水輕（Light Non-Aqueous Phase Liquid， LNAPL）及不溶於水比水重(Dense Non-Aqueous Phase Liquid， DNAPL)等三類，使用上主要是提供製程機台用做產品之清洗、蝕 刻、顯影等用途。 由於所使用之原物料多數具有危害性，使用量大，其輸送管 線、儲槽／供應槽容量等之設計多配合機台之需求及物質特性設 計，但其仍有外洩之可能。 此外，廠區內發電機組所使用之油品(如超級柴油)等等，也是 可能之污染來源。 2 廢水 高科技廠所產生之廢水，依其污染特性可分作業廢水及生活污 水，其中作業廢水包括酸鹼廢水、氟酸系廢水及研磨廢水。 3 廢棄物 現有廠廢棄物的來源包括製程、設備之維修保養、廢氣處理、 廢水處理、物料容器及包裝材料、物料汰換及員工日常活動等，而 產生之廢棄物種類則有氟化鈣污泥、廢氣吸附材料（廢氣處理）、
零配件廢品（物料汰換、設備之維修、保養）、廢光阻劑、廢去光 阻劑、廢異丙醇、廢酸(鹼)、廢晶片及廢IC等（製程）、廢紙、廢 木材、廢塑膠桶、廢玻璃瓶（物料容器及包裝材）及生活垃圾、廢 口罩、鞋套、手套等其他一般事業廢棄物（員工日常活動）等。 而通常可能造成土壤及地下水污染之情形有： 4. 原物料或廢液意外傾倒而漫流至未舖面之裸露地表，進而滲入土 壤及地下水層。 5. 地上或地下輸送原物料之管線發生洩漏。 6. 流進或流出廢水廠之地上或地下廢污水管線發生破損洩漏。 7. 原物料儲槽或儲油槽發生洩漏。 8. 原物料裝卸不慎，發生洩漏而漫流至裸露地表。 9. 其餘人員、機具、車輛等操作不慎或保養不當，發生油品意外之 傾洩等。 於進行污染潛勢評估之作業上，其工作執行方法通常為： 一、需先了解該目標廠址之基本資料 1.產業特性。 2.使用原物料之性質。 3.產品之性質。 4.廠址所在地之地下水文地質條件。 5.廠區內製程配置。 6.廠區內原物料或產品之輸送動線。 7.廠區內油品或化學品之儲存位置。 8.廠區內廠房及其餘建物之配置。 9.廠區內無舖面之裸露地面配置情形。
二、進行室內之資料分析與彙整 當已蒐集廠區之背景基本資料後，需研判廠區之地下水流向、廠 區內原物料及產品之輸送行為、廠區內原物料及產品之儲存行為、廠 區配置、廢污水管路之佈設位置與路線，依據上述資料，思考彼此相 互間之連帶關係，初步劃分具污染潛勢之區域，並經由後續之現場勘 查作業來確認。 三、進行現場之勘查作業 為了解廠區具有可能發生土水污染事件之位置，經廠區主管人員 同意後，由負責人員帶領進入廠區內進行細部勘查作業，以了解具發 生污染潛勢之所在點為何。進行廠區內之細部勘查重點，主要包含有： 1所使用之化學品種類。 2.化學品之出、入位置，及各出入位置周圍環境(是否有管溝) 。 3.化學品發生洩漏時之收集與排出位置。 4.廢污水排出位置。 5.地下管線位置及所輸送化學品種類。 6.廠區內油槽位置及儲存油品種類。 7.油槽管線。 8.廠區內污水管線及放流位置。 依據前述之現勘結果，高科技廠房內地面均有良好之防水鋪面、偵測 警示設備、防溢截流設備，因此尚不至於有土水污染之虞。但於建物 外化學品之裝卸區，常緊鄰未有鋪面之景觀綠帶區，且裝卸作業頻 繁；因此，進行廠區污染潛勢之評析上，將廠區各區域依照地表有無 鋪面、可能之洩漏量大小、裝卸作業是否頻繁、污染物質是否為
NAPL(非水溶性污染物)、有無地下管線及有無建物外洩漏阻絕設施等 因素，來區分廠區內具土水污染潛勢區域之潛勢大小區分等級。 .3.2.2.3廠區內土壤及地下水污染潛勢評析結果 依據廠區現場勘查結果，將廠區予以區分出較具土水污染潛勢之區 域，依據前節所做之評估及考量下列因素，將各區域進行污染潛勢高、 中、低等區分： a 地表有無鋪面。 b 可能之洩漏量大小。 c 裝卸作業是否頻繁。 d 有無地下管線。 e 污染物質是否為NAPL(非水溶性污染物) 。 f 有無建物外洩漏阻絕設施。 詳細之較具土水污染潛勢區域程度劃分，如表10所示。 表10 較具土水污染潛勢區域程度劃分 污染潛勢分區 A B C D E F G H a.緊鄰地表有無鋪面 b.若有洩露，洩漏量大 c.日常裝卸作業頻繁 d.有地下管線 e.運作物質是否為NAPL f.有設置防洩漏之截流設施 分級 中 低 高 中 高 高 中 低 註：1.若同時具有 a、b、c 項者，歸類為高潛勢區域 2.若僅具 a、b 兩項且符合情形達至少三項以上者，歸類為中潛勢區域 3.其餘則為低潛勢區域
.3.2.3土壤採樣點及地下水水質監測井網規劃 一般之土壤及地下水監測皆必須預先分析並瞭解廠區的製程、貯 槽種類及可能產生的污染物，才能據以規劃土壤及地下水監測點的空 間分佈，進而評估採樣深度及設計水質監測井，例如井深與井篩開口 位置等。 一、土壤取樣點之篩選 對於土壤採樣點之篩選方式建議如下： 1. 各個採樣點，選取之地點儘量在公共設施地區，例如道路邊、花 圃、草地等，並儘可能接近下列地區。 (1)曾掩埋或置放廢棄物之地點 (2)儲槽及管線區域 (3)廢水處理或溶劑回收區域 (4)對於較不可能發生土壤污染者(如硬舖面)。 2.採樣深度及分析項目方面，各個土壤採樣點採取3個深度之樣品： (1).第一層為表土(0～15公分)，分析項目為重金屬(鉛、鉻、鎘、銅、 鋅、砷、汞、鎳) (2).第二層為裡土(15～30公分)，分析項目為重金屬(鉛、鉻、鎘、 銅、鋅、砷、汞、鎳) (3).第三層為深層土壤(50~100公分)，分析項目為：VOCs(包括苯、 甲苯、乙苯、二甲苯、四氯化碳、氯仿、1,2-二氯乙烷、1,2-二氯 丙烷、順-1,2-二氯乙烯、反-1,2-二氯乙烯、三氯乙烯、四氯乙烯、 氯乙烯等13項)、SVOCs(包括1,2-二氯苯、1,3-二氯苯、3-3'-二氯 聯苯胺、六氯苯、2,4,5-三氯酚、2,4,6-三氯酚、五氯酚等7項)。
二、監測井數量及位置擬定 本計畫監測井位置之選定將根據場勘查與相關之基本資料，依地下 水地質、地下水位及流向、廠區管線及可能污染源分佈狀況等之考量， 進行佈設；以能掌握及涵蓋廠區之地下水位及流向分佈，同時並能兼顧 監測外來污染團為原則，期能釐清地下水之水質狀況，以及地下水質有 污染情形時可正確研判污染來源。 井深方面，以設置於第一含水層，能達豐水季時地下水位下5公尺， 枯水季地下水位1公尺為原則。井篩開設長度依環保署「地下水水質監 測井設置規範」，在自由含水層，規劃為6公尺。 .3.2.4地下水監測井設置作業 根據地下水設置規劃，設置所需之地下水質監測井數量，監測井位 置之選定參考周邊既有地下水監測井配置、區域性地下水流向及廠內污 染潛勢判斷結果來進行佈置，而實際之監測井位，於進行現場勘查；有 關監測井位置選取原則擬定如下： 1.監測井位置需遠離低窪地，以免日後淹水，而妨礙地下水質監測工作 及其永久性。 2.監測井位需避開相關地下管線，如自來水管、電信電纜、瓦斯管、油 管及污水管等。 3.監測井位置附近需有足夠空間，以利鑽鑿機具進出及施工。 4.監測井位鄰近上空無電力設施。 5.監測井位置需不防礙日後相關單位操作或施工，儘量於道路邊、公共 設施或停車場綠帶設置，以防止日後遭受破壞。 .3.2.4.1 監測井之設置原則 進行監測井之設計時，需考慮所要監測之污染物，以及地下水水位
具有隨季節變化的特性，因此事前的監測井規劃設計必需詳加考量。惟 監測井設置工作之井深規劃乃依據環保署「地下水水質監測井設置規 範」之要求及規定，由設置井址之實際水文地質狀況進行研判，因此各 監測井之設井深度，以計畫位址地下水位之實際深度並有效涵蓋地下水 位之變化範圍，作為設置規劃基準。 以下即就於91年12月27日環署水字第0910091877函所要求之規範 ─「地下水水質監測井設置規範」進行監測井之設置，茲將監測井設計 之重點說明如下。 1.監測井深度 監測井深度需綜合考量監測目的、欲監測物質之特性，以及整體水文地 質條件及配合現場地質研判後決定。依據水文地質分層研判之結果， 對於計畫公司地下水監測井網之井深佈置構想以非受壓水層為本計 畫監測之主要對象。 2.監測井材質 管材方面，所選用之井管井材是否會與所欲監測之關切化學物質 起化學反應，甚至造成衍生物進而形成二次污染，亦為一項非常重要 之考量因素。一般監測井之井材以選用PVC材質最為普遍，且本計畫 場址鄰近並未有污染情事發生，因此本計畫井篩井管均選用PVC作為 監測井材質。 3.監測井井徑 一般而言，國內目前設置之地下水水質監測井，其井徑以2吋或4 吋較常被使用，依據環保署於91年12月27日所公告之「地下水水質監 測井設置規範」且考量後續之現場試驗、日後採樣作業之方便性，因 此本計畫所設置監測井井徑均使用4吋。 4.井篩 (1)井篩長度 井篩之長度必須使取樣時具代表性，同時能提供足夠的水量
以供採樣。因此，依該區水文地質特性決定新設監測井之井篩長 度為9m長，井篩底部並封實。 (2)篩縫寬度 濾料必需乾淨、級配好(均勻係數介於1.5至2)之圓形顆粒之 石英砂。決定濾料粒徑大小與含水層土壤粒徑有關，本計畫廠址 之含水層土壤，主要為坋土質砂，因此使用寬度為0.010英吋寬度 篩管作為監測井之規格。 (3)井篩及井管放管時管接頭須裝接牢固，並保持井管鉛直，置於井 孔中心，以使井圈填入粒料之厚度均勻。 5.濾料填實(Filter Pack)及封井 (1)井管安裝後，井管與孔壁間之環柱狀空間應以化學性質穩定之乾 淨、級配良好之石英砂回填，其範圍由井管底部開始，回填到井 篩的上方約60公分處。 (2)在乾淨石英細砂上方使用之皂土顆粒(Bentonite Pellets)，依監測 井深度設計至少形成60公分之封隔層(若通過粘土層，封隔層應位 於粘土層內)。濾料放置過程中須注意放置入井管內之均勻性，以 防止卡鎖(Clogging)或架橋現象(Bridged Condition)產生。 (3)在皂土封隔層上方至地表之空間，以水泥填封以固定井管及防止 地表污染物滲漏而影響監測井內之水質。 6. 保護設施 保護設施依不同的需求而定，一般分為平台式及隱藏式兩種。本 計畫2口新設監測井，因設井位址空間寬擴且較無景觀上之限制，因 此採用平台式方式進行設置施工。平台式為一厚15公分，邊長1公尺 之正方形，每一平台之四角各設一警示柱。隱藏式則具有直徑12吋不 鏽鋼304材質保護箱，內設有排水管以防止積水，保護設施之高度約 略與地面高1~3公分，監測井之設計型式如圖6所示。 7.永久性標示牌
於各監測井設置永久性標示牌。標示牌為長20公分，寬15公分， 厚0.2公分之不銹鋼板（詳圖7）。標示牌應固定於水泥平台上，並記 載下列資料： －井號 －井深 －設井日期 －井篩深度及長度 －井頂高程及座標並註明量測點永久性記號 －設井廠商 －管理單位及連絡電話
圖6 監測井之設計型式 人孔式監測井 地表 井管 皂土 井篩 井底封 井頂蓋 井頂高程 (未按比例) 水泥 石英砂濾料 至少60cm 人孔式保護箱 5c 20cm 0.1~至0.2mm石英細砂 至少20cm 至少60cm 保護套管(8吋) 井頂蓋 井頂高程 警示柱 表層封 地表 井管 皂土 井篩 井底封 (共四支) 直立式監測井 (未按比例) 水泥 石英砂濾料 30cm 40cm 5cm 45cm 50cm 15cm 35cm 至少60cm 至少60cm 0.1~至0.2mm 至少20cm 石英細砂
地下水質監測井
井號
設置日期
井座標（E，N）@TWD97
( ， ）
井 徑
4 英吋
井 深
m
井頂高程
井篩深度
井篩長度
m
m
m
設井廠商
管理單位
圖7 監測井設置永久性標示3.2.4.2 監測井設置及現場作業 一、鑽設方法選擇 一般而言，監測井挖鑿程序與鑽設方法、井徑的設計、井篩的選擇、 回填材料與固封等有關。其中鑽設方法選擇乃影響水質監測井品質優劣 之重要因素，其鑽機選擇準則為： ․必需適合監測井址之地質情況 ․若需採用鑽泥(Drilling Mud)時，需採用可以自然分解之人工合 成鑽泥 ․必需能對地下水位充分的掌握 鑽井方法之選擇主要是依據設井場址的地質條件及施工便利度而 定，所選定的方法對地下水層的擾動影響應減至最低，尤其重要的是不 能對地下水層與地下水有所污染及擴大或稀釋原有的污染範圍與濃度。 目前國內常使用之水質監測井鑽設方法包括頓鑽(Cable Tool)、中空螺 旋鑽法(Hollow-Stem Auger) 及鑽堡等方法，各有其適用之地層及作業 需求。專案小組經檢視評估 貴公司廠區之水文地質特性及其施工作業 之便利度後，建議選擇頓鑽或鑽堡為本計畫之鑽井方式。 二、土壤鑽探 1.鑽探進尺 ․鑽井設備在搬移至每個場地使用前，皆需予以除污，以防止污染廠 區之地下水含水層。鑽井設備之除污應在特定地點進行，不可靠近 鑽井位置或乾淨之設備及器材。 ․在每一井位附近應鋪上一層塑膠布以避免施工過程中所可能洩漏之 任何流體(油脂、燃油或用水)與鑽井機具旁之土壤接觸，或流入鑽 孔中。同時亦可提供作為已完成除污工作之清除機具之儲放場所。 ․鑽進過程中對鑽機之油脂或燃油洩漏應予監視及防止。尤其是位於 鑽孔上側或旁邊之機具。可用塑膠袋將機具上塗有油脂之部分予以 包覆。
