第三屆科林論文獎頒獎典禮
編輯部 第三屆科林論文獎於九月十日上午十一時於國立交通大學資訊館國際會議廳舉行頒獎典 禮 O 得獎六篇論文,分別為博士班兩篇,碩士班三篇,大學部一篇。得獎學生計陳泰如同學等 六位,指導教授有葉清發等七位,由交通大學許千樹研發長及科林公司廖振隆總經理親自頒 獎。得獎名單請參閱附表。美商泛林集團 (Lam
Research
Corporation)是世界最大半導體電漿蝕刻設備製造公司,成 立於一九八0 年並於一九八四年在美股票公開發行上市O 總部位於加州矽谷Fremont' 以製造 及銷售半導體製程設備為主,為世界第五大半導體設備製造商,其主力產品電漿蝕刻設備更 居世界領導地位 O 泛林集團在海外設有多達四十家子公司和銷售據點,遍佈歐洲、日本、韓國、新加坡及中國大 陸等地 O 科林研發股份有限公司馬其在台子公司,成立於一九九五年,位於新竹市科學園區內。泛 林集團並於一九九六年宣佈墓,灣為該集團之亞太營運中心,廖振隆總經理並升任亞太區副總裁O 為提昇臺灣整體的競爭力,泛林集團除斥資一千三百萬美元,在新竹科學園區設立亞太技術 研發中心及訓練中心外,對本土化技術生根之人才培養更是不落人後,並以實際行動於一九九五 年十二月捐贈十五萬美元予交通大學 設立科林論文獎,提供博士班、碩士 班、及大學部研究獎學金O 希望藉此 產學交流以協助國內大學對IC人才的 培育及養成。 今年是第三屆科林論文獎。交通 大學於本年六月三十日以前公開徵 求:大學部、碩士班及博士班之應屆 畢業生,其撰寫有關專題技術報告 (大學部)或學位論文(碩、博士班),
經指導教授推薦並證明,復經校方口 試合格者,可提出申請。經過嚴格的 書面評審,於七月二十三日發表。 交大許研發長表示:非常感謝科 林公司所贈送的獎學金。交大最近幾 年在學術發展上有長足的進展,逐漸 走向國際一流大學的目標。科林公司 選擇交通大學為贈送獎學金的對象, 顯示本校的學術研究深得產業界的認 同 C 研究成果能與業界分享是我們最 樂見的事情,本校師生將本著過去勤 讀、實幹的精神,繼續將研究成果與 各界分享 C第三屆科林論文獎得獎名單
博士論文部份 自主辦~rEC冒冒一一一 文 藝 一吾吾吾吾吾國偽註j ;長聶三軍聶哥攝電昂續關鍵裂程技術之稿于一一一~托巴_J:~空話:1!lsfttr前;viesi 葉清發
i 制與徑: 由一起離子都製程之智慧裂監控系統i
J
i
(愛踹j 工程學沈旦在 TheIntelligent SupervisionSys棚 for I 做ml 一一|系一--一己|空空 implantation proces哇碩士論文部份
|騙取一所T!?:f司論一一支 題 EH語教設備對
IJ更Ff.j化學機械研單善投術研究復藹矽氧化
| 版之五耳Z?!庸之特性
l頭等 ZJ 肌叫王銘芳 AStudy ofP 耐心<ide Cha間teristics 雷添福|
! … !with Chemical Mechanical Polish
11 坦 cr 們。白白 V
快速熱退火製程對復昂矽介電覓*寺性之 I
i
11""'= 電子研究 ;研究 I_~=M I 峙等 6名 孫勇濯 Improvementsof Interpoly Dielectric 5長圈明 i !尸 Characteristicswith Rapid Thermal!P rocessing (RTP) Technology
詢:梅爾菜吾吾福磊聶元昕一一 γ
;
|臂之耳其相!究 I ""'~"'''''
僻 |EJtffhiE臨叫州內心甘心在心f 叫-|ZZEj
l
SubmicronMOSFETs 叫 thT-Gate '"'"~
Structure 思