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快速熱退火及不同鰭寬度的NCFET 之電性分析及HCI可靠度研究

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Academic year: 2021

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數據

圖 2-2  半導體參數分析儀(Agilent B1500A)
圖 2-4  NCFET 元件 Gate 端經過熱載子注入後介面缺陷示意圖
圖 3-2 NCFET 元件在 Fresh 狀態時之 TEM 圖
圖 3-4 鰭寬度 20nm 之 I D -V D 曲線
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參考文獻

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