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氮化物材料及結構之光電特性顯微偵測之研究

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Academic year: 2021

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Fig.  2 (a),(b),(c),(d)為砷摻雜之拉曼譜線,其 磊晶溫度分別為 1050 o C,1000 o C,950 o C 及 900  o C。(e),  (f),  (g)則是未摻雜氮化鎵薄膜分別成 長於 1050 o C, 1000 o C 及 950 o C。插圖顯示為樣 品相干長度之變化趨勢。 我們可以看到圖中的 E 2 模態的強度變化 大約在 2 倍左右,中心頻率的位移在 2cm -1 以 內。可以明顯的發現到譜線的形狀並不對稱, 其可能的原因是因為聲子在有限的距離的傳 遞過程中,

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