附錄 實驗室安全衛生守則
取材自國家毫微米元件實驗室(NDL)
第一章 實驗室一般守則 1.1 潔淨室工作守則 1.2 儀器設備使用規則
第二章 實驗室安全守則 2.1 一般守則及防護設備
2.2 化學品之使用,儲存及安全 2.3 壓縮氣瓶及危險氣體之操作 2.4 火災之預防與搶救
2.5 輻射及電氣作業安全注意事項 2.6 急救與搶救
附錄 A 不相容化學物一覽表(1) 附錄 A 不相容化學物一覽表(2) 附錄 B 半導體製造常用酸液特性表 附錄 C 半導體製造常用有機溶劑特性表 附錄 D 半導體製造用氣體特性表
第一章 實驗室一般守則
1.1 潔淨室工作守則 1.進入實驗室人員資格
a. 具下列資格且經訓練合格及主管核可後之人員得進入潔淨室:
(1) NDL 及半導體中心研究員及相關教授。
(2) NDL 及半導體中心技術人員及工作人員。
(3) 領有有識別證之學生及其他他研究單位之研究人員、工作人員。
b. 進入實驗室人員需遵守實驗室之安全規定及國家安全衛生法令。
c. 尚未被認可之學生、外賓及承攬商須進入潔淨室者,應先報備申請領取臨 時證配於胸前,並應有合格人員陪同在場始得進入。
d. 嚴禁轉借他人之 Card Key 或夾帶未經核准人員進入潔淨室。
e. 凡違反上述規定者將予以短期或永久禁止進入本實驗室之懲處。
2.進入潔淨室前之注意事項:
a. 學生、外賓及承攬商進入及離開實驗室,需於大廳櫃檯做出入實驗室登記。
b. 任何人進入潔淨室工作或參觀,須依規定換穿無塵衣,並於胸前懸掛核可 之識別證。
c. 非經實驗室主管許可不得將私人物品(手提袋、書籍等)及非潔淨室所使 用之工具攜入潔淨室;維修用之手冊及工具在用畢後應立即收起。
d. 原物料進潔淨室時,需先在外面拆箱及拭淨,並置於緩衝區 30 分鐘方得攜 入潔淨室。
e. 實驗室、辦公區均為禁煙區,若有吸煙,須於抽後 30 分鐘並嗽口後,方可 進入潔淨室。
f. 劇烈運動後絕對禁止立刻進入潔淨室,須待呼吸平穩不再流汗後方可進入 潔淨室。
g. 在潔淨室內,不得飲食、嘻鬧,或從事其它與實驗室無關的事情。
h. 進入潔淨室者應保持身體潔淨,頭髮應常梳洗,並禁止使用香水及化
1.2 儀器設備使用規則
a. 所有儀器設備均應依手冊規定之步驟開機及關機。
b. 使用儀器之前應詳加考慮所作之實驗是否會造成污染或危險,若有不確定 之處應請教儀器之負責技術員或研究員。
c. 實驗室所定之儀器設定狀況非經特殊之申請許可不得任意改變原有之設 定。
d. 儀器使用狀況及使用時實驗室內的溫濕度請詳加紀錄。
e. 凡儀器操作不當以至造成污染或損壞應儘速報告並接受懲處,若有故意隱 瞞一經查獲將加重處分。
f. 儀器使用完畢應依規定加以清潔。
g. 未經核准前,不得自行操作實驗室內之儀器設備,違者嚴懲。
第二章
實驗室安全守則
2.1 一般守則及防護設備 1.一般守則
在安全防護上是幾乎不可能訂出一套守則可涵蓋所有可能在實驗室發生之危險 狀況,因此僅列舉一些一般性的守則以供參考,以減少在實驗室工作之危險!請 使用者務必遵守。
a. 在實驗室工作時必須確切地了解每一個動作可能發生的危險及應採取之安全 防護工作。
b. 善加使用一些防護設備如眼鏡、手套等等。
c. 有毒物質一定要在 fume hood 中操作。
d. 隱形眼鏡可能會讓化學品附著以致傷害眼睛,因此不要使用。
e. 在工作的區域應保持清潔。
f. 所有化學品應詳加標示。
g. 使用化學品後雙手需洗淨方能飲食或抽煙。
h. 處理廢棄物時應遵守有關廢棄物處理之規定。
i. 熟悉緊急應變的步驟及工作區域之緊急應變設備(如滅火器,逃生呼吸器等)
之放置位置。
j. 實驗室之同一房間,不管任何時間必須要有至少兩人在其中作實驗或協助之。
2.防護設備
實驗室最常見之防護設備為 fume hood,因此在使用 fume hood 時需注意以下幾 點:
a. 工作時 fume hood 上的防護璃罩須拉下至適當的位置。
b. 可用無塵紙置於抽風口看 fume hood 是否正在運作。
c. 不要將不必要的物品置於 fume hood 內,以至造成排氣量的減少。
d. 當 fume hood 有操作不正常時請即與負責技術員聯絡。
e. 使用完畢後請保持 fume hood 中的整潔。
第二個常用的緊急防護設備為緊急淋浴器及洗眼器,也請注意以下的幾點事項:
a. 請熟悉它的位置及使用的方法。
b. 請勿放置物品在緊急淋浴器及洗眼器的附近阻礙通行。
c. 實驗室的負責技術員應定期檢查它們是否操作正常。
2.2 化學品之使用,儲存及安全
1.常用化學品名稱,特性及處理方式如下表所列。
名 稱
z 氫氟酸(HF)
腐蝕性 毒 性 爆炸性
管件腐蝕、脫水作用及氟離子中毒(如對皮膚、眼睛和鼻、肺呼吸組織傷害與金 屬接觸,產生易燃性氫氣,易爆)工作時戴耐氟酸手套及防護具。皮膚觸及用大
量清水沖洗,並塗覆葡萄酸鈣於接觸部位。廢物和垃圾應裝在密封桶內。
z 過氧化氫(H2O2) 毒 性 氣化性
蒸氣會使眼睛鼻子和喉嚨感到極度的刺激,嚴重傷害。儲存場所要遠離可燃性物 質或催化性金屬。配帶適當防護具,才質最好是聚氯乙稀、聚乙稀或耐蝕性橡膠。
z 硫酸(H2SO4) 毒 性 危險性 脫水性
與皮膚接觸會迅速造成灼傷,吸入蒸氣易形成肺水腫或化學性肺炎。滴入水中 時,易發生激烈化學反應,導致容器因高溫而膨脹爆裂。採用密閉式作業場所,
通風良好。加酸時戴防護具,勿將水加入濃酸中,有小量酸液翻覆時,切忌用有 機物覆蓋。
z 硝酸(HNO3)
毒 性 危險性 脫水性
觸及硝酸及濃度高的蒸氣,會即刻嚴重的灼傷皮膚與粘膜,甚至失明。與可燃性 有機物質接觸後會起火,遇強鹼會劇烈反應。採用密閉式作業場所,通風良好。
加酸時戴防護具,勿將水加入濃酸中,有小量酸液翻覆時,切忌用有機物覆蓋。
z 鹽酸(HCl)
毒 性 危險性 脫水性
眼睛與皮膚與之接觸,會造成傷害,由口吞入時,會傷害食道,呼吸蒸氣時傷害 呼吸道及肺部。採用密閉式作業場所,通風良好。加酸時戴防護具,勿將水加入 濃酸中,有小量酸液翻覆時,切忌用有機物覆蓋。
z 磷酸(H3PO4) 毒 性
液體會嚴重燒灼眼睛和皮膚,口吞食後,會引起嚴重內部刺激和損害。戴適當防 護具,廣佈蘇打灰覆蓋於洩漏處,再用大量水小心沖洗和稀釋。
z 醋酸(CH3COOH) 毒 性
蒸氣會刺激呼吸系統、眼睛,由口攝食引起內部器官刺激和損害。關閉所有可能 著火的來源,加酸時戴防護具,用大量水沖洗及稀釋。
z 氯氧化磷(POCl3) 毒 性 爆炸性
蒸氣會嚴重刺激粘膜和整個呼吸系統,引起慢性肺水腫,液體會燒灼皮膚和眼 睛。保持安全距離,戴防護用具。
z 丙酮(Acetone) 易燃性 毒 性
吸入蒸氣能引起暈眩,液體能刺激眼睛及可能引起嚴重傷害。戴防護具,遠離火
(熱)源,不可與氧化劑接觸。
z 異丙醇(IPA) 易燃性
與皮膚、眼睛接觸會受傷。吸入可能中毒戴防護具,放在冷、乾燥通風良好處,
不要與氧化劑接觸。遠離火花火源。
2.3 壓縮氣瓶及危險氣體之操作 1.常用氣體種類及特性如下表所示:
z 矽烷類 易燃性
非常純的矽烷,空氣中會著火。
z 氨氣 毒性 爆炸性
氣體刺激整個呼吸系統,嚴重刺激眼睛。將剩餘氣體或有洩漏的氣體瓶子,慢慢 引入充水的洗滌塔的通風櫥內排除。
z 六氟化硫 毒性
遇水起激烈反應形成氟化氫和二氧化硫,形成氟化氫毒性如前所示。將剩餘氣體 或有洩漏的氣體瓶子,慢慢引入充水的洗滌塔的通風櫥內排除。
z 磷化氫 毒性
令人不愉的蛋白腐臭味,高濃度下立即引起呼吸麻痺。低濃度下,對整個呼吸系 統和眼睛刺激,遇氧有爆炸性反應。剩餘氣體或氣瓶漏洩氣體慢慢導入排氣設備 或水槽內。
z 氟化硼 毒性
刺激皮膚、眼睛及呼吸系統,高濃度引起皮膚灼傷。剩餘氣體或氣瓶漏洩氣體慢 慢導入排氣設備或水槽內。
z 氯化硼 毒性
含刺激性氣體,會刺激眼睛及呼吸系統。更換氣瓶戴防護面具及防護手套。
z 二氨甲 矽毒性 可燃性
刺激眼睛和呼吸器官的黏膜,會與空氣中的氧和水份反應產生氨化氫,有水份時 腐蝕性極強臭白煙。以鹼水溶液沖洗處理。
z 乙硼烷 毒性 可燃性
具有維生素氣味,遇水進行水解產氫氣,會助長燃燒,侵害肺及呼吸器官黏膜,
對肝及腎臟有害,慢性中毒時會發冷色咳嗽和胸部壓迫感乙硼烷會與 FREON 起 反應,不能用來滅火,中止其燃燒要阻止其流動,觸到皮膚,用大量水沖洗患部,
漏出氣體用鹼液沖洗。
z 氫氣 可燃性
還原性強,高溫時反應很大,極易滲透,比空氣輕。對於裝置和配管進行分解修 護,必須先置換隨性氣體後才可做,排放至大氣時,必須在通風良好處。
z 氧氣 助燃性
化學性屬活性,可和大部份的元素形成氧化物。實施裝置和配管的分解修理時,
用惰性氣體置換。排入大氣中,必須遠離可燃物及火源。
1.氮氣 2.氦氣 3.氬氣
注意缺氣狀態。
室內排出時注意換氣。
z 三氟化氮
毒性 腐蝕性 爆炸性 有稻草味道
2.高壓氣體使用安全注意事項:
a. 確認氣瓶的閥是否栓緊。
b. 拆下盲蓋(Blind Cap)前,先確定閥是否有漏。
c. 不可以手指擦拭(接觸)到閥,尤其是 AsH3、PH3 等會藉皮膚之觸摸而進 入人體,要戴橡皮手套作業。
d. 對於氣瓶的閥與設備側 Fitting 接繞時之迫緊,拆取等要特別注意(如戴橡皮 手套)。
e. 氣體要開始供應設備時,確認配管內已經過 purge 後,才可以小心地逐量打 開氣瓶閥。
3.氣瓶室
a. 更換氣瓶應一步一步去做並在更換程序單上打勾,且要有兩人以上。
b. 氣瓶交換時之注意事項:
(1) 關氣瓶的 VALVE。
(2) 放出設備側 GAS(PURGE 法或真空法),並確認配管內,VALVE FITTING 等之內部不能有殘留氣體。(以真空計、壓方計等),確認過後以固定板 手小心地拆 VALVE FITTING。不可做劇烈之迴轉動作。(於半導體材料 GAS 拆取 FITTING 時,希望能夠以相當於大氣程度 Ar 等氣體保護,籠
罩下拆取)。
(3) 為了不使配管等受到污染,作業必須迅速施行,拆取後,此系 GAS 不再 使用的話,必須加 BLIND CAP 於 FITTING。
(4) 從設備等取下之氣瓶,必須裝上氣瓶閥之盲蓋,並以板手確實地栓緊。
c. 更換過程中一定要穿戴適當防護具。
d. 氣瓶櫃要有緊急切斷氣源裝置。
e. GAS ROOM 內設置特殊氣瓶櫃除害裝置如果鋼瓶有漏可立即將其推至氣瓶 櫃內處理。
f. 氣瓶櫃內裝設灑水裝置應定期測試。
g. 氣瓶室只有經核准的人才可進入。
a. h..如果更換氣瓶有洩漏時請負責技術員立即反應給氣體製造廠商。
h. 氣體鋼瓶在推入 LAB 前應先檢查是否有漏未經測試鋼瓶不可進入。
4.洩漏時之處理:
例如:SiH4 場合
a. SiH4 混合氣體比率在 2%以上在空氣會燃燒。
b. 從氣瓶閥部有漏(燃燒)時,立即栓緊氣瓶閥。
c. 發火之方向必須向著安全位置。
d. 燃燒不停止時,HALOGEN(鹵素)等氣瓶必須撤走,使用空氣呼吸器,一 邊滅火並一邊以灑水來冷卻容器,迅速退至安全之場所。
e. 縱使使用滅水器也無法消滅,與鹵素氣體會有爆炸之反應,宜注意。
例如:PH3之場合
a. 從 CYLINDER VALVE 部有洩漏時立即栓緊氣瓶閥。
b. 洩漏不止時,使用空氣呼吸器、防護衣。防護手套及保護靴,並實施鉛栓,
使用 OUTLET CAP 或防災 CAP 等,迅速移至安全場所。
c. 與 HALOCGEN 會爆炸之反應。
d. 會由皮膚吸收而引起人體傷害,所以免與皮膚直接接觸。
例如:NH3之場合 a. 用力推氣瓶閥。
b. 洩漏不止時,切斷附近著(發)火源,並且除去周邊的 HALOGEN。使用空 氣呼吸器、防護衣、防護手套及保護靴,並實弛鉛栓,使用 OUTLET CAO 或防災 CAP,迅速移至安全場所等適當之處置。
c. 採取能以大量灑水之除害處置。
d. 避免與皮膚直接接觸,與 Halogen 會產生激烈反應。
e. 容易溶解於水,溶解度為 42.8%在 0℃。屬於腐蝕性之鹼性。
5.容器之移動時務必於 HANDLE CLOSE,並付上 CAP 時實施之。
2.4 火災之預防與搶救 1.防火的基本原則:
a. 安全門、逃生梯應經常維護,並隨時檢查其是否開啟順暢。
b. 易燃物物品應適當貯存,定期檢查,注意設備的預防保養,環境整潔及禁止 不安全的動作。
c. 易燃垃圾廢物,應加以分類,不與一般垃圾放在一起。
d. 機電設備應符合規格,注意維護保養,並定期清除積取易燃油污,以免過熱、
漏電、短路等引起火災。
e. 適當接地,以消除靜電,庫房保持通風良好,防止自燃,易(可)燃物料應 留置安全貯存,注意防火燃燒。
f. 嚴禁在存放或使用易燃品的地點留火種或抽煙。
g. 在廠區內動火需辦理申請手續,取得動火許可後才可施工.
2.各種常用手提滅火器性能及使用須知 a. 乾粉滅火器
z 藥劑為重碳酸鈉白色粉末,並附裝有二氧化碳之小鋼瓶一個,作為驅壓瓦 斯。
z 藥劑有效時限三年。
z 藥劑非導電性。
b. ABC 乾粉
z 對普通可燃物料及油類火災均適用。
z 對電氣火災最適用。
c. BC 乾粉:
z 除普通可燃物料火災物料火災不適用外,餘同前項。
z 拉開小鋼瓶之保除閂,以左手將小鋼瓶開關壓板下壓後,左手提握把右手握 噴嘴開關柄,向,焰下方搖掃噴射,如遇有風應站上風使用。
z 使用後將滅火器倒置,右手緊握開關,使剩餘瓦斯噴出,以免堵塞噴嘴。
d. 二氧化碳滅火器
z 藥劑為 99%液態二氧化碳,不得超過 5%,噴出後即變成氣體比空氣重 4.5 倍。
z 藥劑具阻氣性故產生滅導電性。
z 對油類、化學物品火災均適用;但對普通可燃物料,除非有保護目的避免用 水之情況下,通常不採用。
z 對電氣火災最適用。
z 對遇水有爆炸危險之金屬火災不適用。
z 拉開保險閂,左手執高壓管喇叭柄,右手拉起滅火器,緊握開關對準火焰掃 射。
z 室外使用時效力較差,並應站在上風使用。
3.防爆有關注意事項:
爆炸的產是由於能量迅即解放的結果,迅速分解,壓力過高及自燃均可能去引起 爆炸,預防或減少爆炸措施如下:
a. 易引起爆炸危險處所,應有適當嚴禁煙火、閒人勿進等標示。
b. 在存有易引起爆炸危險之處所從事明火或發生火花之作業,應先採除去危險 之措施。
c. 有因靜電引起爆炸之虞時,應採取接地,加濕或其他除靜電措施。
d. 有引火性物質氣體存在,可能引起爆炸之場所,應採取通風、換氣、除塵、
去除靜電等必要措施,且裝用機具,應不發生火花,引起爆炸。
4.火災及爆炸之撲滅:
a. 應備各種適當及充足的消防器材,並經常檢查保養,確保其隨時在可用狀態。
b. 針對火災要素,選用窒息、冷卻或拆卸等適當方法撲救。
c. 依據火災的分類,使用適當的滅火器材,並配合適當的消防技術撲救。
5.消防設備使用一般注意事項:
a. 消防設施應參有關規定或實際需要充分置備,並確保隨時可供使用,使區域 內之危險部份,獲得適當的保護。
b. 應使用可靠及合格的滅火器材。
c. 根據可能發生火災之種類,採用正確之滅火器材。
d. 滅火機之位置,應能取用方便。
e. 滅火設備附近,不能推放其他器物,以免妨礙通行,影響救火時效。
f. 滅火器材應實施定期檢查及適當保養。
g. 實施滅火訓練,使員工均能作正確及有效的操作。
2.5 輻射及電氣作業安全注意事項 1.輻射安全注意事項:
a. 定義:
游離輻射:能量高到足以使物質發生游離作用,稱之。如α、β粒子及中子、質 子。
非游離輻射:能量不足以使物質發生游離作用,稱之。如:紫外線、可見光、紅 外線、微波、無線電波和雷射。
b. 劑量單位:侖目(REM),一般人的劑量每年不得超過 0.5 侖目。
c. 輻射所引起急性病有腹瀉、嘔吐、發燒、疲倦、食慾不振等,再嚴重一點有 脫毛、極度疲倦、發高燒、喉痛、腹瀉等、再嚴重的就會死亡。屬於慢性傷 害方面,有生癌、不孕、組織老化等。
d. 輻射防護措施:縮短接觸時間,增加與輻射距離及利用適當屏障。
2.6 電氣作業安全注意事項
a. 嚴格遵守電氣安全規章,並落實安全操作訓練,對所有使用電器材及電線等,
符合國家標準規格。
b. 切勿接觸電路內任何電線,除非確知該電路已停止送電。
c. 不得以電燈測試動力電路是否有電,應使用電壓檢驗器檢驗之。
d. 在線路上工作之前,主開關應拉開,如掛適當安全掛簽,並儘可能加鎖,竣 工後通電之前,應查明所有工作人員確已離開線路。
e. 勿單獨在帶電線路上工作。
f. 從事電壓在四四○伏特以上之活線工作,必須佩戴經檢查合格之絕緣手套。
g. 從事電氣工作時切勿使用金屬梯子。
h. 不得以電線或其他金屬線代替保險絲。
2.7 急救與搶救 1.一般創傷之急救要領
a. 止血: 將消毒紗布、棉墊或乾淨布塊置於傷口上, 而後用手直接加壓止血.
b. 防止汙染: 未受泥土或其他物質汙染者, 用消毒紗布或乾淨布塊覆蓋後用繃 帶包紮; 對已受汙染者則需先行清潔後再用繃帶包紮.
c. 傷口暫時止血後應緊急送醫治療.
2.骨折之急救要領
a. 儘可能將肢體置於自然位置.
b. 用夾板固定骨折處
c. 搬運傷者時避免骨折加劇,故一定要將骨折處固定後再搬運為佳 3.燙傷之急救要領
a. 謹記燙傷急救原則: 沖、脫、泡、蓋、送, 即:
(1) 用冷水沖洗傷口
(2) 輕輕脫掉傷口上的衣物
(3) 將傷口泡在冷水中 (4) 用乾淨紗布覆蓋傷口 (5) 送醫治療
b. 在送醫前切勿在傷口上塗抹藥物,尤其是油膏類藥物 c. 防止傷者休克方法:
(1) 儘可能的給予止痛
(2) 若傷者神智清醒能下嚥時應儘速供給非酒精性飲料,如: 茶、果汁、牛奶、
食鹽水等
(3) 注意保溫避免著涼 4.休克之急救要領
a. 對於任何較嚴重之傷患應隨時不忘預防休克,其要領如下:
(1) 如可能的話,儘可能除去引起休克的原因,如出血予以止血,疼痛止痛 (2) 除頭胸部創傷外,患者應平臥採低頭位 如下肢無骨折應予抬高
(3) 患者如有嘔吐,應將其頭部轉向一側,以利吐出物之吐出,避免將吐出物吸 入肺部引起肺炎
(4) 如患者神智清醒可以吞嚥而非腹部受傷者,可給予非酒精性飲料,最好略 加蘇打水或淡食鹽水
(5) 注意保暖避免著涼
不相容化學物一覽表(1)
參考 MSDS 不 可混物質
硫 酸
氫 氯 酸
磷 酸
醋 酸
硝 酸
氨 雙 氧 水
氧 氯 化 磷
三 氯 乙 烷
鹽 酸
氨 水
異 丙 醇
丙 酮
水
容器材質
硫酸 鹼、酸、可燃 物、硝酸
× ○ × ○ ○ ○ ○ × ˇ 氫氯酸 遠離鹼性、金
屬、硫酸
× ○ ○ ○ 不可使用含
玻璃成份
磷酸 強鹼 ○ ○ ○
醋酸 氧化劑、強鹼、
硝酸
○ × ○ ○ ○ ○ 硝酸 鹼、酸、醇、可
燃物
× × ○ ○ ○ × × ˇ 氨 酸、氧化劑 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ 雙氧水 鹼、可燃物 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ 不可用塑
膠、橡膠材質
氧氯化磷 強鹼、水 ○ ○ ○ ×
三氯乙烷 強氧化劑、鹼 ○ ○ ×
鹽酸 氧化物、酸 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ˇ 可使用 PE、
玻璃容器 氨水 氧化劑 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
異丙醇 氧化劑、硝酸、
腐蝕劑
○ ○ ○ ○ × ○ ○ ○ 丙酮 強氧化劑、與硝
酸、硫酸劇烈分 解
× × ○ ○
(×)不可混合物質 (○)混合可能會有危害 (ˇ)加大量水起劇烈反應
不相容化學物一覽表(2)
參考 MSDS 不可混物質
硫 酸
氫 氯 酸
磷 酸
醋 酸
硝 酸
氨 雙 氧 水
氧 氯 化 磷
三 氯 乙 烷
鹽 酸
氨 水
異 丙 醇
丙 酮
水 容器 材質
HMDS 氧化劑、水 ○ ○ ○
SOG 氧化劑 ○ ○ ○
TSMR-CR-B2 強氧化劑 ○ ○ ○ TSMR-V3 氧化劑 ○ ○ ○ S1400(鹼) 氧化劑、酸 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ OFPR-800 氧化劑 ○ ○ ○ HPR-204 強氧化劑 ○ ○ ○ HPR-429(鹼) 強酸、氨類混
合物
○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
TEOS 酸、鹼 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ MF319(鹼) 強硝 ○ ○ ○ ○ ○ ○
PRS-1000 強酸、強氧 化劑
○ ○ ○ ○ ○ ○
(×)不可混合物質 (○)混合可能會有危害 (ˇ)加大量水起劇烈反應
半導體製造常用酸液特性表
健康危害 物 質
名 稱 用 途
暴 露 限 值
IDLH 限 值
物理性狀 描 述
不可共存 物 質 途
徑
症 狀 目標器 官 鹽 酸
HCl 蝕 刻
5 ppm - 無色、發 煙、刺激 性液體
大部分的 金屬、鹼 類
吸 入 食 入 接 觸
上呼吸道、眼、皮 膚刺激、皮膚、眼 灼傷、皮膚炎
呼吸系 統、眼、
皮膚
硝 酸 H3PO4
蝕 刻
10 ppm
25 mg/m3
100 ppm
無色液 體、辛辣 的窒息性 氣味
可被氧化 性物質、
金屬粉 末、強鹼
吸 入 食 入 接 觸
牙齒糜爛、眼、黏 膜、皮膚刺激、肺 水腫、支氣管炎
呼吸系 統、眼、
皮膚、牙 齒
磷 酸 H3PO4
蝕 刻
1 mg/m3
- 無色、無 臭、黏滯 性液體
強鹼、大 部分的金 屬
吸 入 食 入 接 觸
上呼吸道、眼、皮 膚刺激、皮膚、眼 灼傷、皮膚炎
呼吸系 統、眼、
皮膚
硫 酸 H2SO4
蝕 刻 清 洗
1 mg/m3
80 mg/m3
無色、無 臭、油狀 液體
有機物、
過氯酸 鹽、碳化 物、爆炸 物、金屬 等
吸 入 食 入 接 觸
眼、鼻、喉刺激、
肺水腫、皮膚炎、
牙齒糜爛、支氣管 氣腫、口腔炎
呼吸系 統、眼、
皮膚、牙 齒
氫 拂 酸 HF
蝕 刻
3 ppm 2 mg/m3
20 ppm 無色煙霧 狀液體或 無色強列 刺激性氣 體
金屬、玻 璃陶瓷、
混凝土 吸 入 食 入 吸 收
接 觸
眼、鼻、喉嚨刺激、
皮膚炎、眼灼傷、
鼻充血、支氣管炎
呼吸系 統、眼、
皮膚
( )表示:國內未規範,採OSHA值。
IDLH為the Immediately Dangerous to Life or Health level:人能於30分鐘內 逃離危害區而無不可逆的健康危害之濃度。
半導體製造常用有機溶劑特性表
健康危害 物 質
名 稱 用 途
暴 露 限 值
IDLH 限 值
物理性狀 描述
不可共存 物質 途
徑
症 狀 目標器 官 丙 酮
CH3CO CH3
清 洗 溶 劑
1000 ppm 2400 mg/3
20000 ppm
無色液 體,有類 似薄荷之 芳香
氧化性物 質
吸 入 食 入 接 觸
頭痛、皮膚炎、眼、
鼻、喉刺激
呼吸系 統、皮膚
乙酸正 丁酯 CH3CO O(CH2)3
CH3 顯 影
150 ppm 710 mg/3
10000 ppm
無色液 體,有水 果香味
強氧化 劑,鹼 酸、硝酸 鹽類
吸 入 食 入 接 觸
頭痛、困儀、眼睛、
呼吸系統刺繳
呼吸系 統、眼、
皮膚
異 丙 醇 CH3CH OHCH3
清 洗 蝕 刻
400 ppm 980 mg/m3
20000 ppm
無色液體 強氧化劑 吸 入 食 入 接 觸
頭痛、暈眩、嘔吐、
反胃昏迷
呼吸系 統、眼、
皮膚
三 氯 乙 烯 CHClCC
l2
清 洗
100 ppm 540 mg/3
1000 ppm
無色液體 具似氯仿 之香甜味
強鹼、活 性金屬
吸 入 食 入 接 觸
暈眩、頭痛、嘔吐、
眼睛刺激、皮膚 炎、視覺障害
呼吸系 統、中樞 神經系 統、心臟
乙酸乙 氧基 CH3CO O(CH2)2
OC2H5
溶 劑
100 ppm 540 mg/3
2500 ppm
無色液體 具酯香味
硝酸鹽、
強氧化 劑、酸鹼
吸 入 接 觸 食 入
眼、鼻刺激、嘔吐、
腎損害、癱瘓
呼吸系 統、腸胃 系統、眼
HMDS (CH3)3Si NHSi(C
H3)3 清 洗
液體 水、無機 酸
吸 入 食 入
反胃、嘔吐、腹痛、
刺激胸部、吸呼道 等
呼吸系 統、眼睛
半導體製造常用氣體特性表
健康危害 物 質
名 稱
用途 暴 露 限 值
IDLH 限 值
物理性狀 描 述
不可共存
物 質 途徑 症 狀 目標器官 砷 化 氫
AsH3
沈積 植入
0.05 ppm 0.2 mg/m3
6 ppm 無色氣體 具類似蒜 味
強氧化 劑、氯、
硝酸
吸入 頭痛、暈眩、呼吸困 難、腹部、背部疼 痛、反胃、嘔吐、血 尿症、黃膽
血液、
肝、腎
三氟化硼 BF3
沈積 植入
1 ppm 3 mg/m3
100 ppm 無色氣 體,於濕 潤空氣中 只刺激氣 味
鹼 吸入
接觸
肺、腎損害、流鼻 血、鼻、皮膚刺激
呼吸系 統、腎、
眼、皮膚
乙 硼 烷 B2H6
沈積 植入
(0.1 ppm 0.1 mg/m3)
40 ppm 無色氣 體,具惡 臭
鹵化物、
活性金 屬、空氣
吸入 接觸
頭痛、胸部週期性疼 痛、呼吸急促、暈 眩、虛弱
呼吸系 統、中樞 神經系統 二氯矽烷
SiCl2H2
沈積 植入
( 0.5 ppm)
無色、刺 激臭、可 燃性氣體
水 吸入
接觸
刺激眼睛、呼吸器官 黏膜
呼吸系 統、眼
磷 化 氫 PH3
沈積 植入
0.3 ppm
0.4 mg/m3
200 ppm 無色氣 體、具魚 臭味
氧化劑、
水鹵化碳 氫化物
吸入 暈眩、嘔吐、腹痛、
呼吸困難、肌肉疼 痛、痢疾、口乾
呼吸系統
三氯化硼 BCl3
沈積 植入
無色發煙 液體
水、醇類 吸入 接觸
刺激呼吸器官、黏膜 呼吸系 統、皮膚 矽 烷
SiH4
蝕刻 (5 ppm) 無色氣 體,其不 快氣味
空氣、鹵 素
吸入 接觸
頭痛、嘔吐感、刺激 氣管
呼吸系 統、眼
六氟化硫 SF6
沈積 植入
(1000 ppm)
無色、無 味氣體、
低毒性
氧氯化磷 POCl3
( 0.1 ppm
0.6 mg/m3)
無色、發 煙液體、
刺激性氣 味
水、醇 類、胺 類,大部 分金屬、
可燃性物 質等
吸入 食入 接觸
咳嗽、胸部疼痛、反 胃、肺水腫、皮膚、
眼睛灼傷、肝、腎功 能損害
呼吸系 統、肝、
腎、皮 膚、眼
三氟化氮 NF3
(10 ppm
29 mg/m3)
2000 ppm
具霉味之 無色氣體
可氧化物 質、活性 金屬、油 脂、硫化 氫等
吸入 牙齒產生斑點、骨架 改變