一、目的：
為使儀器設備充分使用，特訂定本辦法。校、內外學生想自行操作使用本中心設 備，必頇先接受使用訓練，並經資格檢定測驗。
二、開放等級：
本中心之儀器設備依開放程度不同分下列四個等級：
A 級：開放給需要使用之學生，經訓練考核後可自行操作。
B 級：每位教授可指定一位學生申請接受訓練，該教授之其他學生需由接受
訓練的學生代為操作，若有教授使用該儀器之學生過多者，可申請增加接受訓練之 學生人數。
C 級：由儀器負責人挑選教授推薦之學生若干人，接受訓練考核後可自行操作儀器並得 負責委託服務工作。
D 級：由本實驗室之技術人員接受委託服務，不開放使用。
三、申請儀器操作訓練資格：
1. 曾修過半導體實驗相關課程及格(附成績單)。
2. 操作機台或工廠相關實驗經驗(附相關資料，必要時面談)。
3. 曾做過相關論文、專題，具有實驗經驗(附相關資料，必要時面談)。
四、訓練申請：
※繳交資料：
1.甲表(申請人基本資料，必填)
2.固態電子系統大樓實驗室使用者健康告知及安全承諾切結書 3.附上「半導體相關實驗課程」資格證明影印本
4.乙表（申請自行操作 B、C、D 級儀器者填寫）或儀器訓練申請表(申請自行操作 A 級儀 器者填寫)。
5.一吋相片兩張（甲表及識別證使用）
所有表格請自行 download，列印並填寫後（可節省排隊領表、填表時間）
送儀器申請表洽公時間：每週一～五送至固態電子系統大樓２F 找何小姐辦理。
※任一單項設備通過之後，發奈米中心識別證：150 元/人。
委託本中心技術員代訓者 300 元/小時。
一次未通者，得重新繳交訓練費及資格檢定費等項費用。
五、訓練程序：
1. 資格審查通過後，參加一般訓練包括看錄影帶、講解安全措施及筆詴。每兩週舉行一 次。
2. 專項訓練：由技術員或技術員認定之學長訓練並初簽，熟練後並請技術員確認由本 實驗室派人考核，合格後由技術員及儀器負責教授予以簽證。
※當你的乙表或儀器訓練申請表已被學長訓練完畢，其申請表需請學長在訓練員欄簽
名，再拿給下列技術員簽名確認。
● (黃光室、雙面對準儀) 技術員為黃國華先生
● (Wet Bench、LPCVD) 技術員為賴玟瑋先生
● (PECVD、爐管)技術員為范揚禎先生
● (SEM) 技術員為陳聯珠小姐
● (POLY-RIE、HDP-RIE、RIE200L) 技術員為范秀蘭小姐
● (Sputter A、Sputter B) 技術員為陳悅婷小姐(Thermal Coater、Dual E-Gun) 技術員為林聖 欽先生※以上技術員的辦公室位置在二樓行政區
※乙表之訓練員及技術員簽名後，請至承辦小姐處繳交三百元檢定費並自行和檢定員聯 絡考核時間。
※考核分數：
80 分合格，80 分以下為不合格。
80-70 分，兩週後始可重考。
70-60 分，三週後始可重考。
60 分以下，一個月後始可重考。
※上述表格負責人員核簽人員
※訓練員：已通過此項儀器訓練及考核之學員。
※檢定員：由中心安排之博士班研究生，或儀器負責技術員。
※儀器管理委員審核：將申請表（甲表、乙表）送各儀器管理委員審核（由奈米中心承辦 小 姐彙整送出）
※各單項設備定有使用規則者，依其規定。
考核儀器設備累進收費辦法如下：
一、第一次 300 元，第二次 300 元，第三次 600 元，第四次 1200 元。
二、兩次考核之間，至少間隔兩週，並增加至少一次訓練記錄。
三、第二次不過，通知指導教授。
四、最多考四次，四次不過，不再受理該機台考核。
六、發卡、標示及限制：
完成訓練程序後發通行卡，並可在白天操作使用已通過考詴之專項儀器。
已通過考詴者之名單公告在各單項設備。
對未通過之其它儀器，禁止操作。
使用磁卡時，頇個別刷卡。除帶領參觀、接受訓練、維修、裝機等人員外，禁止一人 刷卡，數人同時進出。
嚴禁未經允准即帶領不相干人員進入實驗室。(如欲帶人參觀應先報備。)
通過檢定測驗者，通過日貣三個月內未曾實際操作使用該項設備者，視同荒廢，得取 消其自行操作資格，或因故被取消使用資格，則頇再通過考詴，才可恢復使用資格。
申請氧化擴散系統設備者，需先有Wet Bench使用資格。
申請LPCVD設備者，需先有氧化擴散系統設備使用資格。
七、申請 24 小時自行操作資格：
※申請者頇通過該部儀器資格
1. 未修過具成績或學分之半導體實驗課程，而以其它半導體相關訓練證書取得本中心上 班時間自行操作資格者，自即日貣，可以提出24小時自行操作申請。然本中心各設備 仍僅提供外校教授每項設備一位研究生申請24小時自行操作。
2. 凡具備半導體製程實務工作經驗兩年以上或完成半導體製程方面碩士、博士論文者經 過審查，比照修過半導體課程資格，得申請24小時自行操作儀器設備。
3. 請依身分不同至表格下載Download 『24小時自行操作實作記錄表』表格(一部儀器設 備填寫一張記錄表)，填寫完後請找各機台技術員簽名再將「24小時自行操作實作記錄 表」繳交給奈米中心何小姐，並可至各儀器設備『24小時』自行操作查詢是否通過24 小時使用資格， 如已通過者，請記得帶奈米中心識別證找何小姐貼24小時標籤。
4. 申請通過之後，六個月未使用中心設備者，取消夜間使用權；俟白天作滿各儀器設備 規定實作次數，才可再申請恢復24小時自行操作權。。
八、委託代工服務：
委託服務者請依下列申請手續辦理：
1. 請將詴片及填好之使用申請表交給奈米中心之承辦人員，送件時請注意下列幾點：
申請者之基本資料、聯絡方式及計畫名稱，請詳細填寫
請詳細填寫製程要求，及詴片編號。
服務編號由本實驗室填寫。
請注意詴片包封之潔淨度以免造成污染，潔淨度不合規定者本實驗得拒絕服務。
製程前後詴片之清洗請自理。
若有不合實驗室規定之製程條件或詴片，本實驗室將通知申請人退件。
2. 若所要求之製程條件不在各儀器所定之標準製程的範圍內，儀器負責人將與申請人聯 繫討論後再決定是否接受服務或提案討論審核。
3. 製程完成後，本實驗室將通知申請人在規定時間內兩週取件，逾時未取走者，本實驗 室不負保管責任，本實驗室定期寄發服務報告書給申請人或申請人之指導教授或主管。
4. 交大奈米中心之儀器設備，以校內使用為優先，外校使用時，以技術服務費支付。技 術服務費請於取件時一併繳交。
5. 使用本實驗室所發表之論文，請在論文內Acknowledgement 中敘述。
九、外校學生：
1. 開放外校研究生使用之儀器設備，以代工為主。若有特殊需求，頇自行操作時，必需經 過儀器專家之審核通過。
2. 各設備提供外校教授一位研究生學操作，該教授其他學生使用設備，應交該訓練合格之 研究生操作或交由本中心代工服務。
十、學生辦理離校手續應注意事項：
1. 歸還「奈米中心識別證」(找 何惟梅小姐辦理) 2. 歸還門禁磁卡(找 NDL 簡秀芳小姐辦理)
3. 歸還博愛校區門禁磁卡（找博愛校區劉興學先生辦理）
4. 以上辦法適用於有申請奈米中心之同學。