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利用 T 檢定分析模擬結果

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第六章 分析結果與效益評估

6.4 利用 T 檢定分析模擬結果

在資料分析中,若要進行兩組平均數的顯著性考驗,以 T 檢定法最為適合,獨立樣本的 T 值等於組平均數差值除以組平均 數差值的標準誤,因而若 T 值愈大,表示兩組間平均數愈大,愈 達顯著水準。

T 檢定分析為判別母群體變異數是否相同的依據,亦為變

異數同質性考驗。本研究將其分析之信心水準設為 99%,若呈現 的 F 值達到顯著(即<0.01),則需接受對立假設,若 F 值未達顯 著(即>0.01),則接受虛無假設。其虛無假設(Null Hypothesis ) 與對立假設(Alternative Hypothesis)分別為:

H0:d1=d1,指兩母體群的變異數(非平均數)相等。

H1:d1?d1,指兩母體群的變異數(非平均數)不相等。

本研究所檢定的參數皆為各段製程所需監控之重要參數,根 據實際製程收集的資料與各類神經網路所模擬出的結果作檢定,

以了解模擬所得之數據是否可被採用。 而所檢定的參數有 NN1 之 Thk 與 U%,NN2 之 Thk 與 U% 以及 NN3 之 Thk。共 5 組數 據作為檢定之參數。結果如下:

5500 5505 5510 5515 5520 5525 5530 5535 5540 5545

1 21 41 61 81 101 121 141 161 181 201 221 241 261 281

組數

實際 模擬

圖 6.1 NN1 Thk 實際值與模擬值之趨勢圖

由表 6.13 的 T 檢定表中得知,其實際參數與模擬參數間的相 關性達 0.995,且根據其顯著性 F 值為 0.991(>0.01)顯示接受 其兩母體群變異數相等的假設,由此證明實際參數與模擬參數據 兩者間呈現高度相關性。

表 6.13 NN1 Thk 之 T 檢定

平均數 標準差 相關性 T 值 顯著性 實際值 5524.460 8.8529

模擬值 5524.461 8.9640

0.995 0.12 0.991

0.015 0.016 0.017 0.018 0.019 0.02 0.021 0.022

1 21 41 61 81 101 121 141 161 181 201 221 241 261 281

組數

實際 模擬

圖 6.2 NN1 U%實際值與模擬值之趨勢圖

由表 6.14 的 T 檢定表中得知,其實際參數與模擬參數間的相 關性達 0.996,且根據其顯著性 F 值為 0.648(>0.01)顯示接受 其兩母體群變異數相等的假設,由此證明實際參數與模擬參數據 兩者間呈現高度相關性。

表 6.14 NN1 U%之 T 檢定

平均數 標準差 相關性 T 值 顯著性 實際值 1.856E-02 1.167E-03

模擬值 1.856E-02 1.180E-03

0.996 0.458 0.648

4735 4740 4745 4750 4755 4760 4765 4770 4775

1 21 41 61 81 101 121 141 161 181 201 221 241 261 281

組數

實際 模擬

圖 6.3 NN2 Thk 實際值與模擬值之趨勢圖

由表 6.15 的 T 檢定表中得知,其實際參數與模擬參數間的相 關性達 0.991,且根據其顯著性 F 值為 0.490(>0.01)顯示接受 其兩母體群變異數相等的假設,由此證明實際參數與模擬參數據 兩者間呈現高度相關性。

表 6.15 NN2 Thk 之 T 檢定

平均數 標準差 相關性 T 值 顯著性 實際值 4756.93 7.695

模擬值 4756.85 7.845

0.991 0.694 0.490

0.0095 0.01 0.0105 0.011 0.0115 0.012 0.0125 0.013 0.0135

1 21 41 61 81 101 121 141 161 181 201 221 241 261 281

組數

實際 模擬

圖 6.4 NN2 U%實際值與模擬值之趨勢圖

由表 6.16 的 T 檢定表中得知,其實際參數與模擬參數間的相 關性達 0.992,且根據其顯著性 F 值為 0.988(>0.01)顯示接受 其兩母體群變異數相等的假設,由此證明實際參數與模擬參數據 兩者間呈現高度相關性。

表 6.16 NN2 U%之 T 檢定

平均數 標準差 相關性 T 值 顯著性 實際值 1.154E-02 6.950E-04

模擬值 1.154E-02 7.109E-04

0.992 0.015 0.988

1635 1640 1645 1650 1655 1660 1665

1 21 41 61 81 101 121 141 161 181 201 221 241 261 281

組數

實際 模擬

圖 6.5 NN3 Thk 實際值與模擬值之趨勢圖

由表 6.17 的 T 檢定表中得知,其實際參數與模擬參數間的相 關性達 0.991,且根據其顯著性 F 值為 0.055(>0.01)顯示接受 其兩母體群變異數相等的假設,由此證明實際參數與模擬參數據 兩者間呈現高度相關性。

表 6.17 NN3 Thk 之 T 檢定

平均數 標準差 相關性 T 值 顯著性 實際值 1651.48 5.213

模擬值 1651.62 5.279

0.991 1.945 0.368

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