4.1廠商提供之濃度推估曲線數據整理分析
本廠所使用之化學濾網如圖4.1，為廠商自行開發泡棉式之濾網，提供 之化學濾網相關規格如表3.1，使用椰殼活性碳(20 x 50 mesh)，並有最少60%
之CCl4吸附效率測試及H3PO4進行改質，平均表面積1000m2/g以上，活性碳 相關規格如附表4.1。
圖4.1 廠商提供之化學濾網
因化學濾網係以吸附及吸著原理來移除氣體污染，可將活性碳注入化 學藥劑，使某些低吸附力的氣體於實物質提昇其吸附之能力，如吸附質是 酸性的話，注入化學藥劑可使用鹼性藥劑，使吸附劑增加中和性之化學吸 附能力，如吸附劑活性碳經 5~10%氫氧化鉀浸泡乾燥後將可提昇吸附效 果，相反的如吸附質是鹼性的話，注入化學藥劑可使用酸性藥劑，本研究
透曲線如圖 4.2，概估在風速 2.5 m/s 下 NH3進氣濃度 5ppb，其化學濾網去 除氨氣之效率安裝約一年後將剩下 70%之去除效率。
圖4.2 廠商提供之穿透曲線 表4.1活性碳規格
Activity, CCl
460% Min. ASTM D3467 Surface Area 1000 M
2/g Min. N2, BET Base Particle size 20 x 50 mesh (0.85~0.3 mm) ASTM D2862 Base Carbon Granular Coconut – shell
Impregnated property
Impregnate H
3PO
425% (wt%)
Hardness, ball-pan 95 Min. ASTM D3802 Ash content 5% Max. ASTM D2866 Apparent density 0.66~0.69 g/ml ASTM D2854
4.2工研院報告數據整理分析
本研究數據引用正麗科技委託工研院之化學濾網性能測試報告，委託 編號：5F55RD3D00-022，委託日期：95.7.21，測試結果彙整如表4.3，於吸
附NH3 10ppm時，初始效率則為99.4%，經過870分鐘後則已降至82.6%，但 相對於吸附NH3 15ppb時，初始效率則只有82.9%，因此高濃度之初始吸附 效率高於低濃度。工研院測試結果效率曲線如圖4.3。另NH3在風速2.5 m/s ，入口濃度15.2 ppb，初始吸附效率為82.9 %，風速1.0 m/s，入口濃度 15.1 ppb初始吸附效率為84.1 %，我們發現於同樣低濃度下風速大小對初始 吸附效率則影響不是很明顯。
10ppm @ 2.5m/s
首先進行低濃度測試，當吸附10 ppb NH3之污染物，風速2.5 m/s及1.0 m/s下，效率降至70%之實測壽命以及吸附量計算如下：
NH3:14588小時吸附量: 145880 ppb-hr (2.5 m/s ) NH3:30000小時吸附量: 300000 ppb-hr (1.0 m/s )
之後再進行高濃度測試，當吸附10ppm NH3之污染物，風速2.5 m/s及1.0 m/s 下，效率降至70% 之實測壽命以及吸附量計算如下：
NH3:19小時吸附量: 190000 ppb-hr (2.5 m/s ) NH3:39小時吸附量: 390000 ppb-hr (1.0 m/s )
由以上可看出低濃度測試NH3(10 ppb)，低風速(1.0 m/s )之吸附容量較 高風速下(2.5 m/s )，壽命較長約一倍。又以同樣風速(1.0 m/s )下比較，高濃 度之吸附量則比低濃度為高。
4.3實廠安裝前及安裝後定期收集之data整理分析及去除效率驗證
安裝前潔淨室黃光區環境氨氣之濃度以IMS長期監測結果約在2~7ppb 飄移，如圖4.4。依據MAU外氣入口濃度監測結果，測值常態約在4~5ppb之 間，再加上MAU本身水洗去除效率約可達80%，理論上潔淨室內之NH3因 此判斷潔淨室黃光區環境NH3來源主要以潔淨室製程使用Gas、Chemical所 產生之內部污染居多。
依歷年使用Impinger採樣資料曲線如附圖4.5及IMS監測結果曲線如附 圖4.6，安裝前後有相當明顯之效益，FFU吸入端(Inlet)，由平均5.5ppb降至
1~3ppb，黃光區環境(Outlet)，則由平均5.5ppb降至1ppb以下。安裝一年後 之去除效率依然可達80~92%，總共吸附約7884 ppb-hr (0.35 m/s )，預估去 除效率降至70%，可使用5年以上(假設黃光區濃度變化差異不大)。
圖4.4 安裝化學濾網前潔淨室常態之氨氣濃度變化IMS監測曲線
圖4.5 安裝化學濾網前後潔淨室常態之氨氣濃度變化Impinger採樣曲線
2006年7月至2006年12月安裝化學濾網前黃光區常態氨氣濃度變化
黃光區NH3歷年impinger採樣濃度變化
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