i-SECS與CTC實機測試結果

本節以實驗室內現有的集束型製程設備來驗證 i-SECS 控制器的上層主機通訊 介面劇本，目前主要驗證的功能有：

1. 事件報告機制：集束型製程設備在進行晶圓輸送排程時，製程模組(PMC)和傳 輸模組(TMC)會上傳事件報告給集束型製程設備控制器(CTC)，告知目前製程 的操作進度；CTC 在接收到事件報告後，以上層主機通訊介面(GEM)所規範的 訊息劇本上傳到上層主機，讓上層主機也可以了解目前機台的運作狀況。如圖 6.2 所示的是當 CTC 在接收到 TMC 或 PMC 上傳的事件報告後會回報給上層 主機，i-SECS 在接收到 CTC 上傳的 S6F11 訊息後會以 SML 語法記錄訊息內 容並在操作介面上改變 Monitor 畫面與記錄事件報告，最後再將訊息轉傳到上 層主機，等待上層主機回覆確認訊息。

圖 6.2 設備連線事件報告測試

2. 製程配方管理機制：製程配方管理機制主要的目的是驗證 CTC 與上層主機間 可否完成上傳、下載、建立與刪除製程配方的功能，讓上層主機可以透過製程 配方管理的劇本，決定 CTC 的製程參數。如圖 6.3 所示的是製程配方管理的 操作畫面，當按下 Connect Recipe 的按鈕後會開啟一個資料庫連結的畫面，

此畫面的目的是希望以手動的方式連結到製程配方的資料庫中；在圖 6.4 中所 示的是 i-SECS 允許操作者建立或刪除特定的製程配方資料表，當按下 Create Recipe 的按鈕後會出現一個建立製程配方的畫面，可以在畫面上新增一筆製程 配方；當按下 Delete Recipe 的按鈕後，會出現一個刪除製程配方的確認畫面，

確認是否要刪除該筆製程配方；當按下 的按鈕後可以在畫面上顯示資料庫中

該筆製程配方的內容，當按下 Download Recipe 按鈕後，i-SECS 會將所點選 到的製程配方資料內容下傳到設備控制器，完成製程配方下傳的功能。

圖 6.3 製程配方管理資料庫連結

圖 6.4 製程配方管理建立與刪除資料表

3. 資料收集機制：本節主要在驗證 6.1.2.2 節的三個資料收集劇本，上層主機透 過資料收集劇本可以得知設備控制器的變數資料。這裡所測試的資料收集機制 分為三種：事件資料收集(Event Data Collection)、變數資料收集(Variable Data Collection)以及追蹤資料收集(Trace Data Collection)等劇本。

a. 事件資料收集

圖 6.5 所示的是 i-SECS 控制器驗證上層主機透過事件資料收集劇本得到 CTC 中事件報告的資料連結，右上方的(Request Event Report)部份代表了 Event Report CEID 101 這筆資料內包含了兩筆 Report ID，分別為 RPTID 1 及 RPTID 2，其中的 RPTID 2 內所掛載的變數資料分別為 30 與 10。右下方的 (Event Reporting Setup)部份則是 i-SECS 手動設定 CTC 的 CEID、RPTID 與 VID 之間的連結關係。當選定好 CEID 所應連結的 RPTID 或 RPTID 所應連結 的 VID 後，按下 按鈕後便將之間的連結關係下傳到 CTC，並等待 CTC 回 覆確認訊息，完成事件報告的設定。

圖 6.5 事件資料收集測試

b. 變數資料收集

圖 6.6 所示的是i-SECS操作畫面上列出CTC的SVID(Status Variable ID)、ECID(Equipment Constant ID)所分別連結的變數資料以及名稱清單列表 (Namelist)。上方的(Status Variable Requests)部份是由i-SECS主動要求CTC 上傳SVID 101、102、103、104 所連結的狀態變數值，CTC回傳此四筆SVID 的狀態變數值分別為 09:12:53、30、10 與DATAID104。在右邊部份則是顯示 對應此四筆SVID的狀態變數名稱清單(SV Namelist)，其目的是列出SVID對應 的狀態變數名稱(SVNAME)與其表示的單位(UNITS)；同理，下方的(Equipment Constant Requests)部份則是i-SECS要求CTC上傳的設備常數值以及設備常 數名稱清單，在右邊的設備常數名稱清單部份列出對應ECID的設備常數名稱 (ECNAME)、設備常數最小值(ECMIN)、設備常數最大值(ECMAX)、設備常數 預設值(ECDEF)以及設備常數對應的單位(UNITS)等設備常數資料。

圖 6.6 變數資料收集測試

c. 追蹤資料收集

如圖 6.7 所示的是追蹤資料收集劇本測試的結果，上方的(Trace Data Collection)部份可以由 i-SECS 先設定好追蹤報告的 TRID(Trace Report ID)、

取樣週期(Sample Period)、取樣次數(Total Samples)以及 SVID 的連結後，透 過追蹤資料收集的劇本要求 CTC 週期性上傳所要追蹤的變數資料。如圖中所 示，i-SECS 要求 CTC 週期性的上傳 SVID 101、102、103、104 等四筆資料 的狀態變數值，當 CTC 收到追蹤報告開始的訊息(S2F23)後，會依據追蹤的取 樣週期及取樣次數上傳追蹤資料，在右方的表格即是 CTC 週期性上傳的狀態 變數資料，由 SVID 101 所連結到的狀態資料值(Clock)可以看出 CTC 一共上傳 了五筆資料，每筆資料間隔 10 秒，i-SECS 在接收到資料收集的訊息(S6F1)後，

會將狀態變數資料儲存在資料庫中，以做為後續發展先進製程控制(APC)時所 需的參數資料。圖 6.7 下方的溫度(T)-時間(t)曲線圖則是將所收集到的製程溫 度資料呈現在使用者介面上，可以即時的了解目前製程的狀況。

圖 6.7 追蹤資料收集測試