第四章 實驗概況
4.3 實驗規劃及步驟
第五章 各模型製作及比較
5.2 移除率下降率的模型建立
5.3 SiO
2控片的移除率模型建立
2.28281 0.10372 0.00988 0.05756 * 0.00006 *
0.00132 * 0.26817 0.00368 0.0000001 7.31771
0.092
表 5.31，所得之實驗數據如表 5.32~表 5.58。
0.22706 0.00041 0.00658 0.00151 * 0.00024 * 0.00002 * 0.02097 0.00034 0.00005 1.02829 0.116
RR F S R F S S R
2
ˆ
2ˆ
0.93541 即為 93.5%，而樣片的適配度為 0.95794 即為 95.8%，由此 是配度可得知此二模型均為非常接近實驗之模型。SiO2
5.6 不平坦度之研究
0.00007 0.00008 0.00002 0.00001 * 0.0000003 * 0.000002 * 0.00004 0.000001 0.00000001 17.8529
NPI F S R F S S R
2 2 2
0.00081 0.00001 0.00001 0.00001 * 0.000002 * 0.000001 * 0.00007 0.000001 0.00000004 22.0972
NPI F S R F S S R
F R F S R δ
= − − − − −
+ + + + + +
在此中 NPI 為移除率、F 為正壓力、S 為轉速而 R 為研磨液流速。
而兩種晶圓之不平坦度由公式可得知，除了常數項為二位數外，
其餘皆為小數點後四位以後，相比之下之值極小，故可忽略。
因此可得知不平坦度與改變之變數之關係極小，因此可以忽略不 計。
5.7 模型間關係概況
由前述之兩大模型可得知，由於有三種不同的變換參數，而參數 間又互相影響，再加上移除率的下降，造成有十種以上不同且無方程 式關係的係數存在，因此無法單純只以Tf 之方程式來帶入兩者間之關 係，無論是幾階方程均無法以單一變數來連接兩者間之關係。但是，
並非無法由研磨樣片時之移除率來推算控片之移除率，可將參數及樣 片移除率帶入樣片模型，以求出研磨率下降之片數 t 之值，再將 t 及 參數帶回控片模型即可得知此時控片之移除率以及是否須手動用刷 子刷研磨墊，恢復研磨墊的摩擦率，或者更換新的研磨墊，進而節省 晶圓之消耗。
第六章 結論及未來展望
調整，希望將來能找出與化學參數如：研磨漿料相關參數、溫 度……等相關參數有關之移除率模型，使晶圓的移除率模型更 加完整。
（3）而在國外的論文中，CMP 機台都有導入即時監測厚度的干 涉儀裝置，如果未來 CMP 機台有此裝置，不僅可以作每批片的厚 度控制外；還可以作每秒作厚度控制或不平坦度控制；另外，如 果可以即時知道厚度，就可以即時帶入公式，並得知研磨墊的狀 況。但由於國家耐米實驗室沒有在線厚度偵測器，只能將此晶圓 磨完後帶去量測機台裡面量測。因此，假如有在線厚度量測，
RTMS 與本研究之內容可以相輔相成；但是由於 NDL 本身並沒有 這樣的設備；另一方面也是因為實驗片數之稀少，而不像大廠裡 都是隨時隨地在 RUN 片，因此運用困難。但是，假如將本實驗 與 RTMS 配合在一起給大廠晶圓片數多的情況下使用，就是一個 更完善的研磨墊確認系統了。
參考文獻
[1] 薛木坤，“應用模糊類神經網路於銅膜化學機械研磨之批次製程 控制”，碩士論文，國立交通大學機械工程研究所，2004。
[2] M. A. Fury, “Chemical Mechanical Planarization of
Aluminum-Based Alloys for Multilevel Metallization”, Solid State Technology, Vol.20, P.61, 2000.
[3] F.G. Shi and B. Zhao. Fundamentals of CMP for IC manufacturing:
Recent progress. In Proceedings of 5th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, pages 113-115, 1998.
[4] S.S.P. Rao, J. Stefani, S. Comstock, J. Larsen, B. Paquette, and M.
Wang. Run-to-run process control of oxide cmp using integrated metrology. In The Ninth International Symposium on
Semiconductor Manufacturing, pages 411-414, 2000.
[5] W. Campbell. Model Predictive Run-to Run Control of Chemical Mechanical Planarization. Ph.D. Dissertation, Univ. Texas at Austin, 1999.
[9] Douglas C.Montgomery，Design and Analysis of Experiment，
Edition 5th
[10] Chadi El Chemali, James Moyne and Kareemullah Khan,“Multizone uniformity control of a chemical mechanical polishing
processutilizing a pre- and postmeasurement strategy” 2000
2000.
[11] 實驗設計與分析，Design and Analysis of Experiments 5/e 原著 Montgomery 黎正中、陳源樹 編譯
[12] 時間數列分析與預測 三版，Time Series Analysis and Forecasting 林茂文 著
[13] 劉柏聖，“Run to Run prediction and control of ADI CD＂，
碩士論文，國立中興大學機械工程研究所，1999。
1. 問題的認知及陳述 銅 3251.33 3271.667 2396.667 4575.667 3256
表 5.1 研磨液不同比例之移除厚度（Å）
1 2 3 4 5 6 7 SiO 2 587.22 579.35 571.09 570.64 555.96 544.21 542.93 Cu 5.75 5.68 5.60 5.53 5.31 5.12 4.98
表 5.2 連續研磨之移除厚度（Å）
研磨墊 Primary Pad
Time 60 sec
Down Force 2～6 psi
Back pressure 1/2 Down Force
Platen speed 20～40 rpm
Carrier Speed 20～40 rpm
Slurry PS2515+DI Water(1:1)
Flow rate 150～250 ml/min
表 5.3 SiO
2之控片
實驗固定參數值第 01 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 4437.1 4405.66 4415.39 4438.81 4430.18 4449.88 4450.84 4435.74 4446.27 研磨後 4234.6 4195.9 4198.79 4213.13 4222.35 4230.93 4228.95 4224.16 4227.5 研磨厚度 202.5 209.76 216.6 225.68 207.83 218.95 221.89 211.58 218.77
平均移除率 3.580667 不平坦度 13.20002
修正後之移除率 3.580667
表 5.4
模型 DF=4 psi，SP=20 rpm，FR=150ml/min第 02 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4469.76 4473.67 4512.3 4451.48 4448.73 4466.08 4436.5 4457.16 4425.33 研磨後 4454.85 4463.66 4462.33 4423.66 4432.54 4446.57 4437.16 4457.15 4436.26 研磨厚度 14.91 10.01 49.97 27.82 16.19 19.51 -0.66 0.01 -10.93
平均移除率 0.23487 不平坦度 13.47743
修正後之移除率 0.327144
表 5.5
模型 DF=2 psi，SP=20 rpm，FR=150ml/min第 03 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4451.91 4451.33 4441.43 4443.58 4434.09 4441.25 4454.99 4458.12 4455.76 研磨後 4171.3 4191.97 4188.17 4152.85 4126.04 4196.77 4188.63 4193.61 4190.81 研磨厚度 280.61 259.36 253.26 290.73 308.05 244.48 266.36 264.51 264.95
平均移除率 4.504278 不平坦度 22.48096
修正後之移除率 4.688824
表 5.6
模型 DF=6 psi，SP=20 rpm，FR=150ml/min第 04 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4465.39 4465.38 4457.06 4447.08 4456.01 4463.4 4450.83 4459.36 4435.5 研磨後 4451.62 4459.41 4459.75 4451.67 4435.11 4451.28 4440.51 4435.98 4421.69 研磨厚度 13.77 5.97 -2.69 -4.59 20.9 12.12 10.32 23.38 13.81
平均移除率 0.172204 不平坦度 11.99628
修正後之移除率 0.449023
表 5.7
模型 DF=2 psi，SP=40 rpm，FR=150ml/min第 05 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 4444.94 4457.56 4438.02 4446.55 4436.02 4440.52 4414.41 4423.92 4443.93 研磨後 4116.88 4120.54 4123.71 4098.2 4075.97 4094.76 4085.07 4129.21 4058.21 研磨厚度 328.06 337.02 314.31 348.35 360.05 345.76 329.34 294.71 385.72
平均移除率 5.635778 不平坦度 22.8496
修正後之移除率 6.00487
表 5.8
模型 DF=4 psi，SP=40 rpm，FR=150ml/min第 06 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4481.95 4450.66 4427.62 4454.41 4435.51 4473.04 4483.12 4462.8 4457.08 研磨後 3930.93 3933.15 3911.64 3897.76 3875.36 3953.75 3965.69 3896.38 3886.45 研磨厚度 551.02 517.51 515.98 556.65 560.15 519.29 517.43 566.42 570.63
平均移除率 9.027926 不平坦度 29.1872
修正後之移除率 9.489292
表 5.9
模型 DF=6 psi，SP=40 rpm，FR=150ml/min第 07 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4470.92 4458.09 4448.44 4476.69 4474.6 4499.15 4499.88 4473.63 4457.01 研磨後 4449.92 4438.29 4427.72 4438.61 4403.11 4445.41 4479.61 4433.75 4415.21 研磨厚度 21 19.8 20.72 38.08 71.49 53.74 20.27 39.88 41.8
平均移除率 0.605148 不平坦度 20.48667
修正後之移除率 1.158787
表 5.10
模型 DF=2 psi，SP=20 rpm，FR=250ml/min第 08 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4475.38 4489.97 4476.23 4458.37 4467.21 4474 4447.17 4472.65 4472.25 研磨後 4263.57 4288.98 4261.6 4246.13 4261.59 4257.87 4237.58 4268.87 4255.88 研磨厚度 211.81 200.99 214.63 212.24 205.62 216.13 209.59 203.78 216.37
平均移除率 3.502148 不平坦度 13.54998
修正後之移除率 4.14806
表 5.11
模型 DF=4 psi，SP=20 rpm，FR=250ml/min第 09 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 4482.81 4498.88 4488.36 4476.79 4435.76 4475.85 4480.15 4490.73 4503.05 研磨後 4155.93 4155.67 4137.63 4127.84 4103.92 4158.1 4133.79 4151.1 4169.1 研磨厚度 326.88 343.21 350.73 348.95 331.84 317.75 346.36 339.63 333.95
平均移除率 5.628333 不平坦度 18.76513
修正後之移除率 6.366519
表 5.12
模型 DF=6 psi，SP=20 rpm，FR=250ml/min第 10 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5034.75 5035.34 5033.78 5033.57 5030.9 5036.71 5035.61 5032.38 5030.93 研磨後 5009.74 5004.71 4947.29 5004.76 5015.23 4981.48 5002.13 5013.73 5021.8 研磨厚度 25.01 30.63 86.49 28.81 15.67 55.23 33.48 18.65 9.13
平均移除率 0.561296 不平坦度 21.50246
修正後之移除率 1.391755
表 5.13
模型 DF=2 psi，SP=40 rpm，FR=250ml/min第 11 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5038.73 5039.25 5038.53 5036.69 5038.67 5038.57 5039 5038.41 5035.7 研磨後 4702.71 4682.29 4675.05 4692.19 4699.88 4677.57 4698.35 4695.28 4692.51 研磨厚度 336.02 356.96 363.48 344.5 338.79 361 340.65 343.13 343.19
平均移除率 5.792074 不平坦度 9.437105
修正後之移除率 6.714806
表 5.14
模型 DF=4 psi，SP=40 rpm，FR=250ml/min第 12 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5047.74 5052.77 5054.94 5044.86 5040.24 5057.28 5058.14 5044.33 5040.35 研磨後 4461.46 4441.19 4446.07 4460.91 4467.72 4474.61 4425.63 4460.6 4420.64 研磨厚度 586.28 611.58 608.87 583.95 572.52 582.67 632.51 583.73 619.71
平均移除率 9.966333 不平坦度 17.70962
修正後之移除率 10.98134
表 5.15
模型 DF=6 psi，SP=40 rpm，FR=250ml/min第 13 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 5022.66 5024.26 5023.89 5019.85 5017.01 5023.81 5022.97 5020.38 5019.99 研磨後 4800.38 4768.94 4778.67 4802.09 4793.46 4813.16 4814.12 4799.02 4809.55 研磨厚度 222.277 255.317 245.217 217.757 223.547 210.646 208.846 221.357 210.437
平均移除率 3.732227 不平坦度 14.47029
修正後之移除率 4.839505
表 5.16
模型 DF=6 psi，SP=20 rpm，FR=200ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5016.28 5017.37 5017.65 5013.78 5011.17 5017.71 5017.91 5013.78 5010.29 研磨後 4640.78 4644.69 4683.32 4622.50 4619.75 4637.10 4607.52 4628.18 4596.35 研磨厚度 375.494 372.674 334.324 391.274 391.414 380.604 410.384 385.594 413.934
平均移除率 6.39944 不平坦度 23.60837
修正後之移除率 7.598990926
表 5.17
模型 DF=6 psi，SP=30 rpm，FR=200ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4234.6 4195.9 4198.79 4213.13 4222.35 4230.93 4228.95 4224.16 4227.5 研磨後 4187.77 4123.66 4153.93 4183.74 4175.41 4189.8 4208.11 4173.55 4188.36 研磨厚度 46.8313 72.2413 44.8613 29.3913 46.9413 41.1313 20.8413 50.6113 39.1413
平均移除率 0.72486 不平坦度 13.49286
修正後之移除率 1.83213
表 5.18
模型 DF=2 psi，SP=30 rpm，FR=150ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4454.85 4463.66 4462.33 4423.66 4432.54 4446.57 4437.16 4457.15 4436.26 研磨後 4147.01 4167.45 4175.7 4127.13 4171.51 4143.24 4102.25 4165.48 4163.13 研磨厚度 307.838 296.208 286.631 296.528 261.028 303.328 334.911 291.668 273.128
平均移除率 4.91276 不平坦度 19.84166
修正後之移除率 6.11231
表 5.19
模型 DF=4 psi，SP=30 rpm，FR=150ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 4171.3 4191.97 4188.17 4152.85 4126.04 4196.77 4188.63 4193.61 4190.81 研磨後 3736.49 3749.37 3745.77 3717.99 3707.74 3763.21 3764.93 3774.44 3785.93 研磨厚度 434.814 442.604 442.403 434.864 418.304 433.56 423.704 419.174 404.884
平均移除率 7.14031 不平坦度 11.87681
修正後之移除率 8.43213
表 5.20
模型 DF=6 psi，SP=30 rpm，FR=150ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4476.14 4487.03 4502.57 4504.28 4511.64 4473.63 4485.41 4465.33 4433.04 研磨後 4451.62 4459.41 4459.75 4451.67 4435.11 4451.28 4440.51 4435.98 4421.69 研磨厚度 24.517 27.62 42.817 52.607 76.527 22.347 44.904 29.347 11.347
平均移除率 0.6129 不平坦度 18.49163
修正後之移除率 0.77123
表 5.21
模型 DF=2 psi，SP=20 rpm，FR=200ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4116.88 4120.54 4123.71 4098.2 4075.97 4094.76 4085.07 4129.21 4058.21 研磨後 3958.66 3982.74 3993.69 3950.5 3920.58 3961.68 3932.67 3978.42 3910.19 研磨厚度 158.219 137.799 130.021 147.699 155.389 133.079 152.398 150.789 148.019
平均移除率 2.43594 不平坦度 9.417545
修正後之移除率 3.91231
表 5.22
模型 DF=4 psi，SP=20 rpm，FR=200ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 3930.93 3933.15 3911.64 3897.76 3875.36 3953.75 3965.69 3896.38 3886.45 研磨後 3877.96 3918.88 3896.82 3866.26 3834.64 3904.45 3919.58 3853.85 3840.58 研磨厚度 52.9653 14.2653 14.8201 31.4953 40.7153 49.2953 46.1066 42.5253 45.8653
平均移除率 0.63259 不平坦度 13.53839
修正後之移除率 2.20123
表 5.23
模型 DF=2 psi，SP=30 rpm，FR=200ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 4449.92 4438.29 4427.72 4438.61 4403.11 4445.41 4479.61 4433.75 4415.21 研磨後 4146.86 4140.26 4187.11 4142.04 4094.56 4170.61 4180.95 4126.7 4100.09 研磨厚度 303.063 298.033 240.613 296.571 308.553 274.803 298.661 307.053 315.123
平均移除率 4.89033 不平坦度 21.53221
修正後之移除率 6.55124
表 5.24
模型 DF=4 psi，SP=30 rpm，FR=200ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4305.86 4320.97 4296.41 4319.61 4326.19 4306.83 4297.56 4308.86 4316.76 研磨後 4263.57 4288.98 4261.6 4246.13 4261.59 4257.87 4237.58 4268.87 4255.88 研磨厚度 42.288 31.993 34.808 73.478 64.598 48.963 59.977 39.988 60.878
平均移除率 0.852 不平坦度 13.71808
修正後之移除率 0.90123
表 5.25
模型 DF=2 psi，SP=40 rpm，FR=200ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4155.93 4155.67 4137.63 4127.84 4103.92 4158.1 4133.79 4151.1 4169.1 研磨後 3867.79 3867.26 3868.78 3872.87 3860.07 3847.14 3810.89 3897.51 3925.44 研磨厚度 288.14 288.414 268.85 254.97 243.849 310.96 322.9 253.59 243.66
平均移除率 4.56667 不平坦度 27.48695
修正後之移除率 6.41213
表 5.26
模型 DF=4 psi，SP=40 rpm，FR=200ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5009.74 5004.71 4947.29 5004.76 5015.23 4981.48 5002.13 5013.73 5021.8 研磨後 4536.45 4551.69 4490.63 4532.02 4535.68 4498.52 4564.67 4541.3 4589.33 研磨厚度 473.289 453.019 456.658 472.739 479.549 482.961 437.459 472.429 432.469
平均移除率 7.7135 不平坦度 17.26958
修正後之移除率 9.65123
表 5.27
模型 DF=6 psi，SP=40 rpm，FR=200ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 4702.71 4682.29 4675.05 4692.19 4699.88 4677.57 4698.35 4695.28 4692.51 研磨後 4668.88 4627.79 4624.35 4676.81 4705.68 4618.27 4647.19 4639.14 4641.05 研磨厚度 33.833 54.503 50.703 15.383 -5.7976 59.303 51.163 56.143 51.4626
平均移除率 0.67212 不平坦度 20.95533
修正後之移除率 2.70213
表 5.28
模型 DF=2 psi，SP=30 rpm，FR=250ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4461.46 4441.19 4446.07 4460.91 4467.72 4474.61 4425.63 4460.6 4420.64 研磨後 4181.39 4192.56 4178.8 4179.13 4194.57 4179.07 4131.82 4181.89 4131.4 研磨厚度 280.074 248.634 267.269 281.784 273.154 295.539 293.814 278.714 289.244
平均移除率 4.6234 不平坦度 13.80371
修正後之移除率 6.74569
表 5.29
模型 DF=4 psi，SP=30 rpm，FR=250ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4800.38 4768.94 4778.67 4802.09 4793.46 4813.16 4814.12 4799.02 4809.55 研磨後 4388.16 4353.06 4362.91 4408.55 4422.15 4423.06 4430 4374.47 4456 研磨厚度 412.227 415.887 415.766 393.547 371.317 390.107 384.118 424.557 353.557
平均移除率 6.59385 不平坦度 22.2527
修正後之移除率 8.8084
表 5.30
模型 DF=6 psi，SP=30 rpm，FR=250ml/min研磨墊 Primary Pad
Time 60 sec
Down Force 2～6 psi
Back pressure 1/2 Down Force
Platen speed 20～40 rpm
Carrier Speed 20～40 rpm
Slurry
2 3
Al O 1%＋硝酸 0.616%＋DI Water
Flow rate 150～250 ml/min
表 5.31
樣片實驗固定參數值第 01 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4878.06 4855.23 4887.23 4895.66 4982.52 4886.89 4948.86 4875.13 4874.25 研磨後 4867.45 4851.17 4885.75 4890.65 4974.32 4883.11 4940.05 4862.65 4865.31 研磨厚度 10.61 4.06 1.48 5.01 8.2 3.777 8.81 12.48 8.94
平均移除率 0.117346 不平坦度 38.06793
修正後之移除率 0.117346
表 5.32
模型 DF=2 psi，SP=20 rpm，FR=150ml/min第 02 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4971.53 4935.83 4917.11 4970.45 4974.22 4968.8 4984.85 4951.31 4921.08 研磨後 4953.93 4919.26 4913.77 4952.57 4962.78 4954.39 4970.13 4934.95 4903.78 研磨厚度 17.6 16.57 3.34 17.88 11.44 14.41 14.72 16.36 17.3
平均移除率 0.240037 不平坦度 22.20606
修正後之移除率 0.356529
表 5.33
模型 DF=4 psi，SP=20 rpm，FR=150ml/min第 03 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4980.16 4947.06 4910.92 4981.83 4981.6 4978.55 4970.02 4965.17 4908.55 研磨後 4960.22 4933.14 4905.02 4964.59 4967.45 4965.91 4966.51 4943.67 4902.17 研磨厚度 19.94 9.13 3.71 13.28 8.23 12.94 10.75 26.49 15.19
平均移除率 0.221593 不平坦度 26.6753
修正後之移除率 0.454576
第 04 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 4992.68 4953.08 4917.99 4980.21 4981.32 4983.93 4981.02 4965.5 4920.04 研磨後 4973.68 4952.54 4909.01 4964.03 4969.46 4972.66 4970.96 4942.45 4905.49 研磨厚度 19 0.54 8.98 16.18 11.86 11.27 10.06 23.05 14.55
平均移除率 0.21387 不平坦度 25.39052
修正後之移除率 0.563346
表 5.35
模型 DF=2 psi，SP=40 rpm，FR=150ml/min第 05 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4986.8 4953.04 4925.57 4987.61 4980.68 4985.73 4984.2 4968.86 4919.99 研磨後 4962.64 4936.57 4915.28 4964.58 4961.4 4956.92 4962.5 4938.3 4900.29 研磨厚度 24.16 16.47 10.29 23.03 19.28 28.81 21.7 30.56 19.7
平均移除率 0.359259 不平坦度 22.12424
修正後之移除率 0.825226
表 5.36
模型 DF=4 psi，SP=40 rpm，FR=150ml/min第 06 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4989.58 4961.4 4924.64 4990.52 4984.24 4988.45 4985.68 4966.45 4920.11 研磨後 4956.67 4937.69 4901.34 4965 4965.69 4954.93 4958.89 4927.45 4899.5 研磨厚度 32.91 23.71 23.3 25.52 18.55 33.52 26.79 39 20.61
平均移除率 0.451685 不平坦度 24.57322
修正後之移除率 1.034144
表 5.37
模型 DF=6 psi，SP=40 rpm，FR=150ml/min第 07 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 4996.16 4961.02 4937.57 4992.11 4993.47 5000.93 4991.48 4976.99 4926.56 研磨後 4985.37 4959.48 4940.63 4987.39 4985.71 4993.18 4988.59 4969.4 4927.32 研磨厚度 10.79 1.54 -3.06 4.72 7.76 7.75 2.89 7.59 -0.76
平均移除率 0.07263 不平坦度 22.25611
修正後之移除率 0.888072
表 5.38
模型 DF=2 psi，SP=20 rpm，FR=200ml/min第 08 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 5002.49 4978.33 4944.24 4996.58 4987.16 5009.94 5000.86 4977.98 4930.88 研磨後 4980.32 4966.46 4936.46 4980.54 4978.58 4994.26 4991.82 4963.28 4922.58 研磨厚度 22.17 11.87 7.78 16.04 8.58 15.68 9.04 14.7 8.3
平均移除率 0.211407 不平坦度 22.99701
修正後之移除率 1.143342
表 5.39
模型 DF=4 psi，SP=20 rpm，FR=200ml/min第 09 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5016.99 4993.28 4963.45 5002.86 4998.17 5016.4 5012.32 4993.01 4937.36 研磨後 4996.26 4982.01 4958.47 4995.26 4992.93 5002.15 5002.56 4979.61 4926.06 研磨厚度 20.73 11.27 4.98 7.6 5.24 14.25 9.76 13.4 11.3
平均移除率 0.182463 不平坦度 23.60609
修正後之移除率 1.230889
表 5.40
模型 DF=6 psi，SP=20 rpm，FR=200ml/min第 10 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5024.89 4996.47 4973.03 5017 5010.1 5021.27 5019.68 4998.92 4946.77 研磨後 5009.97 4997.49 4977.03 5018.82 5000.18 5023.05 5014.37 4990.96 4934.77 研磨厚度 14.92 -1.02 -4 -1.82 9.92 -1.78 5.31 7.96 12
平均移除率 0.076833 不平坦度 25.68693
修正後之移除率 1.241751
表 5.41
模型 DF=2 psi，SP=30 rpm，FR=200ml/min第 11 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5030.05 5002.94 4982.56 5026.1 5006.52 5037.69 5021.86 5009.11 4959.79 研磨後 5007.51 4988.49 4972.14 5012.49 4992.17 5023.41 5013.34 4988.31 4945.97 研磨厚度 22.54 14.45 10.42 13.61 14.35 14.28 8.52 20.8 13.82
平均移除率 0.245907 不平坦度 22.64137
修正後之移除率 1.527317
表 5.42
模型 DF=4 psi，SP=30 rpm，FR=200ml/min第 12 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 5041.68 5024.52 4996.65 5038.58 5024.54 5047.88 5033.69 5024.44 4975.28 研磨後 5014.03 5012.08 4980.66 5020.62 5013.03 5030.35 5012.87 5005.18 4959.11 研磨厚度 27.65 12.44 15.99 17.96 11.51 17.53 20.82 19.26 16.17
平均移除率 0.295056 不平坦度 20.66155
修正後之移除率 1.692957
表 5.43
模型 DF=6 psi，SP=30 rpm，FR=200ml/min第 13 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5052.12 5036.45 5012.36 5041.97 5030.41 5054.57 5046.27 5032.47 4982.27 研磨後 5045.62 5038.98 5001.5 5041.49 5017.56 5046.63 5033.03 5026.44 4973.97 研磨厚度 6.5 -2.53 10.86 0.48 12.85 7.94 13.24 6.03 8.3
平均移除率 0.117907 不平坦度 22.70246
修正後之移除率 1.6323
表 5.44
模型 DF=2 psi，SP=40 rpm，FR=200ml/min第 14 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5064.32 5049.64 5025.51 5060.94 5050.41 5065.79 5066.74 5045.31 4998.22 研磨後 5034.66 5033.86 5010.23 5040.02 5038.34 5037.2 5043.18 5025.82 4974.15 研磨厚度 29.66 15.78 15.28 20.92 12.07 28.59 23.56 19.49 24.07
平均移除率 0.350778 不平坦度 20.66135
修正後之移除率 1.981663
表 5.45
模型 DF=4 psi，SP=40 rpm，FR=200ml/min第 15 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5085.1 5063.88 5043.79 5076.62 5058 5079.68 5075.69 5058.95 5000.42 研磨後 5069.4 5033.86 5010.23 5040.02 5038.34 5037.2 5043.18 5025.82 4974.15 研磨厚度 15.7 15.57 12.26 15.66 16.59 15.66 14.44 17.22 10.81
平均移除率 0.247981 不平坦度 22.99464
修正後之移除率 1.995358
表 5.46
模型 DF=6 psi，SP=40 rpm，FR=200ml/min第 16 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 5101.33 5084.96 5068.35 5095.35 5075.02 5108.31 5093.05 5076.91 5016.39 研磨後 5094.38 5087.12 5071.09 5091.02 5072.03 5103.41 5086.66 5075.45 5016.91 研磨厚度 6.95 -2.16 -2.74 4.33 2.99 4.9 6.39 1.46 -0.52
平均移除率 0.04 不平坦度 23.7155
修正後之移除率 1.903868
表 5.47
模型 DF=2 psi，SP=20 rpm，FR=250ml/min第 17 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5117.02 5100.05 5085.5 5105.77 5087.46 5120.7 5109.32 5096.56 5032.76 研磨後 5102.76 5089.98 5076.38 5093.76 5082.26 5109.99 5102.44 5078.54 5023.55 研磨厚度 14.26 10.07 9.12 12.01 5.2 10.71 6.88 18.02 9.21
平均移除率 0.176815 不平坦度 24.13409
修正後之移除率 2.157175
表 5.48
模型 DF=4 psi，SP=20 rpm，FR=250ml/min第 18 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5147.11 5129.22 5116.59 5133.34 5113.53 5147.83 5139.62 5120.33 5053.79 研磨後 5127.59 5122.71 5103.06 5166.37 5102.71 5134.86 5130.99 5105.14 5046.21 研磨厚度 19.52 6.51 13.53 -33.03 10.82 12.97 8.63 15.19 7.58
平均移除率 0.114296 不平坦度 30.96132
修正後之移除率 2.211148
表 5.49
模型 DF=6 psi，SP=20 rpm，FR=250ml/min第 19 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5160.29 5147.64 5140.43 5154.55 5135.31 5175.06 5160.27 5136.78 5070.11 研磨後 5154.82 5143.99 5133.58 5143.62 5120.25 5157.08 5146.44 5131.23 5059.65 研磨厚度 5.47 3.65 6.85 10.93 15.06 17.98 13.83 5.55 10.46
平均移除率 0.166259 不平坦度 27.91245
修正後之移除率 2.379603
表 5.50
模型 DF=2 psi，SP=30 rpm，FR=250ml/min第 20 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 5187.72 5168.61 5160.35 5179.35 5158.53 5194.27 5186.72 5167.93 5106.68 研磨後 5160.13 5151.73 5145.73 5156.06 5141.19 5164.94 5168.48 5141.27 5090.81 研磨厚度 27.59 16.88 14.62 23.29 17.34 29.33 18.24 26.66 15.87
平均移除率 0.351519 不平坦度 21.81951
修正後之移除率 2.681354
表 5.51
模型 DF=4 psi，SP=30 rpm，FR=250ml/min第 21 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5203.08 5194.18 5184.48 5192.96 5164.65 5211.94 5206.81 5177.32 5125.34 研磨後 5172.03 5175.55 5160.94 5168.16 5144.03 5185.46 5181.27 5148.67 5105.32 研磨厚度 31.05 18.63 23.54 24.8 20.62 26.48 25.54 28.65 20.02
平均移除率 0.406167 不平坦度 23.3992
修正後之移除率 2.852494
表 5.52
模型 DF=6 psi，SP=30 rpm，FR=250ml/min第 22 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5210.43 5199.47 5206.01 5208.83 5188.42 5229.61 5228.1 5205.07 5165.91 研磨後 5209.92 5198.64 5194.82 5188.86 5161.18 5215.61 5213.38 5192.87 5145.1 研磨厚度 0.51 0.83 11.19 19.97 27.24 14 14.72 12.2 20.81
平均移除率 0.224944 不平坦度 22.46319
修正後之移除率 2.787763
表 5.53
模型 DF=2 psi，SP=40 rpm，FR=250ml/min第 23 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5237.14 5226.95 5236.89 5233.56 5227.07 5243.46 5256.1 5232.45 5201.01 研磨後 5199.49 5200.06 5210.88 5198.97 5195.5 5203.44 5230.92 5193.02 5172.57 研磨厚度 37.65 26.89 26.01 34.59 31.57 40.02 25.18 39.43 28.44
平均移除率 0.53663 不平坦度 14.55389
修正後之移除率 3.21594
表 5.54
模型 DF=4 psi，SP=40 rpm，FR=250ml/min第 24 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9 研磨前 5199.49 5200.06 5210.88 5198.97 5195.5 5203.44 5230.92 5193.02 5172.57 研磨後 5163.07 5159.8 5171.04 5166.39 5171.64 5173.74 5199.28 5154.81 5145.12 研磨厚度 36.42 40.26 39.84 32.58 23.86 29.7 31.64 38.21 27.45
平均移除率 0.555481 不平坦度 14.21997
修正後之移除率 3.351284
表 5.55
模型 DF=6 psi，SP=40 rpm，FR=250ml/min第 25 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5209.92 5198.64 5194.82 5188.86 5161.18 5215.61 5213.38 5192.87 5145.1 研磨後 5206.93 5193.37 5171.77 5185.66 5148.81 5210.45 5197.45 5190.79 5136.92 研磨厚度 2.99 5.27 23.05 3.2 12.37 5.16 15.93 2.08 8.18
平均移除率 0.14487 不平坦度 23.86552
修正後之移除率 0.377854
表 5.56
模型 DF=2 psi，SP=30 rpm，FR=150ml/min第 26 片 1 2 3 4 5 6 7 8 9
研磨前 5172.03 5175.55 5160.94 5168.16 5144.03 5185.46 5181.27 5148.67 5105.32 研磨後 5146.41 5148.1 5143.82 5145.79 5124.62 5162.16 5156.63 5125.49 5086.44 研磨厚度 25.62 27.45 17.12 22.37 19.41 23.3 24.64 23.18 18.88
平均移除率 0.374019 不平坦度 21.58013
修正後之移除率 0.607002