本次研究之對象(簡稱 A 公司)，目前有二條生產線 3.5 世代廠及 4.0 世代廠，二世 代廠座落於工業區內，主要生產 TFT LCD 關鍵零組件之彩色濾光片為主，因光電產業屬 於二兆雙星之高科技產業，A 公司又屬於上市公司，對於勞工安全衛生及環境保護工作 相當重視，並持續推動勞工安全衛生及環境保護相關工作，從建廠至今已取得 IS0 9001 品質管理系統、ISO 14001 環境管理系統及 OHSAS 18001 職業安全衛生管理系統之認證，
並本著符合法令、持續改善的政策，落實勞工安全衛生及環境保護。
3.1.1 暴露調查
A 公司在Color Filter 的製程中主要為蝕刻區、薄膜區與黃光區，製程分類與半導體 類似，兩者最大的不同是Color Filter 的製程面板相當大，以五代廠為例，其玻璃基板的 大小可達1,100mm×1,300mm，然而目前最大的半導體晶圓為 12 吋(300mm)，在製程的 控制上因為半導體對於生產的條件較嚴苛，所有的產品都是密閉式作業，製程所使用之 原物料及產生的氣體都可以得到控制防止逸散，但是面板的生產不需要完全密閉，在生 產線使用UV 清洗機乾式清洗時，易引起臭氧的逸散，特別是 4.0 世代廠產生的臭氧味 道最明顯，所以本實驗係以4.0 世代廠的 UV 清洗機列為主要調查的目標。本實驗調查之 區域為員工反應臭氧味道較高區，其製程生產順序為氧化銦錫濺鍍薄膜製程→間隔層製 程→SI 缺陷檢查，其機台平面流程如圖 10 所示。
圖 10 臭氧暴露區機台平面流程圖
基於以上考量，本研究選擇偵測儀器為MDA Scientific ChemKey TLD-1 (Zellweger Analytics, England)毒性氣體偵測器。MDA Scientific ChemKey TLD-1 為一種可攜式多功 能多種氣體偵測儀器（如圖11），可測定超過50種之毒性氣體，可依偵測氣體的種類搭 配不同的鑰匙(chemkey)（如圖12）及化學試紙帶(Chemcassette)（如圖13）。臭氧之 ChemKey其Alarm level設定為100ppb，其反應時間為60秒，即每分鐘顯示一筆數據，其 偵測器儀器規格如附錄一。臭氧用化學試紙帶(Chemcassette)之偵測範圍及下限如附錄二 [38]。
圖11 MDA Scientific ChemKey TLD-1毒性氣體偵測器[38]
圖12 ChemKey[38]
圖13 化學試紙帶(Chemcassette) [38]
化學試紙帶技術是用經過化學浸泡的紙帶以探測有毒氣體。這種試紙帶非常像石蕊
圖14 TLD-1 偵測氣體流路圖[38]
3.2.2 OSHA 公告之採樣及分析設備
原則。區域監測則是對臭氧產生之設備(UV清洗機)之各開口位置進行測定，以暸解逸散 來源。量測方式為將TLD-1置放手推車上，將取樣口固定於人體呼吸區高度相當之位置 (約150cm) (圖15)，於作業區之不同定點量測臭氧濃度，再將各位置所量測之數據於作 業區平面圖上標定出來，以判別作業區內臭氧之濃度分佈及其可能之逸散來源(圖16)。
作業區不同監測定點之規劃係依現場作業人員之作業位置進行設定[42]。
為了解作業人員在作業環境中臭氧暴露最高濃度，本實驗監測時段係選擇
ITO-line、Spacer-line及SI-line皆正常生產時段，且為避免監測到機台剛啟動時因臭氧半 衰期及無塵室迴風稀釋之數值，監測開始時間係以正常生產1小時後執行。
測量步驟如下：
1. 監測點應避開通風口，離牆壁距離應大於0.5m[43]。
2. 架設TLD-1，取樣口應架設在員工呼吸帶附近高度(約150cm)(圖15)。
3. 開機並使儀器暖機1~2分鐘。
4. 開始記錄，每分鐘記錄一次
圖15 TLD-1監測組合
圖16 監測定點位置圖 UV 清洗機 偵測點
A16
A8
SP-line
SI-line 外觀檢查區
ITO-line
A10 A17
A11
A9 A15
A14 A13 A12
A1 A2A3
A5 A4 A6 A7
濺鍍機
3.3.2 OSHA ID-214 採樣策略
為瞭解TLD-1與OSHA偵測數值之差異，本實驗選擇TLD-1監測濃度最高之監測點，
進行OSHA ID-214連續6小時定點採樣。採樣日期則依該公司生管排定之生產計劃，選 擇4.0G ITO-line、Spacer-line及SI-line皆有作業之日期。量測方式係將三腳架放置於A13 監測點，將取樣口固定於人體呼吸區高度相當之位置(約150cm) (圖17)。
為瞭解作業勞工實際暴露8小時之濃度，本實驗另請SP-line作業勞工攜帶採樣設備 進行個人採樣。
3.3.3 臭氧逸散來源調查
如2.5 所述 UV 清洗機產生之臭氧濃度約 100~130ppm，故針對該區域及 UV 清洗機 各開口疑似逸散點進行測定，其測點位置如圖18。B1 監測點係針對 UV 清洗機玻璃基 板進片口；B2 監測點為調查 UV 清洗機上蓋接縫處；B3 監測點為調查 UV 清洗機玻璃 基板出片口；B4 監測點則針對 UV 清洗前輸送機上方開口；B5 監測點則為 UV 清洗後 輸送機上方開口。
圖17 OSHA ID-214 採樣組合
圖18 UV清洗機側面圖各開口測定位置 3.3.4 UV 清洗機反應腔抽氣性能查驗
為瞭解UV清洗機反應腔的設計與其排氣設備是否能夠發揮預期的功能，本實驗採 用的量測方式為煙霧可視化技術。
由於空氣中的有害物或污染物均藉由空氣的流動而傳遞，因此只要掌握空氣的流動 特性，就能大致掌握有害物或污染物的傳遞特性。所使用的設備材料包括：氣流可視化 純水煙霧機（如圖19）與可供採證的相機或攝影機。執行步驟為：
1. 開啟煙霧產生器。
2. 將煙霧產生器一端放置於進片口或出片口並釋放煙霧（如圖20），同時於另一側 觀察有無煙霧逸出。若煙霧均順利進入UV清洗機反應腔內，則可初步判定UV清 洗機反應腔達到有效阻絕臭氧逸散的功能。
B5
UV 清洗機
B1 B2 B3
B4
玻璃基板進片方向 玻璃基板出片方向
3. 於清洗彩色濾光片時進行測試，比較無彩色濾光片清洗時其煙流是否相同。
4. 在進行上述測試期間，將同時配合相機或攝影機採證，最好採用能以數位方式存 檔的數位相機或數位攝影機進行攝影。
圖19 氣流可視化純水煙霧機[41]
圖 20 進片口煙霧釋放
3.3.5 臭氧逸散控制及測試
我們嘗試利用硬體設備的改善來減少臭氧逸散，以達到降低臭氧濃度之效果。首先 調整UV 清洗機反應腔抽氣性能，再來根據煙霧可視化的結果，使用壓克力密封氣流出 口，使大部分氣流可直接由UV 清洗機反應腔抽氣排出，並裝設具孔洞之高架地板，使 部分氣流直接往下經由高架地板進入回風系統稀釋，後續再進行作業環境各定點偵測。
四、結果與討論
範圍只針對具有氧化銦錫濺鍍薄膜製程(ITO-line)、間隔層製程(SP-line)及 SI 缺陷檢查 (SI-line)等製程之無塵室，此三個製程皆位於無塵室之同一樓層，彼此間並無隔間相隔。 範圍為105~165 ppb，該作業環境臭氧暴露濃度若以職業暴露或是公共衛生的角度，連 最低濃度都已超過我國行政院勞工安全委員會所公佈的八小時日時量平均濃度不得超 1.0 ppm 其雌鼠肺部組織有明顯之肺泡/支氣管腺癌產生[32]；根據高[33]的實驗在針對臭 氧潛在致癌性研究中也發現到，80 ppb 臭氧暴露 1 小時下會顯著增加肺部上皮細胞 DNA 傷害；另根據吳[1]的實驗，在濃度為 35.8ppb 的範圍時，長期暴露於此濃度臭氧可能導 致呼吸系統受損。本實驗之作業環境偵測17 個測點皆已超過 80 ppb 的濃度，顯示臭氧 對員工之身體健康可能產生危害，需要加以控制。表5 無塵室各偵測點臭氧暴露濃度值，單位 ppb
0
圖22 ITO-line之UV清洗機未使用幕簾
圖23 SP-line之UV清洗機有使用幕簾
幕簾
UV 清洗機 偵測點 SP-line
SI-line 外觀檢查區
ITO-line 濺鍍機
A13 A14
圖25 12/29 臭氧偵測濃度分佈圖 UV 清洗機 偵測點
SP-line
SI-line 外觀檢查區
ITO-line 濺鍍機
A13 A14
4.2 UV 清洗機臭氧逸散源調查結果
根據圖9 可知 UV 清洗機其清洗原理，係利用一種能產生兩種波長的紫外燈，這種 UV 燈能夠產生波長為 254nm、185nm 的紫外光，空氣中的氧氣在吸收了波長為 185nm 的紫外光子後產生臭氧O3(通常 O3濃度是控制在100-130ppm 範圍內)和原子氧 O [35]。
所以可以推測其臭氧來源係因UV 清洗機所產生。為調查其 UV 清洗機臭氧逸散來源，
本實驗以ITO-line UV 清洗機為調查對象，將其 UV 燈管 13 支全部打開，偵測點位置如 圖14，偵測數據如表 6，由表 6 可知玻璃基板出片口(B3)及出片口上方(B5)濃度皆大於 300ppb，已超過 TLD-1 儀器偵測範圍(0~300ppb)，所以 UV 清洗機臭氧逸散主要來源係 從排片口逸散而出。 13:31-13:35 B3 238 >300 >300 3 13:36-13:40 B4 115 124 120 3 95/12/27
13:41-13:45 B5 284 >300 >300 3
圖26 UV 清洗輸送機未輸送玻璃基板時煙霧皆遵循無塵室層流狀態
圖 27 UV 清洗機未出片時氣流正常導入 UV 清洗機反應腔內
圖 28 UV 清洗機出片時氣流往出片方向逸散狀態
圖 29 UV 清洗機出片時氣流往出片方向並向上逸散狀態
圖30 ITO-line UV 清洗輸送機上方氣流走向
圖31 UV 清洗機氣流走向圖
高架地板
主要逸散源
氣流走向
輸送機
UV 清洗機
垂直輸送帶 平台(滾輪)
垂直輸送機 輸送機
4.4 OSHA ID-214 採樣分析結果
為瞭解TLD-1 與 OSHA ID-214 檢測數值之差異及作業環境勞工實際暴露 8hr 之濃 度，針對TLD-1 偵測數值最高之監測點 A13 進行採樣，採樣分析結果由附錄五採樣編 號0612-53 檢測數值可知其 8hr 平均濃度為 0.13ppm，明顯已超過勞工作業環境空氣中 有害物容許濃度標準八小時日時量平均容許濃度0.1ppm，亦超過環保署空氣品質標準八 小時平均值 0.06ppm。採樣編號 0612-54 由 SP-line 作業員配帶個人採樣設備進行個人 採樣，其8hr 平均濃度為 0.17ppm，已超過監測點 A13 採樣之濃度，推測原因為作業員 全委員會所公佈的八小時日時量平均濃度不得超過100ppb 之標準。改善後第一次(3/27) 偵測低於60ppb 的地點共有 15 點，有 88%低於環保署空氣品質標準；改善後第二次(3/28)
表7 改善後無塵室各偵測點臭氧暴露濃度值，單位 ppb
A13、A14 及 A15 數值異常偏高之原因，推論係因 ITO-line UV 清洗機無使用壓克 力密封，導致 >300ppb 之臭氧經由出片口及出片口上方直接逸散。A12 點數值異常偏高 之原因，推論係因SP-line 垂直升降輸送帶(elevator conveyor)較 ITO 及 SI-line 之 UV 清 洗機近，而下降壓縮氣流過大導致>300ppb 之臭氧直接由出片口輸送機門框接縫處逸
UV 清洗機 偵測點 SP-line
SI-line 外觀檢查區
ITO-line 濺鍍機
A12
SP-line
SI-line 外觀檢查區
ITO-line 濺鍍機
UV 清洗機 偵測點
A12
五、結論與建議
60ppb及每小時平均值120ppb之標準，仍須進一步探討，建議環保署應調查該產業排放
60ppb及每小時平均值120ppb之標準，仍須進一步探討，建議環保署應調查該產業排放