第五章 結論與建議
5.2 未來研究方向
在後續研究方面,本研究目前只討論生產單一產品族,生產途程從短到長。然而 目前實際晶圓廠,不少是在多產品的生產情境下進行生產,因此當同時生產多種產品 時,像是同時生產1P3M 與 1P8M 兩種加工步驟差異甚大,不同製程的多產品時,或 是在不同產品比例之下,本研究的派工法是否仍然有效,或是需發展出新的派工法,
是日後可以再深入探討的議題。
20
參考文獻
[1] Blackstone Jr, J. H., Phillips, D. T., and Hogg, G. L., “A state-of-the-art survey of dispatching rules for manufacturing job shop operations,” International Journal of Production Research, 1982, Vol. 20, No. 1, pp. 27-45.
[2] Dabbas, R. M., and Fowler, J. W., “A new scheduling approach using combined dispatching criteria in wafer Fabs,” IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 2003, Vol. 16, No. 3, pp. 501-510.
[3] Glassey, C. R., and Resende, M. G. C., “Closed-loop jop shop release control for VLSI circuit manufacturing,” IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 1988, Vol.
1, No. 1, pp. 36-46.
[4] Kim, Y. D., Kim, J. U., Lim, S. K., and Jun, H. B., “Due-date based scheduling and control policies in a multiproduct semiconductor wafer fabrication facility,” IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 1998, Vol. 11, No. 1, pp. 155-164.
[5] Kim, Y. D., Kim, J. G., Choi, B., and Kim, H. U., “Production scheduling in a semiconductor wafer fabrication facility producing multiple product types with distinct due dates,” IEEE Transactions on Robotics and Automation, 2001, Vol. 17, No. 5, pp.
589-598.
[6] Lee, Y. H., Park, J., and Kim, S., “Experimental study on input and bottleneck scheduling for a semiconductor fabrication line,” IIE Transactions, 2002, Vol. 34, No. 2, pp. 179-190.
[7] Lu, S. C. H., Ramaswamy, D., and Kumar, P. R., “Efficient scheduling policies to reduce mean and variance of cycle-time in semiconductor manufacturing plants,” IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 1994, Vol. 7, No. 3, pp. 374-388.
[8] Neuts, M. F., “A general class of bulk queues with Poisson input,” Ann. Math. Stat., 1967, Vol. 38, pp. 759–770.
21
[9] PanWalkar, S. S., and Iskander, W., “A survey of scheduling rules,” Operations Research, 1977, Vol. 25, No. 1, pp. 45-61.
[10] Spearman, M. L., Woodruff, D. L., and Hopp, W. J., “CONWIP: a pull alternative to kanban,” International Journal of Production Research, 1990, Vol. 28, No. 5, pp.
879-894.
[11] Uzsoy, R., Lee, C. Y., and Martin-Vega, L. A., “A review of production planning and scheduling models in the semiconductor industry. part І: system characteristics, performance evaluation and production planning,” IIE Transactions on Scheduling and Logistics, 1992, Vol. 24, No. 4, pp. 47-60.
[12] Wein, L. M., “Scheduling semiconductor wafer fabrication,” IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 1988, Vol. 1, No. 3, pp. 115-130.
[13] Wu, M. C., Huang, Y. L., Chang, Y. C., and Yang, K. F., “Dispatching for semiconductor fabs with machine-dedication features,” International Journal of Advanced Manufacturing Technology (accepted for publication, 2004).
[14] http:// www.tecnomatix.com
22
附錄一
達交率統計檢定
23
附錄一 達交率 統計檢定
ANOVA 表---1P3M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 44.74575 44.74575 9766.700 0.00 派工法則 4 1.03989 0.25997 56.744 0.00
Error 70 0.32070 0.00458
Total 74 1.36059
Duncan 檢定---1P3M
派工法則 達交率 1 2 3
FIFO 0.663871 ****
CR 0.669879 ****
Lu 0.703772 ****
LBSA 0.872193 ****
Proposed 0.952312 ****
Least Square Means---1P3M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
24
ANOVA 表---1P4M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 21.86053 21.86053 4793.874 0.00 派工法則 4 5.96880 1.49220 327.230 0.00
Error 70 0.31921 0.00456
Total 74 6.28801
Duncan 檢定---1P4M
派工法則 達交率 1 2 3 4
Lu 0.215185 ****
CR 0.248198 ****
FIFO 0.520600 ****
LBSA 0.807702 ****
Proposed 0.907731 ****
Least Square Means---1P4M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
25
ANOVA 表---1P5M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 52.09904 52.09904 10473.61 0.00 派工法則 4 0.55699 0.13925 27.99 0.00
Error 70 0.34820 0.00497
Total 74 0.90519
Duncan 檢定---1P5M
派工法則 達交率 1 2 3
FIFO 0.753432 ****
CR 0.755455 ****
Lu 0.794225 ****
LBSA 0.889388 ****
Proposed 0.974796 ****
Least Square Means---1P5M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
26
ANOVA 表---1P6M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 37.27970 37.27970 8957.611 0.00 派工法則 4 1.39247 0.34812 83.646 0.00
Error 70 0.29133 0.00416
Total 74 1.68380
Duncan 檢定---1P6M
派工法則 達交率 1 2 3 4
CR 0.555073 ****
Lu 0.575901 ****
FIFO 0.676488 ****
LBSA 0.806189 ****
Proposed 0.911482 ****
Least Square Means---1P6M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
27
ANOVA 表---1P7M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 39.54750 39.54750 33969.84 0.00 派工法則 4 3.12813 0.78203 671.74 0.00
Error 70 0.08149 0.00116
Total 74 3.20963
Duncan 檢定---1P7M
派工法則 達交率 1 2 3 4
FIFO 0.461991 ****
Lu 0.547440 ****
LBSA 0.707968 ****
Proposed 0.946663 ****
CR 0.966708 ****
Least Square Means---1P7M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
28
ANOVA 表---1P8M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 35.74469 35.74469 64620.02 0.00 派工法則 4 3.46989 0.86747 1568.23 0.00
Error 70 0.03872 0.00055
Total 74 3.50861
Duncan 檢定---1P8M
派工法則 達交率 1 2 3 4
FIFO 0.364287 ****
LBSA 0.545605 ****
Lu 0.706198 ****
Proposed 0.905784 ****
CR 0.929923 ****
Least Square Means---1P8M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
29
附錄二
平均週期時間統計檢定
30
附錄二 平均週期時間 統計檢定
ANOVA 表---1P3M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 16387512 16387512 197585.0 0.000000 派工法則 4 2839 710 8.6 0.000011
Error 70 5806 83
Total 74 8644
Duncan 檢定---1P3M
派工法則 平均週期時間(hr) 1 2
Proposed 459.0667 ****
LBSA 461.6000 ****
Lu 469.8667 ****
FIFO 471.1333 ****
CR 475.5333 ****
Least Square Means---1P3M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
31
ANOVA 表---1P4M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 18995800 18995800 132733.5 0.000000 派工法則 4 3413 853 6.0 0.000346
Error 70 10018 143
Total 74 13431
Duncan 檢定---1P4M
派工法則 平均週期時間(hr) 1 2 3
LBSA 493.4667 ****
Proposed 498.1333 **** ****
FIFO 503.7333 **** ****
CR 510.1333 ****
Lu 510.8667 ****
Least Square Means---1P4M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
32
ANOVA 表---1P5M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 23475221 23475221 1270304 0.00 派工法則 4 3477 869 47 0.00
Error 70 1294 18
Total 74 4771
Duncan 檢定---1P5M
派工法則 平均週期時間(hr) 1 2 3
Proposed 551.9333 ****
LBSA 552.3333 ****
FIFO 558.6667 ****
Lu 565.8000 ****
CR 568.6000 ****
Least Square Means---1P5M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
33
ANOVA 表---1P6M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 24238850 24238850 4015587 0.00 派工法則 4 2010 503 83 0.00
Error 70 423 6
Total 74 2433
Duncan 檢定---1P6M
派工法則 平均週期時間(hr) 1 2 3 4
Proposed 561.9333 ****
LBSA 564.0667 ****
FIFO 567.6000 ****
Lu 574.3333 ****
CR 574.5333 ****
Least Square Means---1P6M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
34
ANOVA 表---1P7M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 41832749 41832749 1079435 0.00 派工法則 4 40055 10014 258 0.00
Error 70 2713 39
Total 74 42768
Duncan 檢定---1P7M
派工法則 平均週期時間(hr) 1 2 3 4 5
Proposed 714.6000 ****
LBSA 731.7333 ****
CR 744.7333 ****
Lu 762.2000 ****
FIFO 780.9333 ****
Least Square Means---1P7M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
35
ANOVA 表---1P8M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 59994563 59994563 1456179 0.00 派工法則 4 125226 31306 760 0.00
Error 70 2884 41
Total 74 128110
Duncan 檢定---1P8M
派工法則 平均週期時間(hr) 1 2 3 4 5
Proposed 854.2000 ****
Lu 863.2667 ****
CR 887.3333 ****
LBSA 897.2000 ****
FIFO 969.9333 ****
Least Square Means---1P8M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
36
附錄三
週期時間變異統計檢定
37
附錄三 週期時間變異 統計檢定
ANOVA 表---1P3M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 13736.33 13736.33 3323.306 0.00 派工法則 4 2719.33 679.83 164.476 0.00
Error 70 289.33 4.13
Total 74 3008.67
Duncan 檢定---1P3M
派工法則 週期時間變異(hr) 1 2 3 4 5
CR 7.20000 ****
Lu 9.26667 ****
Proposed 12.06667 ****
LBSA 14.66667 ****
FIFO 24.46667 ****
Least Square Means---1P3M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
38
ANOVA 表---1P4M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 8812.920 8812.920 10281.74 0.00 派工法則 4 1160.080 290.020 338.36 0.00
Error 70 60.000 0.857
Total 74 1220.080
Duncan 檢定---1P4M
派工法則 週期時間變異(hr) 1 2 3 4
Lu 7.73333 ****
CR 7.73333 ****
Proposed 9.00000 ****
LBSA 11.53333 ****
FIFO 18.20000 ****
Least Square Means---1P4M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
39
ANOVA 表---1P5M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 18034.25 18034.25 3819.275 0.00 派工法則 4 2746.21 686.55 145.398 0.00
Error 70 330.53 4.72
Total 74 3076.75
Duncan 檢定---1P5M
派工法則 週期時間變異(hr) 1 2 3 4 5
CR 8.73333 ****
Lu 11.40000 ****
Proposed 13.33333 ****
LBSA 18.13333 ****
FIFO 25.93333 ****
Least Square Means---1P5M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
40
ANOVA 表---1P6M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 10513.92 10513.92 5168.360 0.00 派工法則 4 1615.68 403.92 198.556 0.00
Error 70 142.40 2.03
Total 74 1758.08
Duncan 檢定---1P6M
派工法則 週期時間變異(hr) 1 2 3 4 5
CR 7.06667 ****
Lu 8.26667 ****
Proposed 10.26667 ****
LBSA 13.60000 ****
FIFO 20.00000 ****
Least Square Means---1P6M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
41
ANOVA 表---1P7M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 159344.7 159344.7 19628.33 0.00 派工法則 4 31732.1 7933.0 977.20 0.00
Error 70 568.3 8.1
Total 74 32300.3
Duncan 檢定---1P7M
派工法則 週期時間變異(hr) 1 2 3 4
CR 13.26667 ****
Lu 41.46667 ****
Proposed 42.93333 ****
LBSA 56.86667 ****
FIFO 75.93333 ****
Least Square Means---1P7M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
42
ANOVA 表---1P8M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 407008.3 407008.3 63293.65 0.00 派工法則 4 94410.5 23602.6 3670.43 0.00
Error 70 450.1 6.4
Total 74 94860.7
Duncan 檢定---1P8M
派工法則 週期時間變異(hr) 1 2 3 4 5
CR 18.0000 ****
Proposed 60.8667 ****
Lu 69.4667 ****
LBSA 96.3333 ****
FIFO 123.6667 ****
Least Square Means---1P8M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
43
附錄四
平均延遲時間統計檢定
44
附錄四 平均延遲時間 統計檢定
ANOVA 表---1P3M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 2901.630 2901.630 638.6188 0.00 派工法則 4 975.258 243.815 53.6611 0.00
Error 70 318.052 4.544
Total 74 1293.311
Duncan 檢定---1P3M
派工法則 平均延遲時間(hr) 1 2 3 4
Proposed 1.09667 ****
LBSA 3.42333 ****
Lu 7.24556 ****
CR 7.91667 ****
FIFO 11.41778 ****
Least Square Means---1P3M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
45
ANOVA 表---1P4M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 10553.19 10553.19 1970.292 0.00 派工法則 4 3783.87 945.97 176.613 0.00
Error 70 374.93 5.36
Total 74 4158.80
Duncan 檢定---1P4M
派工法則 平均延遲時間(hr) 1 2 3 4
Proposed 2.20556 ****
LBSA 4.74778 ****
FIFO 14.34444 ****
CR 18.72933 ****
Lu 19.28333 ****
Least Square Means---1P4M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
46
ANOVA 表---1P5M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 1558.456 1558.456 290.0210 0.00 派工法則 4 477.201 119.300 22.2012 0.00
Error 70 376.152 5.374
Total 74 853.352
Duncan 檢定---1P5M
派工法則 平均延遲時間(hr) 1 2 3 4
Proposed 0.602222 ****
LBSA 3.122222 ****
Lu 5.178889 ****
CR 5.865556 ****
FIFO 8.023333 ****
Least Square Means---1P5M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
47
ANOVA 表---1P6M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 4224.752 4224.752 1407.456 0.00 派工法則 4 852.868 213.217 71.032 0.00
Error 70 210.119 3.002
Total 74 1062.987
Duncan 檢定---1P6M
派工法則 平均延遲時間(hr) 1 2 3
Proposed 2.11778 ****
LBSA 4.99778 ****
FIFO 9.46333 ****
Lu 10.26667 ****
CR 10.68111 ****
Least Square Means---1P6M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
48
ANOVA 表---1P7M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 19772.74 19772.74 854.4313 0.00 派工法則 4 19012.52 4753.13 205.3950 0.00
Error 70 1619.90 23.14
Total 74 20632.42
Duncan 檢定---1P7M
派工法則 平均延遲時間(hr) 1 2 3 4
CR 0.80667 ****
Proposed 1.30556 ****
LBSA 14.00333 ****
Lu 20.91000 ****
FIFO 44.15889 ****
Least Square Means---1P7M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
49
ANOVA 表---1P8M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 69751.47 69751.47 4701.087 0.00 派工法則 4 90436.26 22609.06 1523.799 0.00
Error 70 1038.61 14.84
Total 74 91474.87
Duncan 檢定---1P8M
派工法則 平均延遲時間(hr) 1 2 3 4
CR 1.70889 ****
Proposed 2.23556 ****
Lu 14.16778 ****
LBSA 40.32333 ****
FIFO 94.04556 ****
Least Square Means---1P8M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
50
附錄五
延遲時間變異統計檢定
51
附錄五 延遲時間變異 統計檢定
ANOVA 表---1P3M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 8650.712 8650.712 1525.202 0.00 派工法則 4 1386.645 346.661 61.120 0.00
Error 70 397.029 5.672
Total 74 1783.674
Duncan 檢定---1P3M
派工法則 延遲時間變異(hr) 1 2 3 4
Proposed 4.79222 ****
LBSA 8.62111 ****
Lu 11.07111 ****
CR 11.24889 ****
FIFO 17.96556 ****
Least Square Means---1P3M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
52
ANOVA 表---1P4M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 8931.545 8931.545 5894.721 0.00 派工法則 4 767.840 191.960 126.692 0.00
Error 70 106.062 1.515
Total 74 873.903
Duncan 檢定---1P4M
派工法則 延遲時間變異(hr) 1 2 3 4
Proposed 6.75222 ****
LBSA 9.75333 ****
Lu 10.41533 **** ****
CR 11.04933 ****
FIFO 16.59333 ****
Least Square Means---1P4M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
53
ANOVA 表---1P5M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 6881.633 6881.633 802.3993 0.00 派工法則 4 1196.572 299.143 34.8801 0.00
Error 70 600.342 8.576
Total 74 1796.914
Duncan 檢定---1P5M
派工法則 延遲時間變異(hr) 1 2 3
Proposed 3.25778 ****
LBSA 8.87667 ****
Lu 9.88889 ****
CR 10.04667 ****
FIFO 15.82444 ****
Least Square Means---1P5M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
54
ANOVA 表---1P6M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 9268.891 9268.891 5324.003 0.00 派工法則 4 558.513 139.628 80.202 0.00
Error 70 121.867 1.741
Total 74 680.380
Duncan 檢定---1P6M
派工法則 延遲時間變異(hr) 1 2 3 4
Proposed 6.54556 ****
LBSA 10.38333 ****
Lu 11.81556 ****
CR 11.88667 ****
FIFO 14.95333 ****
Least Square Means---1P6M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
55
ANOVA 表---1P7M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 41189.55 41189.55 3079.325 0.00 派工法則 4 25471.26 6367.82 476.057 0.00
Error 70 936.33 13.38
Total 74 26407.59
Duncan 檢定---1P7M
派工法則 延遲時間變異(hr) 1 2 3
CR 4.20000 ****
Proposed 5.44778 ****
LBSA 25.48000 ****
Lu 27.20889 ****
FIFO 54.83778 ****
Least Square Means---1P7M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
56
ANOVA 表---1P8M
自由度 平方和 均方 F P
Intercept 1 106498.8 106498.8 10063.68 0.00 派工法則 4 87165.4 21791.3 2059.19 0.00
Error 70 740.8 10.6
Total 74 87906.1
Duncan 檢定---1P8M
派工法則 延遲時間變異(hr) 1 2 3 4
CR 5.74111 ****
Proposed 7.17667 ****
Lu 24.96111 ****
LBSA 54.37333 ****
FIFO 96.16111 ****
Least Square Means---1P8M
FIFO CR Lu LBSA Proposed
57
附錄六
1P7M Duncan 分群統計檢定
58
附錄六 1P7M Duncan 分群統計檢定
Duncan 分群表---1P7M 達交率
派工法則 FIFO CR Lu LBSA Proposed FIFO 0.000031 0.000116 0.000056 0.000050
CR 0.000031 0.000050 0.000056 0.112265
Lu 0.000116 0.000050 0.000116 0.000056 LBSA 0.000056 0.000056 0.000116 0.000116 Proposed 0.000050 0.112265 0.000056 0.000116
Duncan 分群表---1P7M 平均延遲時間
派工法則 FIFO CR Lu LBSA Proposed FIFO 0.000031 0.000116 0.000056 0.000050
CR 0.000031 0.000050 0.000056 0.777358
Lu 0.000116 0.000050 0.000303 0.000056 LBSA 0.000056 0.000056 0.000303 0.000116 Proposed 0.000050 0.777358 0.000056 0.000116
Duncan 分群表---1P7M 平均延遲時間
派工法則 FIFO CR Lu LBSA Proposed FIFO 0.000031 0.000116 0.000056 0.000050
CR 0.000031 0.000050 0.000056 0.353471 Lu 0.000116 0.000050 0.199810 0.000056
LBSA 0.000056 0.000056 0.199810 0.000116 Proposed 0.000050 0.353471 0.000056 0.000116
59
附錄七
1P8M Duncan 分群統計檢定
60
附錄七 1P8M Duncan 分群統計檢定
Duncan 分群表---1P8M 達交率
派工法則 FIFO CR Lu LBSA Proposed FIFO 0.000031 0.000056 0.000116 0.000050
CR 0.000031 0.000056 0.000050 0.084203
Lu 0.000056 0.000056 0.000116 0.000116 LBSA 0.000116 0.000050 0.000116 0.000056 Proposed 0.000050 0.084203 0.000116 0.000056
Duncan 分群表---1P8M 平均延遲時間
派工法則 FIFO CR Lu LBSA Proposed FIFO 0.000031 0.000056 0.000116 0.000050
CR 0.000031 0.000056 0.000050 0.709330
Lu 0.000056 0.000056 0.000116 0.000116 LBSA 0.000116 0.000050 0.000116 0.000056 Proposed 0.000050 0.709330 0.000116 0.000056
Duncan 分群表---1P8M 平均延遲時間
派工法則 FIFO CR Lu LBSA Proposed FIFO 0.000031 0.000056 0.000116 0.000050
CR 0.000031 0.000056 0.000050 0.230996
Lu 0.000056 0.000056 0.000116 0.000116 LBSA 0.000116 0.000050 0.000116 0.000056 Proposed 0.000050 0.230996 0.000116 0.000056