本章節 3-1 會先介紹本實驗所有樣品製作的方法；在 3-2 節中，製作好 AAO 基板後，會先對 AAO 基板做一些基本量測，如 AAO 結構的觀察、
AAO 基板的穿透率、電極檢驗，所以會針對這些實驗量測的方法做介紹；
在 3-3 節中，製作好液晶樣品後，便會做一系列的量測，如樣品間隙、
Conoscopy、液晶預傾角、加電壓之穿透率量測，所以會針對這些實驗量測 的方法做介紹。
3-1 樣品製作
本實驗先嘗試製作在硬式基板(玻璃)上製作大尺寸(
40 40 mm
2)無電 極的 AAO 薄膜；接著再嘗試以無電極的最佳化參數，並且參考先前學長製 作小尺寸(20 20 mm
2)具有電極的 AAO 薄膜經驗[14]，製作具有電極的 AAO 薄膜；最後再將製作於硬式基板的技術經驗，轉移至軟式基板(PET) 上，嘗試製作軟式基板的 AAO 薄膜。以下將製作六種不同類別之 AAO 基 板，整理如表 3-1-1、圖 3-1-1 所示，基板側面結構如圖 3-1-2 所示，這些基 板將會進行陽極氧化處理與蝕刻處理。21
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23 大小，並接上 Keithley 2400 電源電錶(source meter)，基板為陽極、
石墨圓盤為陰極，設定 40 V 的定電壓和100 mA 的電流限制。裝置
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25 阻去除系統(Plasma Stripper System，Integrated Plasma Limited)。使用 O2 plasma 處理是為了增加鈦膜和 ITO 的黏著性。
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3. 取出在丙酮燒杯中的 PET，以乾淨的丙酮沖洗 PET 表面後，放入另 一燒杯並將去離子水倒入燒杯，去離子水的電阻值高於18 MΩ ，將 燒杯放入超音波震盪器中，以超音波震盪器震盪 10 分鐘。
4. 取出在去離子水燒杯中的 PET，以乾淨的去離子水沖洗 PET 表面 後，放入另一燒杯並將異丙醇(2-Propanol)倒入燒杯，將燒杯放入超 音波震盪器中，以超音波震盪器震盪 10 分鐘，完畢後將異丙醇回收 避免汙染。
5. 取出在異丙醇燒杯中的 PET，以乾淨的異丙醇沖洗 PET 表面後，放 入 另 一 燒 杯 並 將 去 離 子 水 倒 入 燒 杯 ， 去 離 子 水 的 電 阻 值 高 於 18 MΩ，將燒杯放入超音波震盪器中，以超音波震盪器震盪 10 分鐘。
6. 取出在去離子水燒杯中的玻璃，以乾淨的去離子水沖洗玻璃表面 後，用氮氣吹乾，不放入烤箱烤乾，以避免高溫造成 PET 變質。
b. 如 3-1-2-c.節步驟依序鍍上鈦膜和鋁膜。
c. 如 3-1-4-c.節步驟進行陽極氧化處理。
30 的 SEM(JEOL，JSM-6700)觀察。
把基板切一小塊
5 5 mm
2貼在載台上，由於 AAO 是絕緣的金屬氧化 物，而所使用的基板也是絕緣體，所以在觀察 SEM 前，除了必頇先鍍一層 白金以提供導電性以外，更在邊緣塗上銀膠或碳膠來增加導電能力，以拍 攝到更清楚的結果。31
3-2-2 光譜儀量測
我們所使用的光譜儀型號為 Ocean optics USB2000，系統裝置如圖 3-2-1 所示，實驗前先將光源(Ocean optics ISS-UV/VIS，light source，可用波長約
300 800 nm)打開暖機 30 分鐘。
將製作好的基板放在基板載台(sample holder)上，由光源發出一道光 線，光線經過第一條光纖(optical fiber)垂直入射基板，光線穿透基板(sample)
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(electrode layer)，再來將基板切成如圖 3-2-2(b)，其截面如圖 3-2-3(b)所示。
從圖中可以發現，若是電極沒有遭受破壞，那麼 A 方法可以讓電流導通；
反之，若是電極被破壞，那麼 A 方法將會是斷路，會量得很大的電阻值，
如此可以檢驗電極是否完好。
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將製作好未灌入液晶的空樣品(empty cell)置於旋轉平台(rotation stage) 上，由氦氖雷射(He-Ne laser， 632.8 nm )發出一道光線，垂直通過偏振片 (polarizer)，再入射空樣品，光線穿透空樣品後，由光檢器(detector)接收訊 號，最後連接至電腦記錄光強度。並且利用電腦控制旋轉平台的旋轉角度，
藉以調控光線入射空樣品的入射角度。
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紀錄穿透光強度及相對應的旋轉平台之旋轉角度，即可得到如圖 3-3-2 的數據圖，從圖中任意選取兩個穿透極大值，讀取對應之角度
1、
2，並計 算此兩個極大值間的波谷數目 n，帶入式子(2-2-4)中即可得到空樣品的間隙 值大小。3-3-2 Conoscopy 觀察
使用實驗室的正交偏光顯微鏡來檢驗液晶樣品的配向結果，系統裝置 如圖 3-3-3 所示。
將空樣品灌入液晶，液晶樣品置於正交偏振片(polarizer，analyzer)下，
一道平行光源先打入透鏡(lens)，產生聚焦光原，使光源產生角錐狀，並照 射到樣品(LC cell)的表面上，最後成像在 CCD 鏡頭(CCD screen)上。
將觀察到的圖形和理論圖做比較可知道液晶樣品的配向結果，理論圖 如圖 3-3-4 所示，(a)為液晶分子垂直玻璃基板，(b)為液晶分子平行波璃基 板。
3-3-3 預傾角量測系統
預傾角的量測方法有很多種，本實驗中使用 Crystal Rotation Method，
系統裝置如圖 3-3-5 所示。
將液晶樣品置於旋轉平台(rotation stage)上，由氦氖雷射(He-Ne laser,
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632.8 nm )發出一道光線，垂直通過第一片偏振片(polarizer)，再入射空樣 品，光線穿透空樣品後，再垂直通過第二片檢偏片(analyzer)，由光檢器
將液晶樣品置於樣品載台(sample holder)上，由氦氖雷射(He-Ne laser，
632.8 nm )發出一道光線，垂直通過第一片偏振片(polarizer)，再入射空樣 品，光線穿透空樣品後，再垂直通過第二片檢偏片(analyzer)，由光檢器 (detector)接收訊號，最後連接至電腦記錄光強度。另一方面，將液晶樣品連 接上訊號放大器(voltage amplifier)與訊號產生器(function generator)，並且利 用電腦控制訊號產生器輸出電壓，藉以調控液晶樣品的加電壓大小。
因為液晶樣品外加不同電壓而導致雙折射特性改變，產生不同的相位 延遲，造成光強度變化曲線，再將光強度轉換成穿透率。
36 察其配向結果；在 4-1-5 節中，利用第二種方法(Conoscopy)觀察其配向結 果；在 4-1-6 節中，使用 2-3 節介紹的 Crystal Rotation Method 量測液晶預