TFT-LCD 面板全部製程約 300 個步驟，這些步驟由大塊面板玻璃以清洗 開始投入製程中歷經無塵室等級為Class1000 → Class100 → Class10 →
Class100 → Class 1000 等 5 次變換，面板玻璃由全尺寸到最後變成只有其 1/6 Conveyor，為了玻璃轉向之用的 Turn Conveyor，為了翻面用的 Flip 機構，為了 使玻璃轉角前進的Transfer Conveyor，為了騰出維修走道之用的 Lifter unit 及 Sky Conveyor，為了能滿足玻璃前進不塞車的 Buffer unit，或是這些單片的面 板玻璃完成一小段連續製程被送回整個Fab 的統籌分配管控中心 Stocker 時（通
TFT-LCD 前段製程中面板玻璃會送入一種可多片承載的 Cassette 裝置，
此是為了使Stocker 內的 Crane 效率有效提升的裝置，即 Crane 搬送一次的 Cassette 內含量就有 30pcs到50pcs不等的面板玻璃，Cassette 有二種型式，一為 Wire cassette（如圖 2-1 ），另為 Normal cassette（如圖 2-2），如可用機械手臂 對面板板玻璃進行Fork Arm 取、放的製程站時，當完成製程工序後就用機械手
臂去將面板玻璃放入Normal Cassette，此因有要預留 Fork Arm 最後進出及 Arm 下垂的間隙，所以可存放的玻璃數較少約20pcs~30pcs左右；若製程上不需用到 Robot 去取放，而只要以 Roller Conveyor 將玻璃滾動傳輸前進時，則會利用一 個Exchanger 的 AMHS 裝置，先將 Wire cassette 用 MGV 裝置或 Stocker 內之 Crane Arm 放入 Exchanger port 內，此 Port 是在 Stocker 內只留有一個僅可供玻 璃利用Roller Conveyor 進入此 Port 內之小窗口，其餘均用隔板罩住，當玻璃進 Port 內後流入 Wire Cassette 中（如圖 2-3），當每進完一片玻璃 Cassette 在 Exchanger AMHS 裝置的自動上升，逐一將玻璃收納到 Wire Cassette 內（約可 儲存30pcs到50pcs），待裝滿後Stocker Crane 再將此 Wire Cassette 搬走，並放入 一個空的Cassette，以此方式將製程中的玻璃收回到 Stocker 中；同樣的若要將 暫存於Stocker 內的玻璃往下一製程放出時，則以上述之反向操作進行放片的 動作，所以在Stocker 的外部會有許多 Roller Conveyor 執行玻璃片進出的協助，
這些都是AMHS 的主要功能；由於每片玻璃上都有以雷射雕刻方式刻上 ID No.，所以每一片玻璃於每一製程中的施工品質好壞會被記憶及配合 AMHS 的 另一分類功能，執行製程中之強迫取出進維修站，如此即可將上製程發生的不 良逐一修護後，再往下製程加工，否則前製程之不良未檢出修護，後面製程再 蓋上去後，當跑完300 個製程後，可能剩下只有幾片面板玻璃是 ok 的，其他 的都要當廢玻璃回收丟棄。所以這些AMHS（Automatic Material Handling System）為配合 TFT-LCD 的製程中因面板玻璃易破（板厚只有 0.7mm），製程
個因素，一為靜態（固定）的如FFU 的入口速度，開孔板的開孔率，供清淨 Air 的通風道，高架地板的開孔率等，另一為於Stocker 內往返走動的 Crane，動態 往返運動所造成的捲揚尾流的污染等，依據江［12］採用側向入風，馮［13］
每個時間點的Crane 產生捲揚尾流可發現均未超過 Pass line，且於 Crane 停止後從氣流狀況也未見尾流上揚如圖2-4 倉儲內 Crane 加減速模擬結果，此
行，零件選用以不發塵或低發塵量的元件，並將這些可能發塵的部位已設計安 值最小的空氣年齡值；但為了突破儲位內有Cassette 時及 Cassette 中有面板玻 璃在內時則無法進行量測及相關數據執行調校，故只有將儲位中之Cassette 取 大，因目前TFT-LCD 廠的使用經驗，FFU 供應商的 Input flow rate = 1410m3/hr 已屬足夠，因若太大則以後的營運成本會提高，如電費，FFU 濾網的更換頻
率...等，則要靠對各清淨Air 供風道之孔板的開孔率去作最佳匹配的調 整，這將是本研究中要投入的重點。
量測驗證手法如下 ﹕ FFU 掃描
Stocker 內部之氣流為由外罩與天花板密合處之 FFU 所提供的 Class 100 等級清淨Air 即在每 ft3空間中0.3μm的微塵粒少於300 個，因現場將 FFU 由 70%
微塵粒為無塵室內最重要的指標，其能否符合Feb-Ste-209E Class 100 之 等級是根據此儀器的量測值，所以一般最佳的情形是至少有二台以上的不同廠 牌型號微塵粒計數器一同施測，如圖2-5 中 MetOne 227B 微塵粒計數器是以氦 氖雷射或雷射二極體為雷射光源，偵測微粒子最小粒徑可達0.1μm，基礎理論建 立在微粒子通過雷射光束使雷射光產生光的變化，藉此反應出微粒子的大小及 數量，因此在使用的環境上，主要是應用在具有潔淨空氣調節的無塵環境中使 用，一般而言建議潔淨度範圍依Feb-Std-209E 所規範的等級,至少需在 Class 100,000 級以上的環境中使用，使用前亦需到一可信賴的區域執行清潔及歸零，
風速計），一般量測時要隨着數據的變化轉動測頭，看到數據的最大值出現時，
空氣年齡LMA（Local Mean Age）
無塵室內的微塵粒子會隨時間會變動而形成累積現象發生，即超出測定空間內
淨空氣置換年老髒污的空氣，因此也相當於換氣次數之意；目前無塵室業界之 LMA 經驗值與 Feb-std-209E 標準潔淨等級的對應如表 2-3 無塵等級與 LMA 對 照表所示［17］，以上為任何一種TFT-LCD 設備或與製程塔配的 AMHS 硬體，
要能在對應的無塵等級內使用所必需考慮的重要條件要素。
2.4 模擬與量測指標
運轉中的無塵室為了能符合製程設定的等級品質，設計之初要考量的影 響因子如圖2-7 影響 AMHS Stocker 無塵品質因子，為了要使能符合品質等級 之首要條件就是形成清淨Air 品質的 FFU 條件，要控制無塵室品質的均勻化，
則孔板的開孔率、面積大小、安裝位置為重要因素，因無塵室內除了監控微塵 粒的大小外，微塵粒的數量也要是重要的變數，所以如何使流場內的流速合理 化，及防止粒子沉積滯留的空氣年齡等的控制是其關鍵，因本研究為在原設計 有問題的硬體中進行改進，所以除了在數值的模擬過程中的參數設定適當化以 外，其結果亦需要經過比較解讀及量測。
分析階段手法：利用模擬後軟體的後處理將產出
各流場切面的Velocity-position 圖—看速度值趨勢
各流場切面的Velocity Contour 圖—看速度場均勻分佈情形 各流場切面的Velocity Vector 圖—看速度場逆流情形
以上各流場切面將由幾何模型的模擬結果Velocity Contour 模型中分層切面得 到，依看到的顯示進行相關影響因子調整以得到適化的結果，同時利用將各種 狀況所得到的Velocity-position 圖重疊比較判斷其優劣，並與無塵室現場實測值 比照對應。另利用粒子軌跡圖去找出每一種條件設定下的LMA 值，與目前業 界的建議值比較如表2.3，以得到空氣年齡的有效掌控（此為所有參考文獻中 未發現有提出做實務經驗值比較的），最後此空氣年齡之成效將由實地無塵室 內微塵粒監控量測到的數據值驗證其改善品質成效。
表2-1 ISO-14644 潔淨度定義 ［1］
表2-2 Fed-std-209E 潔淨度定義 ［1］
無塵等級 LMA (sec) Class 1 ～ 36 Class 10 36 ～ 45 Class 100 45 ～ 72 Class 1000 72 ～ 120
表2-3 無塵等級與 LMA 對照表 ［17］
圖 2–1 Wire Cassette 工程圖及圖像
Cassette
面板玻璃