誠如本規範前言所述，因為國外研究報告顯示矽甲烷火災爆炸行為是難以 預測，因此本規範安全距離要求是採取較保守建議，這對地小人稠的台灣而言，
現階段可能還不是一個最完善之規範。安衛中心將持續與國際專家合作，希望 於不久將來能夠清楚預測及掌握火災爆炸行為，有效縮短安全距離。
本規範編撰雖然已經儘可能淺顯易懂，但對於使用者及設計者教育訓練仍 為必要，如此才能在最短時間內提升國內對大宗矽甲烷及氫氣的處置、使用有 更深入了解，並創造永續經營環境。
最後，希望透過本規範能夠在建廠設計之初就將潛在風險降至最低，再配合 緊急應變系統及演練計畫，將危害事件發生的嚴重性與規模降至最低的程度，
達到產業永續經營目的。
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附錄
附錄一 矽甲烷物質安全資料表
附錄二 矽甲烷容器與配管防震設計
附錄三 更換大宗矽甲烷設施程序
附錄四 矽甲烷儲存場所的爆炸模擬
附錄五 氫氣物質安全資料表
1-1
附錄一 矽甲烷物質安全資料表
一、 物品與廠商資料
物品名稱：四氫化矽 （Silicon Hydride）
其他名稱：矽甲烷
建議用途及限制使用：電晶體儀器植入劑；製造非晶矽石。
製造商或供應商名稱、地址及電話：-緊急聯絡電話/傳真電話：-
二、 危害辨識資料
物品危害分類：易燃氣體第 1 級、加壓氣體、腐蝕／刺激皮膚物質第 3 級、嚴重損傷／刺激 眼睛物質第 2 級
標示內容：
象 徵 符 號 ： 火焰、高壓氣瓶、驚嘆號 警 示 語： 危險
危害警告訊息：
c極度易燃氣體
d內含加壓氣體；遇熱可能爆炸 e造成輕微皮膚刺激
f造成眼睛刺激 危害防範措施：
勿吸入氣體/煙氣/蒸氣/霧氣 戴眼罩／護面罩
其他危害：
三、 成分辨識資料 純物質：
中英文名稱：四氫化矽 （Silicon Hydride）
同義名稱：矽甲烷、Silane、Silicon Tetrahydride、Monosilane 化學文摘社登記號碼（CAS No.）：7803-62-5
危害物質成分（成分百分比）：
四、 急救措施
不同暴露途徑之急救方法：
吸 入：1.儘快將患者移離污染區且吸入新鮮空氣。 2.若患者神志不清應移離污染區，不 可立刻給予氧氣 等幾分鐘，讓矽甲烷氣離開肺，再予以人工呼吸。 3.立刻尋求 醫療協助。 4.視徵候和協助給予進 一步處理。
皮膚接觸：1.若受著火矽甲烷灼傷, 以熱灼傷之處理方式處理。 眼睛接觸：1.用大量連續流 動溫水沖洗眼睛及眼皮，至少 15 分鐘。
食 入：－
1-2
五、 滅火措施 適用滅火劑：水幕或水霧
滅火時可能遭遇之特殊危害：1.於空氣中自燃，或在空氣中無火源狀況下蓄積爆炸。
特殊滅火程序：
1.關掉矽甲烷來源並從遠處噴水冷卻容器週圍，如果無效，考慮疏散。 2.不可使用海龍。 3.若 無法關掉氣源， 控制其燃燒至燒完。 4.須配戴正壓式全面型自攜式呼吸防護具及全套式防護衣 物。
消防人員之特殊防護裝備：消防人員必須配戴空氣呼吸器、防護手套、消防衣、自攜式呼吸防 護具。
六、 洩漏處理方法
個人應注意事項：1.在污染區尚未完全清理乾淨前，限制人員接近該區。 2.確定清理工作是 由受過訓練的人員 負責。 3.穿戴適當的個人防護裝備。
環境注意事項：1.對該區域進行通風換氣。 2.撲滅或除去所有發火源。 3.通報政府相關單位。
清理方法：1.若是使用的設備洩漏，修理之前先以惰性氣體迫淨清除管線。 2.安全許可的情 況下，設法阻漏。 3.保 持洩漏區通風良好或將洩漏之容器移至通風良好之處。 4.矽甲烷洩 漏於空氣中多半會著火產生二氧化矽，有時候它就能減慢或阻止洩漏;二氧化矽出現處即是洩 漏處，須作永久性的修理。
七、 安全處置與儲存方法 處置：
1.只可在通風良好的區域使用，並遠離不相容物；用後或空容器都應關緊閥。 2.除非容器與 閥口管線已在使用 位置,否則閥帽應保持原狀。 3.不要拖、滑或滾氣瓶，用適當推車搬移, 不 要擅改安全閥。 4.連接氣瓶與低壓管 線或系統時使用調壓閥。 5.不要以加熱或其他方式增加 氣瓶的排出量。 6.出口管線上裝逆止閥或火焰捕捉器,以免有害 物回流至氣瓶。 7.避免容器遭 受物理性損害。 8.運輸氣瓶前, 氣瓶應保持垂直向上。 9.不可以汽車行李箱、密 閉貨車、
卡車駕駛室、旅客室等載運鋼瓶。 10.運輸鋼瓶應固定於開放式平板或開放式提貨型的車子。
11.所有運 輸及操作所需的容器皆須接地。
儲存：
1.貯存於陰涼、乾燥、通風良好的不可燃建築區,遠離來往密集的區域和緊急出口。 2.鋼瓶貯 存場所溫度不可超過40℃。 3. 鋼瓶應向上垂直存放並嚴格固定以避免掉落或撞擊。 4.實瓶 和空瓶應分開貯存。 5.使用「先進先出」的庫存系統以避免實瓶貯存時間過久。 6.貯存或操 作區張貼「禁止抽煙及明火」的標籤，且不可有引燃源。 7.實瓶和空瓶都不可與其他易燃物 一起貯存。
八、 暴露預防措施
工程控制：1.安裝整體換氣裝置與局部排氣裝置以維持矽甲烷在空氣中濃度在容許濃度以下，
所有通風系統須有防爆設計。
控 制 參 數
八小時日時量平均容 許濃度TWA
短時間時量平均容許 濃度STEL
最高容許濃度 CEILING
生物指標BEIs
1-3
5ppm 10ppm 個人防護設備：
呼吸防護：1.50 ppm 以下：供氣式呼吸防護具。 2.50ppm至250 ppm 以下：自攜式呼吸防護 具或全面型供氣式呼吸防護具。 3.IDLH：正壓式全面型自攜式呼吸防護具。
手部防護：1.防護手套，最好與製造商、供應商及政府相關部門查詢。
眼睛防護：1.安全護目鏡或眼鏡。
皮膚及身體防護：1.工作區要有沖眼/淋浴設備，保護工作服。
衛生措施：1.工作後儘速脫掉污染之衣物，洗淨後才可再穿戴或丟棄，且須告知洗衣人員污染 之危害性。2.工作場所嚴禁抽煙或飲食。3.處理此物後，須徹底洗手。4.維持作業場所清潔。
九、 物理及化學性質
外觀：無色氣體 氣味：不愉悅的味道
嗅覺閾值：- 熔點：-185℃
pH 值：- 沸點/沸點範圍：-117 ℃ 易燃性（固體，氣體）：易燃氣體 閃火點：自燃
測試方法：
分解溫度：－
自燃溫度：- 爆炸界限：1.4 ﹪~96 ﹪ 蒸氣壓：>760 mmHg 蒸氣密度：1.11
密度：- 溶解度：不溶（與水反應）
辛醇/水分配係數（log Kow）：－
揮發速率：-十、 安定性及反應性 安定性：不安定
特殊狀況下可能之危害反應：1.氧氣、鹵素、氧化劑：火災或爆炸的危害。 2.鹼：可能分解釋 應避免之狀況：熱、明火火花、引火源
應避免之物質：鹵素、氧化劑、酸性溶液
危害分解物：H2、矽塵、SiO2，與水反應成矽酸。
十一、毒性資料 暴露途徑：皮膚、吸入
症狀：上呼吸道、眼睛刺激、頭痛、噁心、皮膚灼燒。
急毒性：
皮膚：1.著火的矽甲烷引起灼傷和一般燒傷相似。
吸入：1.吸入其氣體刺激上呼吸道可能引起頭痛或嘔心。 2.吸入低濃度矽甲烷,不發生自燃反應 時能在體 內與鹼性溶液反應放出氫及矽酸鹽,進一步可能在身體組織內水解,形成矽酸。
LD50（測試動物、吸收途徑）：-
LC50（測試動物、吸收）：9,600 ppm/4H（大鼠，吸入）
慢毒性或長期毒性：－
十二、生態資料 生態毒性：
1-4
LC50（魚類）：－
EC50（水生無脊椎動物）：－
生物濃縮係數（BCF）：－
持久性及降解性：
半衰期（空氣）：- 半衰期（水表面）：- 半衰期（地下水）：- 半衰期（土壤）：- 生物蓄積性：- 土壤中之流動性：- 其他不良效應：-
十三、廢棄處置方法 廢棄處置方法：
1.不要嘗試處理廢棄物或未用完的量，以適當標示、確定閥蓋上或閥出口盲封且有閥保護帽的 容器送回原廠廢棄處理。
2.須緊急廢棄處理時，與供應商連繫。
十四、運送資料 聯合國編號：2203
聯合國運輸名稱：四氫化矽
運輸危害分類：第 2.1 類易燃氣體 包裝類別：-
海洋污染物（是/否）：否 特殊運送方法及注意事項：－
十五、法規資料 適用法規：
1.勞工安全衛生設施規則 2.危險物與有害物標示及通識規則
3.高壓氣體勞工安全規則 4.勞工作業環境空氣中有害物容許濃度標準 5.道路交通安全規則 6.事業廢棄物貯存清除處理方法及設施標準 7.公共危險物品及可燃性高壓氣體設置標準暨安全管理辦法
十六、其他資料
上述資料之各項數據與資料僅供參考，使用者請依應用需求判斷其可用性，
尤其需注意混合時可能產生不同之危害，並依危險物與有害物標示及通識規則之 相關規定，提供勞工必要之安全衛生注意事項。
2-1
附錄二 矽甲烷容器與配管防震設計
（一）配管 1.設計地震力
（1）作用於配管振動單元重心之最小設計總水平為 Fph=1.0Wp，最小設計 垂直地震力為
F
pv=0.4Wp。其中，WP為配管振動單元之重量。（2）當氣體輸送配管與結構體錨錠之相鄰兩連接點係分別位於同一建物 或結構系統的不同高度時，則由地震引致相鄰兩連接點之相對位移
D
p應依下式計算：yA xA yA
xA
P
h h
D
=δ
−δ
≤0.04× − （1）其中，
D
p= 相鄰兩連接點之相對位移。
δ
xA= 建築物 A 在設計地震作用下，連接點 x 之側向位移量（計算
位移時應計及意外扭矩與P-Δ 效應）。δ
yA= 建築物 A 在設計地震作用下，連接點 y 之側向位移量（計算
位移時應計及意外扭矩與P-Δ 效應）。h
xA= 連接點 x 至建築物基面的高度（建築物 A）。
h
yA= 連接點 y 至建築物基面的高度（建築物 A）。
（3）當氣體輸送配管與結構體錨定之相鄰兩連接點係分別位於不同且分 離之建物或結構系統時，則由地震引致相鄰兩連接點之相對位移 Dp 應依下式計算：
(
xA yB) (
xA yB)
P
h h
D
=0.6×δ
+δ
≤0.03× + （2）其中，