1.1 研究背景
薄膜電晶體顯示器(thin film transistor liquid crystal display,簡稱 TFT-LCD) 製程可分為三個部分,分別是陣列(array)製程、組立(cell)製程和模組(module)製 程。陣列製程主要是製造薄膜電晶體基板(TFT plate,簡稱 TFT 基板);組立製程 是將製造完成的薄膜電晶體基板,配合上自製或外購的彩色濾光片(color filter plate,簡稱 CF 基板)進行壓合作業,再注入液晶,形成 TFT-LCD 基板(TFT-LCD plate),再將 TFT-LCD 基板切割成固定尺寸的數個面板(panel)。而模組製程則類 似一般組裝作業,是將面板與背光模組、驅動IC、印刷電路板等其他附件進行 組立。
在組立製程中,TFT 基板和 CF 基板配對的結果會影響製程的良率。在組立 製程中,一塊TFT-LCD 基板(plate)可被分割成很多面板(panel);若要得到一良品 TFT-LCD 面板,則在進行壓合時的 TFT 和 CF 面板都必須為良品才行;若 TFT 或CF 面板其中有一為不良品,則壓合作業後的 TFT-LCD 面板便為不良品。如 圖1.1 所示,例 1 中 TFT 基板和 CF 基板的個別良率均為 75%,但在進行壓合作 業後,因為配對關係,僅得到良率為50%的 TFT-LCD 基板,而在例 2 中,TFT 基板和CF 基板的個別良率同樣為 75%,因為較好的配對,經壓合後可得到良率 為75%的 TFT-LCD 基板。本研究稱此配對後的良率為配對良率(mapping yield)。
圖1.1TFT 基板和 CF 基板的配對良率
在生產現場,基板是以卡匣(cassette)為單位進行承載,通常一個卡匣可以承 載約10-20 片基板。基板製造的良率具有隨機特性,在一卡匣內,每一片基板的 良率未必相同,即使良率相同,良品面板位置的分佈也未必一致。為了提高配對 良率,工廠通常會將多個CF 和 TFT 卡匣內的基板整合配對,一配對成組的 CF 和TFT 基板互稱為配對基板(mapping plate)。假設一個卡匣可以承載 n 個基板,
當TFT 和 CF 各有 N 個卡匣時,則基板配對方式共有(N×n)!種組合。在這些組合 中,如何找到最佳良率的配對組合,我們稱之為基板配對決策 (plate mapping decision),在過去的研究中,已有最佳演算法能找到最大良率之基板配對決策 。
基板配對決策之後,一CF 卡匣內的基板所對應的 n 個 TFT 基板可能雜散在 不同的TFT 卡匣內,為了方便 Cell 製程的組立作業,工廠通常會先進行基板抽 換及重置作業(pick-and-replace),亦即將一 CF 卡匣所配對的 TFT 基板從原卡匣 內全部抽出,置放在一個新的TFT 卡匣內,以便壓合組立,此新的 TFT 卡匣稱 為目標卡匣(target cassette)。如圖 1.2 所示,CF 卡匣 X 內有三個基板(x1, x2, x3),
其配對基板(q1, r2, s3)分別存放在 TFT 卡匣 Q, R, S 內。抽換作業將 TFT 基板 q1, r2, s3從其原卡匣抽出,置放在新的TFT 卡匣 Y 內,使卡匣 X 內的所有基板,其配 對基板均在卡匣 Y 內,抽換作業完成後的卡匣 Y 為目標卡匣。
圖1.2 抽換作業示意圖
進行抽換作業的設備稱為排序機(sorter)。如圖 1.3 所示,一個典型排序機的 組成包括一個機器手臂(robot),一個輸出埠(output port),數個輸入埠(input port)。
進行抽換作業時,輸出埠置放一空卡匣,機器手臂的功能是從輸入埠所置放的卡 匣中抽出TFT 基板,將其放在輸出埠的卡匣,以形成目標卡匣。
圖1.3 排序機設備
經基板配對決策後,一CF 卡匣內的基板所對應的 n 個 TFT 基板可能會分散 在多個TFT 卡匣中,這些 TFT 卡匣稱為該 CF 卡匣的會員卡匣(member cassette),
本研究利用卡匣配對矩陣(cassette mapping matrix, 簡稱配對矩陣)整合各 CF 卡 匣與其會員卡匣間的卡匣對應關係(cassette-to-cassette relationship),配對矩陣可 用 MN*N = [mij], 1≦ i ≦N, 1≦ j ≦N 表示,若 TFT 卡匣 j 為 CF 卡匣 i 之會員卡匣,
則 mij=1,反之則 mij=0。圖 1.4 為 4 個 CF 卡匣和 4 個 TFT 卡匣進行基板配對決 策後所得的卡匣配對矩陣 M4*4,如圖所示,CF 2 卡匣的配對基板分散在 TFT 1, TFT 2 及 TFT 3 卡匣中,因此 TFT1, TFT 2 及 TFT 3 三個卡匣為目標卡匣 CF2 的 會員卡匣,抽換作業需將配對基板從三個會員卡匣中抽出,放置在一新的TFT 卡匣內,才能完成目標卡匣的產出。
圖1.4 配對矩陣
在排序機的派工過程中,會衍生出兩個問題,分別是目標卡匣的產出順序決 策(output sequence decision)及會員卡匣上下排序機的順序決策(input sequence decision),這兩個問題為排序機派工的主要決策;決策一為目標卡匣的產出順序 (output sequence, 簡稱產出順序),如圖 1.5 中所示,產出順序可為
C1ÆC2ÆC3ÆC4,或 C3ÆC4ÆC2ÆC1 等,共 4!種情形;決策二為會員卡匣上 下排序機的順序(input sequence, 簡稱投入順序),如圖 1.5 中所示,以 CF2 目標 卡匣為例,其會員卡匣為TFT1, TFT2, TFT3,在排序機只有一個輸入埠的情形 下,投入順序為T1ÆT2ÆT3 或 T1ÆT3ÆT2 等,共 3!種情形。
目標卡匣產出順序:C1 C2 C3 C4
目標卡匣產出順序:C3 C4 C2 C1
決策一例: 決策二例:
T1
CF2會員卡匣為TFT1, TFT2, TFT3 會員卡匣上下排序機順序:
T2 T3
T1 T3 T2
圖1.5 排序機派工決策
組立製程為流線型生產(flow line),排序機下游為組立壓合機台(assembly machine),作業內容是將配對好的 TFT 基板和 CF 基板進行壓合。其生產特性為,
在不缺料的情形下,每隔固定時間 T 可以產出一個壓合卡匣,反之在缺料的情形 下,壓合機的產能則會閒置;因此壓合機對排序機的要求是每隔固定時間 T 需產 出一目標卡匣,若目標卡匣的產出時間變異過大時,壓合機的產能可能會閒置;
因此本研究著焦於排序機應該如何派工,以最大化壓合機台利用率,以期能提高 TFT-LCD 廠的最終產出。
1.2 研究目的
根據上述的背景,本研究以卡匣配對矩陣作為輸入,發展一演算法來進行排 序機派工決策,妥善規劃產出順序和投入順序,以最大化下游組立壓合機台利用 率。
1.3 論文組識
本論文後續章節安排如下,第二章將更深入介紹 TFT-LCD 製程及 TFT-LCD 製造管理相關文獻,第三章介紹研究構想,第四章探討研究方法-動態規劃演算 模型,第五章是實例驗證,第六章則是結論及未來研究的方向。