5.1 總結
雖然抓爬式微致動器發展時間並不長，但由於精密的步進尺寸、微牛頓的輸出力 且製程簡易，使得 SDA 在微致動器中相當具有潛力、前景看好。就傳統 SDA 效能來看，
其輸出力隨著板長縮短而增加，但所需的驅動電壓上升，這與前人的文獻有相同的實 驗結果。在本論文重點提出新式低電壓驅動 SDA 的設計，經實驗證明能有效降低驅動 電壓，但輸出力未必會比傳統 SDA 來的好，對低電壓而言 95V 以下，相較傳統 SDA 有 較佳的輸出力，且傳統 SDA 在 50~80V 甚至還不能驅動，根本無法提供輸出力，因此 我們可得到較佳的使用範圍區域，約 50~95V 之間。
在實驗過程中，輸入電壓頻率也是影響 SDA 很重要的一項參數，目前文獻操作頻 率約在 100~10k 赫茲不等，在這裡我們使用 500Hz 的輸出頻率，頻率太低(約為幾十赫 茲以下)結構反應太慢，主板或摩擦樑無法持續貼底，與基板之間摩擦力不夠，很容易 就被彈簧給拉回原點，無法向前作動；頻率太高(約到達 50k 赫茲)結構反應快，SDA 有停在原地震動或是大弧度的扭曲的現象，這種扭曲震動會造成 SDA 元件的損傷，應 盡量避免。
5.2 近期改善工作
1. 建立 SDA 模擬並與實驗結果做比較，證實數據的準確性。
2. 改善光罩設計，加入 dimple 結構，防止彈簧元件黏底。
3. 在實做元件時，改善釋放元件試片的潔淨度。
5.3 未來工作
低驅動電壓 SDA 因為撓性接頭的設計，可降低摩擦板貼底反曲電壓，撓性接頭會 對 LVSDA 驅動電壓與輸出力等效能造成影響，在本論文已討論了一些尺寸設計對 LVSDA 效能的影響，但還有許多參數並尚未做討論，如板長的變化、頻率改變對 LVSDA 的影 響等，在未來可針對主板長度、撓性接頭位置、尺寸，甚至形狀做最佳設計；還有輸 入訊號頻率的變化明顯影響 SDA 效能，似乎有一個最佳的使用頻率範圍，在哪些頻率 範圍能使 SDA 發揮最佳的效能，在未來都將會對這些參數做探討。
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