將所有 InterLock 全部設為手動 將所有 InterLock
全部設為自動
地震儀通訊狀態顯示
說明：
提供工程師作手動或自動控制開關，此畫面全部功能均需 Login UserName 及 Password 出現確認視窗後方能操作。
地震儀何時會作動 Shutdownd 機台之時機？
當任二台地震儀偵測到＞80gal且地震儀 Auto Mode 設為自動模式，此二 條件同時成立時則自動 ShudDown 機台。
圖 4-11 為歷史警報及即時警報畫面：
圖 4-11 歷史警報及即時警報畫面 資料來源：本研究自行整理
歷史警報檔案分別存放在網路電腦之警報資料夾內 。
Unack: 紅色 警報未確認
Ack: 藍色 警報已確認
Event: 紫色 記錄事件發生
Return 綠色 回復正常 列出當天所有
歷史警報資料
切換至 歷史警報
切換至 即時警報
查詢警報群組 為環境偵測器
按下可印出 歷史警報資料 查詢通訊
異常警報
Total Alarm: 列出當天所有歷史警報資料
Summary: 查詢當天即時警報
History: 查詢當天歷史警報
圖 4-11、圖 4-12 為氣體濃度歷史曲線及圖控設定功能畫面：
圖 4-12 氣體濃度歷史曲線畫面 資料來源：本研究自行整理
列印 歷史曲線
按下切換欲 查詢色筆
可調整左邊 Scale 時間點
可調整右邊 Scale 時間點 點一下 Mouse 左鍵可
帶出設定視窗 當時 Chart 日期/
時間
圖 4-13 圖控設定功能畫面 資料來源：本研究自行整理
Intouch 圖控軟體提供歷史曲線之查詢與設定功能。
可輸入欲查詢之起始日期，時間，範圍供查詢歷史曲線。
歷史曲線資料檔案存放於監控網路電腦資料夾內。
設定查詢開始 日期及時間
設定圖表長度為?天/時/分/秒
點一下可選擇欲查詢 色筆所代表之 Tag
圖 4-14 為純化器 Purifier 供應流程畫面：
圖 4-14 Purifier 供應流程畫面 資料來源：本研究自行整理
說明：
管路流程圖 己供氣: 紅色 未供氣: 灰色
數值顏色 正常: 綠色 ; 斷線: 粉紅色 Lo: 黃色 ; Hi: 紅色
圖 4-15 為某晶圓廠 Fab 配置監控畫面，圖 4-16 為氣體供應室監控畫面：
圖 4-15 晶圓廠 Fab 配置監控畫面(資料來源：本研究自行整理)
圖 4-16 氣體供應室監控畫面(資料來源：本研究自行整理) 圓圈紅色表示該台
GC 偵測器發生警報 正方形紅
色表示 GC 發生 異常警報
按下切換至機台 供氣流程圖
Bay 位表示
B13_04(機台編號) 平面圖
畫面切換
機台名稱
黃色表 示所在 區切換
圖 4-17 為 G/C 氣瓶櫃監控狀態畫面：
圖 4-17 G/C 氣瓶櫃監控狀態畫面
圖 4-15、4-16、4-17 資料來源：本研究自行整理
說明；提供 GC,GM 所有 Data 一覽表
WGT：Weight 縮寫，鋼瓶重量。
CYL ：Cylinder Pressure 縮寫，一次測壓力值。
DEL ：Delibery Pressure 縮寫，二次測壓力值。
鋼瓶重量
Cyclinder Pressure (一次測壓力值)
Delibery Pressure (二次測壓力值)
圖 4-18 為氣體供應室內之各氣瓶櫃之使用狀態畫面
圖 4-18 氣體供應室內之各氣瓶櫃之使用狀態畫面 說明：提供氣體供應室內所有鋼瓶壓力一覽表
圖 4-19 氣體偵測器偵測所有氣體一覽表
圖 4-19 氣體偵測器偵測所有氣體一覽表