依據現行「固定污染源空氣污染物排放標準」(表 1)，煙道排氣的不透 光率必須小於20％才符合法規要求。但目前在半導體廠或光電廠常有酸性 或鹼性氣體排放之煙柱不透光率過高的問題。根據過去相關研究(11) (17) (18) (20) (21)及實際TFT-LCD 廠運轉經驗得知，煙囪排氣中形成之煙霧的可能有以下 幾種原因：
第一種最常見到的氨(NH3)、氯化氫(HCl)及硫酸液滴等混存的無機酸鹼 性污染物在製程或排氣處理過程中會反應形成氯化銨、硫酸銨之微粒，在 煙囪出口容易形成白煙。一般的空氣污染防制設備對於次微米微粒的去除 效率偏低，經過洗滌後鹽類微粒在相對溼度90%以上之環境下會吸水形成 較大之微粒，造成煙囪出口明顯之白煙。
第二種產生白煙之來源為製程中之矽甲烷(Silane)燃燒後產生的二氧 化矽次微米微粒(18)，其中間直徑約為0.2 µm，粒徑分佈如圖 1 所示。二氧 化矽微粒若在製程排氣中未經Local scrubber 洗滌或集塵器過濾即進入濕 式洗滌塔，或是Local scrubber 故障未洗滌處理、集塵器濾網破掉，都容 易在煙囪出口形成含有細微粉塵之煙霧。另一種狀況為矽甲烷在Local scrubber 燃燒排出之溫度過高，在濾網過濾後高溫廢氣進入濕式洗滌塔後 造成水氣蒸發量大增，而在煙囪看到白色水蒸氣。
表 1. 固定污染源空氣污染物排放標準(91.07.03)(15) 排 放 標 準
空 氣 污
染 物 排 放 管 道 周 界
連續自動監測：
每日不透光率6 分鐘監測值超過 20%之累積時間不得 超過4 小時。
－ 粒狀污染物
（不透光率） 目測判煙：
不得超過不透光率20%，停止、開始運轉時可到不透光 率40%，但一小時內超過不透光率 20%之累積時間不 得超過3 分鐘。
－
圖 1. 矽甲烷(Silane)燃燒產生二氧化矽微粒的粒徑分佈(18)
第三種是許多 TFT-LCD 廠所遇到之狀況，即產生白煙之來源為高沸 點之去光阻液(Stripper)，其濃度約在 100~300 ppm 左右，主要成份為 MEA 及BDG，濃度依前置冷凝器(Stripper condenser)的效率而定。廢氣在冷凝 器回收去光阻後，在洗滌塔中吸收高濕度水氣，形成較大的氣膠微粒或液 滴被帶至洗滌塔出口，經實際檢測結果發現成份以MEA 為主約 7.63
%(v/v)，BDG 約 0.75%(v/v)，其餘為水份，若是除霧器之去除效果不良，
在煙囪出口即會造成明顯之白煙煙柱。
成的。此廠的酸性排氣經濕式洗滌塔洗滌後產生白煙之狀況，始於設備機 台開始供應酸性化學品蝕刻液進行蝕刻製程時產生，先前並無白煙問題，
白煙產生的狀況為連續產生，且不透光度高，檢查洗滌塔出入口發現洗滌 塔入口未有白煙出現(圖 2)，但在洗滌塔出口(圖 3)及煙囪出口(圖 4)卻有大 量白煙，以目測法得知其不透光率約80%~100%左右。
圖 2. 洗滌塔入口無白煙狀況(運轉中)
圖 3. 洗滌塔除霧層後白煙產生狀況(運轉中)
圖 4. 酸性排氣煙囪白煙(Scrubber 的負載為 25%)
發生白煙時濕式洗滌塔之各項操作條件後確認並無異常之狀況，洗滌水 的pH 值為 8 左右，導電度值約在 3 ms/cm 左右，酸性排氣在洗滌塔之停 滯時間約2 秒左右，潤濕因子為 0.22 m2/hr，液氣比約為 4.55，洗滌塔之 處理風量僅為設計全載之25%。
此連續白煙現象出現於低負載且各項操作參數良好之洗滌塔為前所未 見過，且白煙對鍍鋅風管造成極為明顯且快速之腐蝕現象如圖5 所示，因 此亟需迅速解決。
圖 5. 酸性排氣白煙對鍍鋅風管之腐蝕狀況(40 天)