十個節距結構有限元素模型分析

因此磨擦係數也會影響到滑行量，隨著磨擦係數的增加，滑行量反而減少很多，

以下的分析採用磨擦係數為 0.25，此結果與 3.6 節的實驗結果最吻合。

圖3-10 十個節距結構有限元素模型示意圖

由結果顯示針測行程 0.5 mil 時，滑行量的變化有些微的差異，每一層針結構差 異與單一節距的結構相同，上層探針滑行量大於下層探針，即是 Layer 1 大於 Layer 2；Layer 3 大於 Layer 4，滑行量的差距在 0.03 mil 。進一步分析同一層針上的十根 探針滑行量，探針排列最左邊與中間探針做比較，中間探針高於最左邊探針的滑行量 為 0 ~ 0.0002 mil，若以探針排列最右邊與中間探針做比較，中間探針高於最右邊探 針的滑行量為 0.0004 ~ 0.0008 mil，如圖3-11所示。

針測行程提升到 1.0 mil 時，上層探針滑行量大於下層探針，滑行量的差距提升 到 0.06 mil。進一步分析同一層針上的十根探針滑行量，探針排列最左邊與中間探針 做比較，中間探針高於最左邊探針的滑行量為 0 ~ 0.0002 mil，若以探針最右邊與中 間探針做比較，中間探針高於最右邊探針的滑行量為 0.0005 ~ 0.0017 mil，如圖3-12 所示。

最後針測行程提升到1.5 mil 時，上層探針滑行量大於下層探針，滑行量的差距

提升到 0.09 mil 。進一步分析同一層針上的十根探針滑行量，探針排列最左邊與中 間探針做比較，中間探針高於最左邊探針的滑行量為 0 ~ 0.0005 mil，若以探針最右 邊與中間探針做比較，中間探針高於最右邊探針的滑行量為 0.0010 ~ 0.0024 mil，如 圖 3-13 所示，由此可見針測行程越大，上層針與下層針的變化量就越大。若以同一 層針做比較，中間探針與排列最右邊探針滑行量也是隨著針測行程而改變，滑行量差 異趨勢會慢慢變大，雖然滑行量差異尺寸很微小，但是經過探針長時間測試與清針，

將會影響到探針壽命。

0.12 0.13 0.14 0.15 0.16 0.17 0.18 0.19 0.2 0.21

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

探針腳位

layer 1 layer 2 layer 3 layer 4

圖3-11 十個節距各層針探針滑行量(針測行程0.5 mil)

0.26 0.28 0.3 0.32 0.34 0.36 0.38 0.4

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

探針腳位

滑行量(mil) _{layer 1}

layer 2 layer 3 layer 4

圖3-12 十個節距各層針探針滑行量(針測行程1.0 mil)

0.4 0.42 0.44 0.46 0.48 0.5 0.52 0.54 0.56 0.58

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

探針腳位

滑行量(mil) _{layer 1}

layer 2 layer 3 layer 4

圖3-13 十個節距各層針探針滑行量(針測行程 1.5 mil)

接觸力作分析中，當針測行程 0.5 mil 時，下層探針滑行量大於上層探針，即是 Layer 2 大於 Layer 1；Layer 4 大於 Layer 3，接觸力的差距在 0.17 ~ 0.19 克。進一 步分析同一層針上的十根探針接觸力變化量，探針排列最左邊與中間探針做比較，中 間探針高於最左邊探針的接觸力為 0.003 ~ 0.006 克，若以探針排列最右邊與中間探 針做比較，中間探針高於最右邊探針的接觸力為 0.004 ~ 0.008 克，如圖 3-14 所示。

針測行程1.0 mil 時，下層探針滑行量大於上層探針，接觸力的差距在 0.38 ~ 0.39 克。進一步分析同一層針上的十根探針接觸力變化量，探針排列最左邊與中間探針做 比較，中間探針高於最左邊探針的接觸力為 0.006 ~ 0.010 克，若以探針排列最右邊 與中間探針做比較，中間探針高於最右邊探針的接觸力為 0.005 ~ 0.016 克

，

針測行程1.5 mil 時，下層探針滑行量大於上層探針，接觸力的差距在 0.55 ~ 0.59 克。進一步分析同一層針上的十根探針接觸力變化量，探針排列最左邊與中間探針做 比較，中間探針高於最左邊探針的接觸力為 0.007 ~ 0.018 克，若以探針排列最右邊 與中間探針做比較，中間探針高於最右邊探針的接觸力為 0.005 ~ 0.026 克

，

0.9 1 1.1 1.2 1.3

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

探針腳位

layer 1 layer 2 layer 3 layer 4

圖3-14 十個節距各層針探針接觸力(針測行程 0.5 mil)

1.7 1.8 1.9 2 2.1 2.2 2.3 2.4 2.5

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

探針腳位

接觸力 ( g ) ^{layer 1}_{layer 2}

layer 3 layer 4

圖3-15 十個節距各層針探針接觸力(針測行程 1.0 mil)

2.7 2.8 2.9 3 3.1 3.2 3.3 3.4 3.5 3.6 3.7

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

探針腳位

layer 1 layer 2 layer 3 layer 4

圖3-16 十個節距各層針探針接觸力(針測行程 1.5 mil)