四分之ㄧ結構有限元素模型分析

四分之ㄧ結構上加強了本體的結構，接下來探討其滑行量與接觸力的變化量，在 針測行程 0.5 mil 時，其結果為上層探針滑行量大於下層探針，即是 Layer 1 大於 Layer 2；Layer 3 大於 Layer 4，滑行量的差距在 0.03 mil 。進一步分析同一層針上 的二十根探針滑行量，發現在Layer 3 、 Layer 4 增加了四分之ㄧ結構後，左邊探針 的差異變小，與中間探針的滑行量偏差為 0 ~ 0.0001 mil，中間探針與右邊探針的滑 行量差異為 0 ~ 0.0008 mil，如圖 3-26 所示。

針測行程上升到 1.0 mil 時，上層探針滑行量大於下層探針，滑行量的差距在 0.06 mil 。進一步分析 Layer 3 、 Layer 4 同一層針上的二十根探針滑行量，探針排 列最左邊與中間探針做比較，中間探針高於最左邊探針的滑行量為 0 ~ 0.0001 mil，

若以探針排列最右邊與中間探針做比較，中間探針高於最右邊探針的滑行量為 0.0007 ~ 0.0021 mil，如圖 3-27 所示。

針測行程上升到 1.5 mil 時，上層探針滑行量大於下層探針，滑行量的差距在 0.09 mil 。進一步分析 Layer 3 、 Layer 4 同一層針上的二十根探針滑行量，探針排 列最左邊與中間探針做比較，中間探針高於最左邊探針的滑行量為 0 ~ 0.0001 mil，

若以探針排列最右邊與中間探針做比較，中間探針高於最右邊探針的滑行量為 0.0022 ~ 0.0026 mil，如圖 3-28 所示。

0.12 0.13 0.14 0.15 0.16 0.17 0.18 0.19 0.2 0.21

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20

探針腳位

滑行量 (mil) _{layer 1}

layer 2 layer 3 layer 4

圖 3-26 四分之ㄧ結構各層針探針滑行量(針測行程0.5 mil)

0.26 0.28 0.3 0.32 0.34 0.36 0.38 0.4

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20

探針腳位

滑行量 (mil)

layer 1 layer 2 layer 3 layer 4

圖 3-27 四分之ㄧ結構各層針探針滑行量(針測行程1.0 mil)

0.4 0.42 0.44 0.46 0.48 0.5 0.52 0.54 0.56 0.58

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20

探針腳位

滑行量 (mil) layer 1

layer 2 layer 3 layer 4

圖 3-28 四分之ㄧ結構各層針探針滑行量(針測行程1.5 mil)

接觸力作分析中，當針測行程 0.5 mil 時，下層探針滑行量大於上層探針，即是 Layer 2 大於 Layer 1；Layer 4 大於 Layer 3，接觸力的差距在 0.17 ~ 0.19 克。進 一步分析 Layer 3 、 Layer 4 同一層針上的二十根探針接觸力變化量，探針排列最 左邊與中間探針做比較，中間探針高於最左邊探針的接觸力為 0 ~ 0.001 克，若以 探針排列最右邊與中間探針做比較，中間探針高於最右邊探針的接觸力為 0 ~ 0.008 克， 如圖3-29 所示。

針測行程1.0 mil 時，下層探針滑行量大於上層探針，接觸力的差距在 0.38 ~ 0.39 克。進一步分析Layer 3 、 Layer 4 同一層針上的二十根探針接觸力變化量，探針排 列最左邊與中間探針做比較，中間探針高於最左邊探針的接觸力為 0 ~ 0.001 克，若

以探針排列最右邊與中間探針做比較，中間探針高於最右邊探針的接觸力為 0 ~ 0.018 克，如圖3-30 所示。

針測行程 1.5 mil 時，下層探針滑行量大於上層探針，接觸力的差距在 0.55 ~ 0.60 克。進一步分析 Layer 3 、 Layer 4 同一層針上的二十根探針接觸力變化量，

探針排列最左邊與中間探針做比較，中間探針高於最左邊探針的接觸力為 0 ~ 0.001 克，若以探針排列最右邊與中間探針做比較，中間探針高於最右邊探針的接觸力為 0

~ 0.028 克，如圖3-31所示。

在單一節距、十個節距、二十個節距、四分之ㄧ結構模擬分析中，上下層針的滑 行量與接觸力差異結果皆相同。而在同一層針會隨著單一探針、十根探針、二十根探 針會有些微的差異變化，而探針的數量增加，影響同一層針排列在最左及最右邊的探 針影響就相對變大，但是整體結構的設計可以改善同一層針上左有兩側的偏差量，這 也是探針卡設計考量的重點之ㄧ。

0.9 0.95 1 1.05 1.1 1.15 1.2 1.25

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 探針腳位

接觸力

( g) _{layer 1}

layer 2 layer 3 layer 4

圖 3-29 四分之ㄧ結構各層針探針接觸力(針測行程0.5 mil)

1.8 1.9 2 2.1 2.2 2.3 2.4 2.5

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 探針腳位

接觸力

( g) _{layer 1}

layer 2 layer 3 layer 4

圖 3-30 四分之ㄧ結構各層針探針接觸力(針測行程1.0 mil)

2.7 2.8 2.9 3 3.1 3.2 3.3 3.4 3.5 3.6 3.7

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 探針腳位

接觸力

( g

)

layer 1 layer 2 layer 3 layer 4 layer 1 layer 2 layer 3 layer 4

圖3-31 四分之ㄧ結構各層針探針接觸力(針測行程 1.5 mil)