4.1 前言
我們將針對 Cp 值較差的機台來做實驗，調整各種不同的參數來得 到不同結論。調整歧管水平位置、調整承載水平、水流量改善、抽風壓 力。
4.2 實驗步驟
我們將觀察實驗後的 7 台的每週 Cp 值，來看 Cp 值有沒有變化。
4.2.1 調整歧管
調整歧管的方法朝 9 點均勻度比較厚的方向去做調整，如圖 4-1 與圖 4-2 所示。
圖 4-1 （a）歧管水平調整方向（b）歧管正視圖
圖 4-2 調整歧管示意圖 (a)原本位置歧管 X 軸向 (b)原本位置歧管 Y 軸向 (c)調整後歧管 X 軸向 (d)調整後歧管 Y 軸向
圖 4-3 為調整歧管前 M/W 7 均勻度。從圖 4-3 看出調整歧管前 M/W 7 均 勻度 差了 120 Å（1596-1476=120）， 調整歧管後均勻度變為 72 Å
（1532-1460=72）。
圖 4-3 (a) 調整歧管前 (b)調整歧管後
表 4-1 為調整歧管前後均勻度比較。表 4-2 為 PU 控制晶圓片(M/W) 調整歧管後每週 Cp 值。由表 4-1 與 4-2 可知調整歧管後 M/W 1~7 均勻 度有變好且 PU-5A 有改善，由第 8 週的 0.5 提升到第 9 週的 1.12。圖 4-4 為其均勻度(M/W) 實驗改善後每週成效。
表 4-1 調整歧管前後均勻度比較
M/W1 M/W2 M/W3 M/W4 M/W5 M/W6 M/W7 Average PU-5A
調整歧管前 41.2 40.2 36.2 31.9 31.4 36.2 76.1 41.89 PU-5A
調整歧管後 40.8 31.3 28.7 26.9 27.8 28.4 63.5 35.34
表 4-2 PU 控制晶圓片(M/W)調整歧管後每週 Cp 值
No. PU 1 week 2 week 3 week 4 week 5 week 6 week 7 week 8 week 9 week 1 PU-1A 2.05 2.27 1.72 2.05 2.02 2.02 2.37 1.77 1.84 2 PU-2A 2.12 2.42 2.71 3.26 3.11 3.11 1.72 2.19 1.68 3 PU-3A 0.7 0.59 0.8 0.76 0.78 0.55 0.87 0.47 0.98 4 PU-5A 0.88 0.78 0.96 0.88 0.72 0.82 0.9 0.5 1.12 5 PU-1B 0.74 0.68 0.7 1.19 0.64 1.29 1.14 1.19 0.85 6 PU-2B 1.71 1.75 1.68 1.82 1.73 1.73 1.75 1.71 1.74 7 PU-6B 1.91 1.70 1.71 1.75 1.68 1.71 1.81 1.96 1.71
圖 4-4 均勻度(M/W) 實驗改善後每週成效
0%
20%
40%
60%
80%
100%
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16
week
M/W均勻度CP
調整歧管水平位置
4.2.2 調整水流量
依照冷卻特性分析，發現溫度也會影響到產品，所以我們調整了水 的流量。水流量大小會影響溫度，如圖 4-5 所示，我們將使用編號 PU-5A 將水的流量調整為每一分鐘流 0.9 公升的水(0.9L/min)。而其他的設備調 整為每一分鐘流 0.5 公升的水(0.5L/min)，如表 4-3 所示。
圖 4-5 水帶走熱量示意圖
表 4-3 調整水流量
PU-2A PU-3A PU-5A PU-1B PU-2B PU-6B Repid（原始值） 4 5 5 5 4 5 Up-Flange 0.5L 0.5L 0.5L->0.9L 0.5L 0.5L 0.5L Shutter（原始值） 1.3 1.1 1.2 1.4 1.3 1.4 Dn-Flange（原始值） 1.3 1.1 1.2 1.3 1.4 1.4
表 4-4 為 PU-5A 調整水流量前後均勻度比較。表 4-5 為 PU 控制
圖 4-6 均勻度(M/W) 實驗改善後每週成效
4.2.3 調整承載水平
此實驗用水平儀來調整承載水平方向，如圖 4-7。
圖 4-7（a）水平儀（b）水平儀在承載上
0%
20%
40%
60%
80%
100%
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16
week
M/W均勻度CP
調整歧管水平位置
調整水流量
圖 4-8 左圖為調整承載水平前後均勻度。從圖 4-8 看出調整承載水 平前 M/W 7 均勻度差了 101Å（1532-1431=101 Å），調整承載水平後均 勻度變為 56 Å（1036-980=56Å）。均勻度有變好。
圖 4-8 左圖為調整承載水平前；右圖為調整承載水平後
表 4-6 為調整 PU-3A 承載水平前後均勻度比較。表 4-7 為 PU 控制 晶圓片(M/W)調整承載水平後每週 Cp 值。由表 4-6 與 4-7 可知調整承載 水平後 M/W 1~7 均勻度有變好且 PU-3A 有改善，CP 值由第 10 週的 1.14 提升到第 11 週的 1.75。圖 4-9 為其均勻度(M/W) 實驗改善後每週成效。
表 4-6 調整 PU-3A 承載水平前後均勻度比較
4.2.4 抽風壓力
利用抽風或進風的壓力來改善均勻度。先進行快速冷卻後，將 PU-5A 此設備機台抽風壓力從負的調整成正的。首先將了解再設備的抽風口及 進風口的位置，如圖 4-10 所示。
圖 4-10 抽風口及進風口位置
首先調整 PU-5A 的設備進風壓力及抽風的壓力，我們將抽風口壓 力從-420PSI 調整為 190PSI，進風口壓力從-0.1 調整為 0，如表 4-8 所示。
表 4-9 為 PU-5A 抽風壓力調整前後均勻度比較。表 4-10 為 PU 控制 晶圓片(M/W)調整抽風壓力後每週 Cp 值。由表 4-9 與 4-10 可知調整承 載水平後 M/W 1~7 均勻度有變好且 PU-3A 有改善，CP 值由第 11 週的 1.24 提升到第 12 週的 1.34。圖 4-11 為其均勻度(M/W) 實驗改善後每週 成效。
表 4-8 調整抽風口壓力
PU-2A PU-3A PU-5A PU-1B PU-2B PU-6B 進風壓力(PSI) 0 0.1 -0.1->0 0 0.2 0 抽風壓力(PSI) -158.1 -346.8 -420.4->190 -387.1 -152.5 -158.1
表 4-9 PU-5A 抽風壓力調整前後均勻度比較
PU-5A M/W1 M/W2 M/W3 M/W4 M/W5 M/W6 M/W7 Average 抽風壓力調整前 39.4 33.2 29.6 29.8 28.2 29.8 66.6 36.66 抽風壓力調整後 26.9 27 27.2 21.9 23 25.1 45.1 28.03 Unit:百分比%
表 4-10 PU 控制晶圓片(M/W)調整抽風壓力後每週 Cp 值
No. PU 1week 2week 3week 4week 5week 6week 7week 8week 9week 10week 11week 12week 1 PU-1A 2.05 2.27 1.72 2.05 2.02 2.02 2.37 1.77 1.84 1.87 2.17 2.06 2 PU-2A 2.12 2.42 2.71 3.26 3.11 3.11 1.72 2.19 1.68 1.71 1.67 2.23 3 PU-3A 0.7 0.59 0.8 0.76 0.78 0.55 0.87 0.47 0.98 1.14 1.75 1.71 4 PU-5A 0.88 0.78 0.96 0.88 0.72 0.82 0.9 0.5 1.12 1.14 1.24 1.34 5 PU-1B 0.74 0.68 0.7 1.19 0.64 1.29 1.14 1.19 0.85 1.68 1.68 1.69 6 PU-2B 1.71 1.75 1.68 1.82 1.73 1.73 1.75 1.71 1.74 1.75 2.01 1.83 7 PU-6B 1.91 1.70 1.71 1.75 1.68 1.71 1.81 1.96 1.71 1.78 1.71 1.85
圖 4-11 均勻度(M/W) 實驗改善後每週成效