第一章 序論
1.1 研究背景
平面液晶顯示器由發展至今，已成生活不可或缺之產品，舉凡在通信、
航太、電腦等科技上，在價格與技術與實用性上皆取代了傳統 CRT，成為 目前新時代顯示產業的霸主。顯示面板產業演變至今，期間也做了許多重 大的改革，例如從六道光罩演進至四道光罩，從虹吸式注入液晶變更為 ODF(液晶滴下)，如此馬不停蹄的演變，實是人類智慧下努力的成果。
一般物質有三種狀態：固態、液態、氣態。在西元 1888 年時奧地利 植物學家 F.Reinitzer 在觀察安息酸膽固醇( cholesterol benzozte ) 的溶解行為時，發現在加熱到 145℃ 會從固體變成一種混濁液狀物，繼 續加熱到 179℃ 才開始變成透明液體。隔年德國物理學家 O.Lehmann 以 偏光顯微鏡觀察此混濁液狀物，發現其具有雙折射效應。經過後來的研究，
科學家們發現此一混濁的液狀物是介於固態和液態之間的相態，稱為液晶。
而液晶成為了現代平面顯示面板中 LCD 電板中最重要的關鍵材料。
近年來通訊業發達，各手機市場、衛星導航、數位相框、Netbook 等 產品如雨後春筍般的開發出來，故小尺寸面板需求也日益增高，受到小尺 寸化的影響，基板上的利用率也需大幅提升，因此壓縮各道製程極限，亦 衍生出各項面板缺陷，而缺陷的根因研究有助於產品品質的提升。
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1.2 研究動機與目的
工作中擔任製程分析，而經歷了中尺寸(17＂、15＂)技術成熟後，逐 漸導入各式各樣的小尺寸，如 10.2 吋的小筆電、7~8 吋的數位相框、4~6 吋的多媒體娛樂器及 1~3 吋的手機。原本從未發生過的缺陷有逐漸浮現的 趨勢。在工廠內最常見到的是機構發塵造成異物掉落，而異物掉落所產生 的痕跡，是較容易用反推及位置特性，驗證方式找出正確機台，另外較為 明顯的缺陷在觀察與根因上較易分析找到根因，很快的就可以進行改善工 程，反觀較困難的分析包含了很多因素：
1.無法很明顯的檢查：在現象上較淡、光源透射後不易區分出差異，
受限於儀器無法精準分析。
2.取樣困難的位置：如框膠內靜電破壞或膜上異物過小，此皆會造成 破壞性拆解的同時，因為不良物體被移動，而無法取得最原始之破壞狀 態。
3.易消失及易再現：如突然產生亮點、亮線或氣泡等不良，在靜置一 段時間之後消失，重新進行判定後不良消失，或此不良因外在條件較嚴苛，
如暫時性溫度較冷、局部性壓力較大或測試時電壓較低，在異常狀況下產 生且可回復的缺陷，稱為假性缺陷。
4.複合因素過多：如 TFT 元件中 Metal 1 與 Metal 2 邊緣有 overlap，
經 PI 轉寫製程及切裂製程後，容易因壓力增高產生 Metal 2 裂縫，最後
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因導電不良而產生整條亮線，此包含到設計餘裕度與製程壓力參數，若產 品在設計期間未能解決時，唯一解決方式則落在製程參數的調整來改善。
這些較難分析的問題點中，我們沒辦法一時之間進行判定，故可以進 行一些實驗來觀查它的變化，如材料變更、製程變更、惡化條件等，並依 各實驗條件結果，來進行推測最可能發生成因。
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