第五章 結論與建議
5.2 建議
1. 本研究乃依照 TFT-LCD 廠製程設備種類,提供『檢測異常設備』之風險值給業界做 為預知保養排程之參考,建議未來除『設備種類』外,另可考慮『設備廠牌』、『設 備年齡』等參數進行統計分析,以利預知保養排程最適化。
2. 本研究評估機台嚴重度之主要依據為設備異常溫升值,建議未來研究能以不同嚴重 度參數進行評估,如產能損失、環境影響等。
3. 使用紅外線熱影像儀進行預知保養,其中檢測結果判讀是最困難的工作之ㄧ,電氣 元件種類、廠牌、負載狀況、絕緣等級均會影響該元件之容許溫度及溫升,因此判 讀時需要對設備有足夠的了解,並需要經驗的累積。有鑒於此,若有程式、軟體能 輔助判讀,定能降低人員失誤的機率。
目前已有研究利用人工智慧進行設備熱故障自動診斷,但大多針對單一設備、
區域,而製程機台之電氣設備由於種類、廠牌、數量繁多,難度相對提升。因此建 議可先挑選一風險較高之設備進行研究,結合設備基本資料、負載狀況等資訊,並 與紅外線熱影像結果自動比對,發展製程設備電氣設備熱故障自動診斷系統,定能 大幅降低電氣設備失效之風險。
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