未來研究方向及建議

1. 在創新管理方面，TRIZ 創新管理提供簡單及循序漸進的方向進行改 善，本文中以 S/N 量化分析品質衝突，找出品質的技術瓶頸，但還 有許多統計方法可以將 TRIZ 的創意加以分析，例如多元回歸分析預 測，可預測創意的模型，進行模擬分析，減少時間與成本。。

2. 在 TRIZ 應用 CMP 方面，本案例分析研究受限於晶圓廠製程配方列 為最高機密之影響。因此所能進行的實驗與瞭解變因有限，雖然利 用 TRIZ 找出製程中的技術瓶頸，但是在其微觀的製程中，仍有許多 變數是我們不瞭解且為本研究尚未探討，例如研磨液配方，不同薄 膜材質研磨終點偵測等影響。這些方面可為後續研究發展的方向。

參考文獻

4 黎正中，穩健設計之品質工程，台北圖書，1993。

5 蕭詠今，TechOptimizer 訓練教材 Version 1.5，May 1999。

二、英文部分

1. Apte, P. R. and D. L. Mann, Taguchi and TRIZ: Comparisons and

Opportunities, The TRIZ Journal, http://www.triz-journal.com/, November 2001

2. Chan, Hsiao-Ling and Shing-Ko Liang, Yield Improvement for Blood Glucose Strip by Taguchi Dynamic Approach , International Journal of the Information Systems for Logistics and Management ,Vol.1, No.1, pp.9-16, 2005.

3. Clarke, D. W. TRIZ , Through the Eyes of an American TRIZ Specialist,A Study of Ideality, Contradictions, Resources, Ideation International, Inc., 1997.

6 Domb, Terninko, E. and J. Miller, The 76 Standard Solutions, with modern Examples–Class Four, The TRIZ Journal, http://www.triz-journal.com/, July, 2000.

4. Grace, F., M. Slocum, and T. Clapp, A New TRIZ Practitioner's Experience for Solving an Industrial Problem using ARIZ 85C: Increasing a Textile Kiss-Coat Operation Speed, The TRIZ Journal, http://www.triz-journal.com/, January 2001.

7 Ideation International , Inc., Ideation International FAQs, http://www.ideationtriz.com/

8 Invention Machine Corporation, TechOptimizer Professional Edition Version 3.01, (Computer Software), 1999.

9 Kosse, Some Limitations of TRIZ Tools and Possible Ways of Improvement, Conceptual and Innovative Design for Manufacturing, ASME, DE-Vol. 103, pp. 111-115, 1999. http://www.triz-journal.com/, June 2000.

10 Leslie, D.r Monplaisir, Rajesh Jugulum and Mahfoozulhag Mian, 1999.

11 Liang. S. K., Y. H. Hung, and K. S. Chen, Using the Signal -to-Noise Ratio

to Evaluate the Tellers' Performance in Banking System , Advances and Application in Statistics, Vol.1, No.2 , pp.133-148, 2001.

12 Liu, C. C. and J. L. Chen, A TRIZ Inventive Design Method without

Contradiction Information, The TRIZ Journal, http://www.triz-journal.com/, September 2001.

13 Mann, D., Assessing the Accuracy Of The Contradiction Matrix For Recent Mechanical Inventions, The TRIZ Journal, http://www.triz-journal.com/, February 2002.

14 Monplaisir, Dr. Leslie Rajesh Jugulum and Mahfoozulhaq Mian, Application of TRIZ and Taguchi Methods:Two case Example,1998.

15 Rovira, N. León and H. Aguayo, A new Model of the Conceptual Design Process using QFD/FA/TRIZ, The TRIZ Journal,

http://www.triz-journal.com/, July 1998.

16 Terninko, J. E. Domb and J. Miller, The 76 Standard Solutions, with modern Examples–Class Five, The TRIZ Journal, http://www.triz-journal.com/, July, 2000.

17 Terninko, J., E. Domb and J. Miller, The 76 Standard Solutions, with modern Examples–Section One, The TRIZ Journal,

http://www.triz-journal.com/, February 2000.

18 Terninko, J., E. Domb and J. Miller, The 76 Standard Solutions, with modern Examples–Class Three, The TRIZ Journal,

http://www.triz-journal.com/, May 2000.

19 Terninko, J., Su–Field Analysis, The TRIZ Journal, http://www.triz-journal.com/, February 2000.

20 Terninko, J., The QFD, TRIZ and Taguchi Connection : Customer– Driven Robust Innovation, The Ninth Symposium on Quality Funcion Deployment, 1997.

21 Terninko, John, Ph.D., The QFD, TRIZ and Taguchi Connection:

Customer-Driven Robust Innovation, 1997

22 Wu, Tzann-Dw., the study of problem solving by TRIZ and Taguchi methodology in automobile muffler designation, 2004

附錄

TRIZ 四十法則與其範例(1999)，而欲改善之特性參數與不要之特性參數 對應而得到之矩陣元素中出現之數字即代表建議之法則，共 40 個法則，其 中摘錄本人中使用原則說明如下。每一法則之後附一取材自 TechOptimizer 軟體之範例。

1.多面性(Universality)

a.具備多功能的物體，可消除對其他物體的需求 範例：取代晶圓的冷卻設備

問題：特殊的晶圓冷卻設備使其製造設備更加複雜且增加成本。

提案：改變製程反應氣體的管路，讓它流經晶圓底部進行冷卻，使原本 僅參與反應的氣體具備多功能，如圖A.1 所示。

圖A.1 取代晶圓的冷卻設備

2.週期性動作(Periodic action)

a.以週期性的動作或脈衝取代連續動作 b.如果已經是週期性的動作，改變它的頻率 c.在脈衝間暫停以提供額外的動作

範例：週期性的鑽孔增加鑽孔效率 問題：鑽孔機一直維持高速不但會 降低效率且耗電量大。

提案：利用週期性的兩段式鑽孔能提高鑽孔效率且減少耗電量，如圖A.2 所示。

圖A.2 週期性的鑽孔增加鑽孔效率

3.將害處轉換為益處(Convert harm into benefit)

a.利用環境上的有害因素或效應以獲得一個正面的效應 b.以加上另一有害因素，移除原有的有害因素

c.增加有害動作的量直到它停止造成傷害 範例：合併的氣體感測器

問題：利用氣體感測器量測時，常會受到溫度與溼度等外界因素 的影響。

提案：加上另一個同樣的參考感測器，便可忽略溫度與溼度的影 響，如圖A3所示。

圖A.3 合併的氣體感測器

4.回饋(Feedback) a.採用回饋

b.如果回饋已存在，將它反轉 範例：延長雷射加工機的壽命

問題：欲使雷射加工機的壽命延長。

提案： 利用一個整合迴路迴授發射之雷射強度大小與供電電流大

小，將電流控制在最小值，且雷射強度又能剛好在需要的 值以上，如圖A.4 所示。

圖A..4 延長雷射加工機的壽命