本研究結果

將四年多來半導體廠，關於尾氣洩漏之異常報告，進行統計分析 可獲知。就查漏程序而言，無論氣體偵測器偵測的附屬機台數為多 少，查漏程序可先由 Clamp、Bellow、pumping 查起。就查漏成本的 最佳化為附屬機台數一台及二台。就查漏時間的最佳化為附屬機台數 一台及二台。就洩漏處理總成本的最佳化為附屬機台數一、二及三 台。附屬機台數不同不會影響修復費用。 附屬機台數不同不會影響 洩漏處理總時間。

滿足查漏成本最佳化、查漏時間最佳化、洩漏處理總成本最佳化的為 附屬機台數 1 及 2 台。若評估器氣體偵測器建置成本、維修、校正等 費用，氣體偵測系統偵測附屬機台數 1 及 2 台做比較，附屬機台數 2 台的成本較 1 台為少，故氣體偵測系統偵測附屬機台數 2 台為最佳化。

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