1.1 研究背景及動機
為因應二十一世紀的全球化挑戰，政府全力推展兩兆雙星計劃，主 要扶持的就是半導體與 LCD 業，以及生物科技與數位內容等新興產業。
也由於高科技廠房的技術門檻、資金需求高，在風險管理及安全的要求 上也不同於一般產業。
但回顧近年來科技業主要風險，除了市場的需求及同業的競爭外，
最常見的就是火災、化學品、毒氣洩漏等災害。其中 2005 的茂迪大火，
不僅使股價立即跌停，更造成一名員工喪命。主要的原因就是矽甲烷氣 體外洩造成火災、爆炸，衍生的不止是法律及財物的損失，更重要的是 投資人的信心，企業形象的受損。在工 安 環 保 意 識 高 漲 的 趨 勢 中 ， 能 快 速 、 有 效 偵 測 到 有 害 氣體的洩漏， 不 僅 能 減 少 、 限 制 污 染 ， 更 能 為 地 球 盡 一 份 心 力 ， 因 此 有 害 氣 體 的 控 制 及 偵 測 也 日 益 重 要 。
就 風 險 管 理 的 角 度 而 言 ， 及 時 發 現 危 害 、 有 效 限 制 異 常 的 發 生 是 一 個 重 要 的 課 題 。 因 此 有 害 氣 體 洩 漏 時 ， 能 快 速 有 效 的 偵 測 到 洩 漏 氣 體 ， 可 以 使 勞 工 在 第 一 時 間 受 到 保 護 ， 免 於 遭 受
勞 工 安 全 衛 生 工 作 ， 減 低 職 業 災 害 的 發 生 。
1.2 研究目的
近年來高科技廠房林立，高科技廠房所使用之有毒、有害氣體甚多，
國內外也發生過多起氣體洩漏造成之人員中毒、火災等意外事故，因此 對於有毒、有害氣體儲存、供應及反應完後之尾氣排放，無論在安全偵 測、防護裝置、都相當重視。隨著時代的演進，氣體偵測系統的軟、硬 體功能已大幅提升。洩漏發生時之安全互鎖、緊急連動，備援裝置也日 趨完善。
有鑑於此，氣體偵測系統對於尾氣的排放偵測扮演著很重要的角 色。及時偵測到洩漏，可保障人員安全及環境污染、減少異味發生，提 供員工一個良好的工作環境。由於產業競爭，各項成本支出無不錙銖必 計，因此對於製程尾氣的監測佈點、人員的查漏費用、方法、尾氣洩漏 處理時間，各項成本與效益的評估將在本文做更深入的研究。
主要具體研究項目可歸納為以下五點:
一、 氣體監控系統架構及系統概念。
二、 尾氣洩漏異常報告資料收集與分析。
三、 查漏程序及洩漏位置統計分析。
四、 尾氣佈點點數最適化。
五、 提供產業及學術界之新建廠房尾氣佈點規劃。
1.3 研究步驟
本研究流程擬分為以下步驟，如圖 1-1。
一、 確認研究目的與主題。
二、 國內外相關文獻蒐集整理。
三、 氣體監控系統概念說明。
四、 尾氣異常報告收集。
五、 整合統計資料。
六、 詮釋及討論。
七、 結論與建議。
圖 1-1 研究流程圖 確認研究目的與主題
國內外相關文獻蒐集整理
氣體監控系統概念說明
尾氣異常報告收集
整合統計資料
詮釋及討論
結論與建議
1.4 論文結構
本研究分為五章，其論文結構如下:
第一章、 緒論:包括研究背景及動機、研究目的、研究步驟與論文論架 構。
第二章、 文獻探討:主要針對半導體廠氣體監測系統、氣體供應流程、及