無vent piping 增加vent piping
(七)針對 TEOS 機台曾發生 Powder 經 Combustor 燃燒後，Byproduct 造成 Cyclone damage 如圖 4-8 所示，目前已在 Pump Exhaust 到 Scrubber Inlet 端安裝 Tape Heater 以解決此問題。並且為了提昇系統的安全性，亦將 PP 材質更改為耐高溫 PVDF 材質。
PP 材質 破洞
PP 材質 破洞
圖 4-7 Drain Tank 增加 Vent Piping 改善圖
圖4-8 Cyclone Damage 照片圖
4.2 Exhaust 結 晶 /阻 塞 之 HazOp 分 析 表
危 害 事 件/狀 況 :
Scrubber Exhaust Piping 結 晶 或 Powder 阻 塞 發 生 頻 率:B 嚴 重 度:3 風 險 等 級:3
可 能 原 因 可 能 危 害/後 果 改 善 建 議/施 行 方 式 防 護 措 施/補 充 說 明 1.Exhaust 抽 風 量 太 大，導 致 將
Scrubber 內 的 Column Nozzle 噴 灑 出 的 水 氣 帶 入 風 管 中 ， 而 間 接 造 成 酸 排 管 腐 蝕 。
2.Unisem 的 Scrubber Wet Column Spray Nozzle 噴 水 量 比 較 大 ， 尤 其 是 第 三 段 灑 水 為 主 要 問 題 ， 造 成 水 霧 直 接 排 放 到 Demister 及 酸 排 管 。 3.Demister 冷 卻 水 效 率 無 法 完 全 達 到 設 定 值 要 求 。
･Scrubber Exhaust 內 易 因 水 氣 問 題 而 產 生 腐 蝕 結 晶 情 形 。
･將 洗 滌 塔 之 Demister 500mm 改 為 810mm， 以 增 加 水 氣 與 Demister 接 觸 面 積、停 留 時 間 。
･Wet Column 第 三 段 原 為 灑 水 裝 置 ， 更 改 成 Air Purge， 以 減 少 水 氣 。
･利 用 Exhaust 上 的 Damper 控 制 抽 風 量 大 小 。
･加 強 人 員 此 區 域 管 路 巡 檢
･對 於 管 路 施 工 人 員 增 加 危 害 通 識 宣 導，廠 內 6S 記 點 。
･此 區 熱 排 管 線 及 環 境 點 皆 有 裝 設 相 關 氣 體 之 氣 體 偵 測 器，並 連 結 至 監 控 中 心 。
･此 區 下 方 地 板 有 設 置 Leak Sensor 偵 測 器 ， 並 將 訊 號 傳 回 監 控 中
4.二 廠 T/F 之 電 熱 水 洗 設 備 ，
8.Scrubber 產 生 水 氣 凝 結 於 的 WRU Module(Filter),能 移 除 大 量 Powder 避 免 阻 塞 Exhaust。
･D-Poly System FDT01~FDT10 更 換 成 Service Module。 扇(Blower)做 Bake Up 用 途 。
11.施 工 人 員 更 換 新 管 時 未 保
14.燃 燒 式 scrubber 氣 體 進 入
4.2.1 Exhaust 結晶/阻塞之改善實例
Local Scrubber 的 Exhaust Piping 氣體溢散的問題有時發生處就像針孔 一般的小，要查到漏源實屬不易，但是許多無色無味的氣體，吸久了對人 體的傷害也是相當大。機台及管線的設計不良導致管路的結晶阻塞，是造 成漏氣的最主要因素。本章節將分為兩部分進行改善案例探討。
(一)由於 CDO 類型的 Local Scrubber 內含有濕式洗滌塔，故經過 CDO 處理 後之廢氣，通常帶有較多的水氣，當參有水氣的廢氣通過管路的低處Flange 時，通常會聚集並凝結成液態產生酸性積水的現象，導致閥件及Flange 處 腐蝕，並產生結晶現象，如圖4-9 所示。
Exhaust Flange Buffer Tank of Bellow
94年3月 94年7月
Exhaust Cap
Exhaust Flange Buffer Tank of Bellow Exhaust Flange 94年3月
94年7月
Exhaust Cap Exhaust Flange
Exhaust Flange Exhaust Clamp
95年3月 95年7月
Exhaust Clamp
Exhaust Flange Exhaust Clamp Exhaust Flange 95年3月
95年7月
Exhaust Clamp Exhaust Flange
圖 4-9 Exhaust Flange 及 Clamp 結晶腐蝕狀況
改善方式為將該區域 Exhaust Piping 相對低處分段加設 Drain Port 數 量，並增設 Drain 管水封(透明管)方式加以監測Ｅxhaust 內水氣，再將增設 之Ｄrain 管連接至Ｌocal Scrubber 的 Over Flow Port，利用Ｓcrubber 內 Drain tank 的 Drain Pump 抽至廠務端廢水場，最後在 Drain 管設製呼氣閥，使廢 水能順利以重力流方式向下流，同時避免回灌時影響Scrubber。改善圖例如 4-10 所示。
由此可以看 出管內的液 位，及目前 管內廢水水 量，同時，
由液面高低 可以判斷酸 排風管抽負
壓狀況。 從此處可以
看出廢液是 否正常排入 廢水管內，
前端水封有 無阻塞情形
圖 4-10 Acid Exhaust 積水問題及水封改善照片
(二)另針對部分 Scrubber 之 Pumping Line 與 Main Exhaust 銜接處，僅以 Silicon 塗抹銜接處，導致 SUS-Exhaust 銜接 Main 管處結晶，氣體溢散至環 境中情形。其改善方案為在每個管路銜接處增設基座，予以改善氣密接頭，
後續觀察結果效果良好。圖4-11 為增設基座圖例。
改善前 ZZ272、ES002、ZZ273、ES001、ZZ187的Acid Exhaust管路銜接處
產生處
1 2 3 4 5
1ZZ272-S 2ES001-P 3ZZ273-S 5ES002-P
4ZZ187-S
ZZ272、ES002、ZZ273、ES001、ZZ187的Acid Exhaust管路銜接處 改善前
圖4-11 原管路位置已拆除，移至右下圖中位置
上述改善案例均以探討SUB-Mail 及 Acid Exhaust 為主，下列改善對策 則是直接針對源頭加以改善，以減少氣體洩漏的風險。
(三)Unisem Scrubber 後段水氣問題改善方案，如圖 4-12 所示:
對於Wet Column 部份改善灑水問題，尤其是第三段灑水為主，將其改為 Air Purge 方式降低水霧直接排放到 Demister 及 Acid Exhaust，又利用 Air Purge 方式降低 Wet Column 之內部溫度以降低相對濕度，達到水氣凝結效
Powder產生處
1 2 3 4 5
1ZZ272-S 2ES001-P 3ZZ273-S 5ES002-P
4ZZ187-S
Powder
改善後
ZZ272、ES002、ZZ273、ES001、ZZ187的Acid Exhau廢氣排放方向
1 2 3
4
5
果減少水氣問題。而對於Demister 部份則有兩種改善方式:
1.增加水氣與 Demister 接觸面積，將 Demister 原高為 500mm 改為 810mm，
此高度尺寸不影響機台安裝。
2.增加水氣與 Demister 滯留時間，Demister 底部放置 Packing 增加卻水效應。
Water
(四)針對 Diffusion Furnace 而言，目前 Edwards Scrubber 使用的 Filter 屬於 WRU(Water Re-Circulation Unit)裝置，其是利用離心力的原理，將 Powder 集中在中間，再由下方水管將Powder 及少部分的水，排至廠務端，而大部 分的水則循環到機台內部繼續使用。但目前使用於SIN 與 TEOS 製程時，
Filter 阻塞問題嚴重，遂進行更換為 Hydro Cyclone 取代原先的 WRU Module (filter) ，更換後發現 Hydro Cyclone 能有效移除大量 Powder，避免阻塞 Exhaust Piping 和延長 PM 周期，目前使用在 TEOS / SIN / Poly 製程機台。
改善情況如圖4-13。其優點為不需使用 Filter 可省下 Filter 一年 2 萬 6 千費 用，阻塞機率很小只要定期PM，用水量只需 liter/min。