玻璃基板製程

整個玻璃基板的制程中，主要技術包括進料、薄板成型及後段加工三部分，其中進料 技術主要控制於配方的好壞，首先是在高溫的熔爐中將玻璃原料熔融成低黏度且均勻的 玻璃熔體，不但要考慮玻璃各項物理與化學特性，並需在不改變化學組成的條件下，選 取原料最佳配方，以便有效降低玻璃熔融溫度，使玻璃澄清，同時達到玻璃特定性能，

符合實際應用之需求。而薄板成型技術則攸關尺寸精度、表面性質和是否需進一步加工 研磨，以達成特殊的物理、化學特性要求，後段加工則包含玻璃之分割、研磨、洗淨及 熱處理等制程。到目前爲止，生産平面顯示器用玻璃基板有三種主要之制程技術，分別 爲浮式法（Float Technology ）、流孔下引法（Slot Down Draw）及溢流熔融法

（Overflow Fusion Technology）。

1. 浮式法（Float Technology ）：爲目前最著名的平板玻璃製造技術，該法系將熔爐中 熔融之玻璃膏輸送至液態錫床，因黏度較低，可利用檔板或拉杆來控制玻璃的厚度，隨 著流過錫床距離的增加，玻璃膏便漸漸的固化成平板玻璃，再利用導輪將固化後的玻璃 平板引出，再經退火、切割等後段加工程式而成。以浮式法生産超薄平板玻璃時應控制 較低之玻璃膏進料量，先將進入錫床的玻璃帶（Ribbon）冷卻至 700℃左右，此時玻璃 帶的黏度約爲108 泊（ Poise；1 泊= 1 g / c m·s e c），再利用邊緣滾輪拉住浮於液態錫上 的玻璃膏，並向外展拉後，再將玻璃帶加熱到850℃，配合輸送帶滾輪施加外力拉引而 成，以浮式法技術拉制超薄平板玻璃如圖 5 所示。

2. 流孔下引法（Slot Down Draw）： 就平面顯示器所需的特殊超薄平板玻璃而言，有不 少廠商是使用流孔下引法技術生産，該法系以低黏度的均質玻璃膏導入鉑合金所製成的 流孔漏板（ Slot Bushing ）槽中，利用重力和下拉的力量及模具開孔的大小來控制玻璃之 厚度，其中溫度和流孔開孔大小共同決定玻璃産量，而流孔開孔大小和下引速度則共同 決定玻璃厚度，溫度分佈則決定玻璃之翹曲，以流孔下引法技術拉制超薄平板玻璃如圖 6 所示。

圖 6 流孔下引法（Slot Down Draw）

3. 溢 流 熔 融 法 （ Overflow Fusion Technology ）： 採 用 一 長 條 型 的 熔 融 幫 浦

（Fusion Pump ），將熔融的玻璃膏輸送到該熔融幫浦的中心，再利用溢流的方式，將兩

股向外溢流的玻璃膏於該幫浦的下方處再結合成超薄平板玻璃。利用這種成型技術同樣 需要借重模具，因而熔融幫浦模具也面臨因受機械應力變形、維持熔融幫浦水平度及如 何將熔融玻璃膏穩定打入熔融幫浦中的問題。因爲利用溢流熔融法的成型技術所作成的 超平板玻璃，其厚度與玻璃表面的質量是取決於輸送到熔融幫浦的玻璃膏量、穩定度、

水平度、幫浦的表面性質及玻璃的引出量。

熔融溢流技術可以産出具有雙原始玻璃表面的超薄玻璃基材，相較於浮式法（僅能 産出的單原始玻璃表面）及流孔下拉法（無法産出原始玻璃表面），可免除研磨或抛光 等後加工制程，同時在平面顯示器製造過程中，也不需注意因同時具有原始及與液態錫 有接觸的不同玻璃表面，或和研磨介質有所接觸而造成玻璃表面性質差異等，已成爲超 薄平板玻璃成型之主流，如圖 7 所示。。

圖 7 溢流熔融法（Overflow Fusion Technology）[資料來源：NEG 公司]