本研究利用FTIR 進行光電業與半導體業常見的四種揮發性有機物 PGMEA、ACE、PGME 與 IPA 分析方法之建立，並利用 ATD/GC/FID 進 行結果之比對，總結本次研究結論如下：
一、利用FTIR 與 ATD/GC/FID 進行同時量測，並將量測結果進行比 對，研究結果顯示兩種分析方法沒有差異，即FTIR 與 ATD/GC/FID 兩種 量測方式有良好的一致性，另外，本研究中所使用之FTIR 準確度介於 85-115%，精密度小於 3 %，再現性良好；此研究結果表示在本研究中利 用FTIR 進行量測之方法具有可行性。
二、本研究中進行量測時抽氣泵之流速不會影響量測結果，在長時 間的量測下四種化合物未有吸附之效應，而在本研究中藉由比爾定律的 方式求得吸收係數，並証明了在本研究中使用CLS 的方式可行。
三、空氣中之相對濕度達 60%時，ACE 濃度在 0.91 ppm 以下時會對 量測造成影響，而本研究中其他三種物質不會有影響。但在濃度為10 ppm 時溼度對四種化合物皆未有量測時之差異。
四、本研究在實驗室中進行參數探討，濕度方面由於零級空氣產生 系統所產生之標準氣體相對溼度為23±2%，而在室內之溼度約在 60%，
因此，本研究所進行之溼度測試僅至於相對溼度為60%，故當作業現場 之相對溼度高於60%時，已得知 ACE 會有量測誤差而 PGMEA、ACE、
PGME 則需再進一步進行探討。
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