第六章 第六章 結論與建議 結論與建議 結論與建議 結論與建議
本研究藉由實際案例以灰關聯分析為出發點，經由多元迴歸的方式，建構各 製程區域的依變數與自變數，由此尋找出適當的空間尺度模式。
第一節 結論
本研究之研究結論如下：
一、透過灰關聯分析法，得知半導體廠房各製程區域，其水平空間與垂直空間影 響其關聯度的因子，並因其各製程區域需求的不同，得到在各製程區域空間 上其偏重的因子。
二、將灰關聯分析獲得的關聯度因子經由多元迴歸的方式，建構各製程區域空間 其獨特的方程式，建立各自的依變數與自變數。若自變數因子管徑尺度或機 台尺度有變更設計時，則變動依變數的建築廠房最小建議高度，使建築師、
各承包商、業主能夠迅速掌握資訊的流動以降低修改的成本。
三、本研究以四家半導體廠廠務系統與其對應的建築空間為案例，經由方法論各 步驟的推導，建構出半導體廠房的最小建議高度。雖然無法達及最低樣本量
（30 筆），但盡量用現有的資料建構與解析其建築空間尺度，以提供業主未 來在規劃新建或改建半導體廠時，能將自家資料合併本研究資料建構出合宜 的方程式，作為在規劃設計半導體廠建築空間尺度時的參考。
四、本研究在專家訪談中獲知，越是有建廠經驗的業主或者承包商，能依照其經 驗的累積，在建築空間尺度上會提高其垂直尺度，或者採用動態模擬的方式
，預知探討現場空間尺度不足之處。
第二節 建議
在整各研究過程中，仍有未盡完善之處，建議後續之研究可往此方向著手，
使半導體廠房空間之研究更加透明，建議如下：
一、本研究以選擇整廠規劃完整的廠務系統對應其建築空間案例為主，但是對於 目前多數的半導體廠廠務系統，採用漸進式的規劃方式。建議後續者可將此 種型態的規劃方式與其建築空間尺度進行探討，或是比對規劃完整式與漸進 式規劃的成本優劣之探討，以建構出台灣半導體廠房建議規劃方式。
二、本研究以廠務設施的觀點，進行廠房尺度的探討，但是未及深觸探討設備機 台尺寸與建築空間尺度的對應性。建議後續者可以各製程區域的設備機台尺 寸進行探討，運用迴歸的模式建立區各製程區的變動高度，以另一角度建構 半導體廠房的尺度建議。
文獻參考資料 文獻參考資料 文獻參考資料 文獻參考資料
論文：
01.李偉文，2000 年，半導體廠房採購發包與施工規劃之研究─以新竹科學園區 半導體相關廠房為例，台灣大學，土木工程學系。
02.徐嘉立，2005 年，全面廠務服務方案之研究─以半導體產業為例，清華大學
，高階主管經營管理碩士專班。
03.郭明祥，2005 年，高科技廠房統包工程之執行面缺失與設計作業間關聯性之 探討，交通大學，土木工程學系。
04.黃聖欽，2005 年，營造業聯合承攬關鍵成功因素之研究─以高科技廠房為例
，中華大學，營建管理學系。
05.黃承傳，2001 年，輕軌運輸系統路網規模與都市特性關係之研究，交通大學
，交通運輸學系。
06.張書萍，2002 年，高科技廠房營建工程特性之調查與分析，交通大學，土木 工程學系。
07.莊秉元，2005 年，工地管理人力規劃之研究─以學校建築工程為例，高雄第 一科技大學，營建工程學系。
08.溫修慧，1994 年，以灰色理論評定焚化場環境影響評估各項環境因子影響程 度之研究，朝陽科技大學，環境工程與管理學系。
09.楊坤地，2005 年，建構新建半導體廠廠務工程專案管理流程之研究─以某半 導體 12 吋廠實證研究，清華大學，工業工程與工程管理學系。
10.劉品蘭，2003 年，八吋半導體廠房升級為十二吋半導體廠房之改善型工廠佈 置─以半導體 A 廠蝕刻區為例，中原大學，工業工程學系。
11.劉弻民，1999 年，積體電路製造廠房建築計畫之研究─以新竹科學工業園區 為例，中華大學，建築與都市計畫學系。
12.璩宏裕，2006 年，中央健保局財務風險預測模式之建立─灰預測理論之應用
，朝楊科技大學，保險金融管理學系。
13.顧峻魁，1999 年，新竹科學園區廠房形式之研究，台灣科技大學，工程技術 研究所。
14.謝壽明，2002 年，同步工程設計模式之建立─以半導體廠廠務系統設計為例
，交通大學，土木工程學系。
書籍：
01.江金山、吳佩玲、蔣祥第、張廷政、詹福賜、張軒庭、溫坤禮 合箸，1998 年
，灰色理論入門，高立圖書有限公司。
02.吳明隆 編著，2003 年，SPSS 統計應用學習實務，知城數位科技股份有限公 司。
03.林利國 總編輯，2003 年，科技廠房防災與知識管理，科技圖書。
04.陳希仁 計畫主持人，1999 年，半導體廠製成排氣系統設計，中興工程顧問社
。
07.馮正民、邱裕鈞 著，2004 年，研究分析方法，建都文化事業股份有限公司出 版。
08.顏登通，1995 年，潔淨室設計與管理，全華科技圖書股份有限公司。
期刊：
01.王維志、林俊昌、蕭開元，2005 年，高科技廠房工程之防災節點探討，中華 建築學刊，第 1 卷第 1 期，頁 15-24。
02.李文錦，1996 年，半導體工廠之建築計畫，電子月刊，第 2 卷第 6 期，頁 121-126
。
03.李岱穎，2005 年，建廠/擴廠之策略評估設計規劃與管理執行，電子月刊，第 11 卷第 12 期，頁 134-145。
04.李豫弘、楊偉智、李政叡、徐幸一、龔輝青、楊雲凱，2003 年，半導體廠務 系統介紹，電子月刊，第 9 卷第 12 期，頁 94-115。
05.林永芬，2002 年，高科技廠新建廠房的風險管理，環保月刊，第 2 卷第 10 期
，頁 121-129。
06.林金穗，2005 年，高科技產業風險管理實務，化工技術，第 13 卷第 2 期，頁 137-144。
07.官大誠，1999 年，半導體廠消防安全系統設計，電子月刊，第 5 卷第 9 期，
頁 188-192。
08.陳勝朗，2002 年，設廠計畫之可行性評估，化工技術，第 10 卷第 5 期，頁 132-138。
09.莊成貴，2002 年，建廠工程成本估算，化工技術，第 10 卷第 5 期，頁 140-151
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10.楊智斌、李雨澤，2002 年，高科技廠商建廠過程業主端之時程控管現況分析
，現代營建，276 期，頁 51-57。
11.鄭奕孟，2001 年，台灣高科技電子廠房施工問題之探討，土木水利，第 27 眷 第 4 期，頁 102-112。
12.賴榮平，2000 年，建築與設備工程界面之整合，土木技術，第 3 卷第 5 期，
頁 79-87。
13.閻克勤、曾國雄、林楨家，2005 年，海岸濕地永續管理之績效標準準則建立 之研究：以灰色關聯分析應用在指標之選擇，都市與計畫，第 32 卷第 4 期，
頁 421-441。
14.蘇恆立、余榮彬，2001 年，影響半導體工業的法規與標準，環保月刊，第 1 卷第 3 期，頁 191-193。
網站
01.明台保險公司相關半導體法規介紹，2007 年。
http://www.mingtai.com.tw/life_n2_3.asp。
02.台灣建築師公會（台灣建築全球資訊網），2007 年。
http://www.taa.org.tw/front/jianheji5.php。
附錄一 附錄一 附錄一 附錄一
本研究訪談曾經參與建廠的工程專家，幫忙協助對於各系統的加權比重與各 製程區域空間的說明，並請專家協助派人填寫問卷，收集實際案例的現場管徑資 料。
專家訪談受訪者經歷與專長資料表
名稱 職稱 工作經驗 主要專長領域
專家一 A 小姐 某建廠廠商
承包商經理 十年
台灣與大陸半導體廠房廠務主 系統與二次配規劃設計，另精 通於光電廠、太陽能廠。
專家二 B 小姐 某建廠廠商
承包商課長 七年 台灣半導體廠房整體二次配規 劃設計。
專家三 C 先生 某建廠廠商
承包商主任 八年 台灣與大陸半導體廠房廠務主 系統規劃設計。
專家四 D 先生 某建廠廠商
承包商工程師 四年 台灣半導體廠房整體二次配規 劃設計。
附錄 附錄 附錄 附錄二 二 二 二
你好！
首先十分感謝各位百忙之中作答，並敬請不吝賜教。
本研究是以半導體晶圓廠製程排氣系統管徑尺度對應廠房空間高度關聯性的探 討為主，以作為日後相關廠房的改建與新建的空間尺度建議。
此外本問卷的結果，其目的將以電腦做數字分析處理，你所提供的資料，決不對 外洩露。
希望各位能了解這份問卷的宗旨，提供我們你最誠摯的協助。
2006 年 11 月 中華大學建築與都市計畫研究所 405 研究室 指導老師：謝偉勳 副教授 研究生：吳心玫
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基本資料卡
請針對以下問題，客觀地圈選出一個答案。
問 1. 請問目前服務規劃設計的半導體廠房為?
1.□8 吋廠房 2.□12 吋廠房
問 2. 請問該廠房建廠的年限?
1.□1990 10.□1999 2.□1991 11.□2000 3.□1992 12.□2001 4.□1993 13.□2002 5.□1994 14.□2003 6.□1995 15.□2004 7.□1996 16.□2005 8.□1997 17.□2006 9.□1998 18.□2007 問 3. 請問該廠房規劃設訂的月產量?
1.□3000～5000 10.□30000～32000 2.□6000～8000 11.□33000～35000 3.□9000～10000 12.□36000～38000 4.□12000～14000 13.□39000～41000 5.□15000～17000 14.□42000～44000 6.□18000～20000 15.□45000～47000 7.□21000～23000 16.□48000～51000 8.□24000～26000 17.□52000～54000
問 4. 請問該廠房規劃設計的配管方式為?
1. □TYPE I 2. □TYPE II
問 5. 請問該廠房規劃設計的 Fab 類型?
1.□兩層式的 FAB → 請直接跳到問 6 作答 2.□三層式的 FAB → 請直接跳到問 8 作答 3.□多層式的 FAB → 請停止作答
問 6. 請問該兩層式 FAB 廠房規劃設計的空間樓層高度?
CLEAN SUB-FAB _____________mm 機台維修空間_____________mm SUB-FAB__ ___________mm 機台維修空間_____________mm FAB____ _________mm
ROOF ___ __________mm
問 7. 請問該兩層式 FAB 廠房規劃設計各區域主系統製程排氣管徑尺寸?
GEX-EXHAUST（一般氣體排氣） 單位：mm DIFF
管徑尺寸
ETCH 管徑尺寸
TF 管徑尺寸
PHOTO 管徑尺寸 CLEAN SUB-FAB
SUB-FAB
SEX-EXHAUST（酸性氣體排氣） 單位：mm DIFF
管徑尺寸
ETCH 管徑尺寸
TF 管徑尺寸
PHOTO 管徑尺寸 CLEAN SUB-FAB
AEX-EXHAUST（鹼性氣體排氣） 單位：mm DIFF
管徑尺寸
ETCH 管徑尺寸
TF 管徑尺寸
PHOTO 管徑尺寸 CLEAN SUB-FAB
SUB-FAB
VEX-EXHAUST（揮發性氣體排氣） 單位：mm DIFF
管徑尺寸
ETCH 管徑尺寸
TF 管徑尺寸
PHOTO 管徑尺寸 CLEAN SUB-FAB
SUB-FAB
問 8. 請問該三層式 FAB 廠房規劃設計的空間樓層高度?
CLEAN SUB-FAB _____________mm 機台維修空間_____________mm SUB-FAB__ ___________mm 機台維修空間_____________mm FAB____ _________mm
ROOF ___ __________mm
問 9. 請問該三層式 FAB 廠房規劃設計各區域主系統製程排氣管徑尺寸?
GEX-EXHAUST（一般氣體排氣） 單位：mm DIFF
管徑尺寸
ETCH 管徑尺寸
TF 管徑尺寸
PHOTO 管徑尺寸 CLEAN SUB-FAB
SUB-FAB
SEX-EXHAUST（酸性氣體排氣） 單位：mm DIFF
管徑尺寸
ETCH 管徑尺寸
TF 管徑尺寸
PHOTO 管徑尺寸 CLEAN SUB-FAB
SUB-FAB
AEX-EXHAUST（鹼性氣體排氣） 單位：mm DIFF
管徑尺寸
ETCH 管徑尺寸
TF 管徑尺寸
PHOTO 管徑尺寸 CLEAN SUB-FAB
SUB-FAB
VEX-EXHAUST（揮發性氣體排氣） 單位：mm DIFF
管徑尺寸
ETCH 管徑尺寸
TF 管徑尺寸
PHOTO 管徑尺寸 CLEAN SUB-FAB
SUB-FAB