VEX → GEX

五、小結

本研究以機台設施需求的廠務系統觀點，來探討各製程區域的空間尺度發現

，在SUB-FAB（或CLEAN SUB-FAB）空間，其水平的空間量影響因子為：

表4-7 各製程區域影響其水平空間的廠務關聯度因子順序

水平 關聯度1 關聯度2 關聯度3 關聯度4 關聯度5 關聯度6

DIFF E-GEX PCW B-PN2 E-AEX SG E-SEX

ETCH DRAIN E-VEX CH B-PN2 E-AEX B-CDA

TF E-GEX SG E-SEX B-PN2 PCW

PHOTO B-CDA E-VEX E-GEX CH

其中SG與CH供應系統在主系統供應尾端上由原來的油管路系統轉變為箱 體系統，在SUB-FAB區域內架設供應箱體：VMB / VMP與CHEMICAL BOX， 其供應箱體愈多則容易與該製程區域附屬機台的需求空間有所衝突，其中附屬機 台多的區域為：爐管區（DIFF）、蝕刻區（ETCH）、薄膜區（TF）。

但由於水平空間量大小決定是由FAB內主機台產量規劃所佔有的面積有直 接關係，並不能由其影響因子多寡去決定該區域的水平空間量大小，因此才會形 成爐管區（DIFF）、蝕刻區（ETCH）、薄膜區（TF）的SUB-FAB（CLEAN SUB-FAB

）水平空間量呈現密集，而黃光區（PHOTO）水平的空間量呈現鬆空。

在SUB-FAB（或CLEAN SUB-FAB）空間，其垂直的空間量影響因子為：

表4-8 各製程區域影響其垂直空間的廠務關聯度因子順序

垂直 關聯度1 關聯度2 關聯度3 關聯度4

DIFF E-SEX E-GEX E-AEX

ETCH E-VEX E-AEX E-SEX E-GEX

TF E-SEX E-GEX

PHOTO E-VEX E-GEX

本研究分析出EXHAUST供應系統為各製程區域影響垂直空間的共同因子

，同在專家訪談中認為最具影響垂直空間尺度是為EXHAUST系統。但因其各 製程區域需求的不同，在各製程區域空間上有其偏重的其他因子。DIFF區空間 偏重關聯度其他因子有E-SEX、E-GEX、E-AEX；ETCH區空間偏重關聯度其他 因子為E-VEX、E-AEX、E-SEX、E-GEX；TF區空間偏重關聯度其他因子有E-SEX

、E-GEX；PHOTO區空間偏重關聯度其他因子有E-VEX、E-GEX。

因此本研究後續運用多元迴歸的方式，在各製程區域空間高度探討時，依照 其製程區域加入影響的其他關聯度因子（自變數），探討各區域需求的高度（依 變數），但因為廠房高度是屬於一致化，因此這四各製程區域的最大的高度，就 為建議廠房在SUB-FAB或CLEAN SUB-FAB樓層的最小建議高度。

第五 第五

第五 第五章 章 章 多元 章 多元 多元 多元迴歸 迴歸 迴歸建構空間高度 迴歸 建構空間高度 建構空間高度 建構空間高度

運用上個章節分析出各製程區域影響其空間高度的廠務因子，並藉由問卷收 集（附錄二）這四家廠房其空間高度與該影響因子的管徑尺度，運用SPSS系統 進行多元迴歸公式，建立空間高度的模式。

第一節 數據整理

表5-1為彙整這四家廠房高度與其廠務影響因子的管徑資料，其中廠務系統

的配置以SUB-FAB與CLEAN SUB-FAB樓層為主，但是風管系統僅配置在其中

一個樓層，所以本研究分為四各階段計算：

第一階段：先將配置廠務系統空間的各樓層區分為：第一部分是有風管系統 配置總空間一，將其空間高度劃分為機台高度一與廠務高度一；

第二部份是非風管系統配置總空間二，其空間高度劃分為機台高 度二與廠務高度二。

第二階段：再將廠務高度一與廠務高度二，進行多元迴歸計算，建構出兩者 廠務高度空間之間的係數關係。

第三階段：將風管系統影響因子與四個製程區域的廠務高度一進行多元迴歸 計算，計算出各製程區域的空間模式。

第四階段：合計第二階段與第三階段的多元迴歸方程式，為廠房在SUB-FAB

與CLEAN SUB-FAB樓層的最小建議高度。

表5-1 廠房高度與廠務影響因子管徑資料表

單位：mm 因子一 因子二 因子三 因子四 8-A廠的資料整理 樓層高度各製程區域