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結論與未來展望

本章節係對前述章節的實驗結果,進行統整分析及比較。首先對各材料 的不同放電電源之火花腐蝕能力,進行比較,並推估出多重「電阻-電容」

放電電源的火花腐蝕能力的方程式。接續,對各材料的不同放電電源之切割 效能,進行分析比較。然後再對使用不同放電電源切割後的材料,進行析出 物的比較與分析。最後總結出本論文的研究成果,並針對其貢獻進行陳述。

6-1 多重「電阻-電容」放電電源之火花腐蝕能力(SEA)探討

本研究以多重「電阻-電容」放電電源、單「電阻-電容」放電電源及電 晶體放電電源,分別對多種材料,包括:鋁、銅、鎢、導電陶瓷及含硼聚晶 鑽石(依熔點高低),進行微細線切割放電加工的火花腐蝕能力比較,如圖6-1 所示。所有材料皆以單「電阻-電容」放電電源火花腐蝕能力最好,主要是 因為多重「電阻-電容」放電電源頻率高,使每發放電不一定都對工件進行 加工,因此單位庫倫電荷之金屬移除量較單「電阻-電容」放電電源低;而 電晶體放電加工電源則無法產生尖峰放電電流,使每庫倫電荷的金屬移除率 無法提升。若只探討本研究開發的多重「電阻-電容」放電電源,對5種材料 的火花腐蝕能力,如圖6-2所示,依熔點高低排列,其火花腐蝕能力呈指數 曲線關係。當熔點越低,其火花腐蝕能力越高。本研究依實驗所獲得的火花 腐蝕能力趨勢圖,運用熔點推估出火花腐蝕能力值;只對高熔點的難切削材 料而言,則可運用熔點推估出更精準的火花腐蝕能力值。此圖主要目的在:

當其他非此5類金屬被所開發的多重「電阻-電容」放電加工電源切割加工時,

提供推估其火花腐蝕能力,再由此火花腐蝕能力,轉換到最佳切割進給率(非

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伺服電壓模式控制下),如式6-1所示。所以,當被切材料已知其熔點時,便 可由下述曲線關係,使用最佳的切割進給速率,以提高其切割速度。

F=3×SEA (6-1)

其中,SEA為火花腐蝕能力, M.P.為切割材料的熔點, F為最佳切割進給率(非 伺服電壓模式控制下)

(a) 金屬移除率比較 (b) 火花腐蝕能力比較 圖 6-1 三種放電電源對各種材料之金屬移除率與火花腐蝕能力比較

(a) 5種材料的火花腐蝕能力比較 (b) 難削材料的火花腐蝕能力比較 圖 6-2 多重「電阻-電容」放電電源對各種材料之火花腐蝕能力比較

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6-2 多重「電阻-電容」放電電源切割效能(C

P

)探討

如前所述,本研究定義之「精微放電加工切割效能評估準則(Cutting performance assessment criterion)」,係指該電源的本身所產生的單位時間金 屬移除量與其表面粗糙度及放電間隙之比值。所以,若將所開發的多重「電 阻-電容」放電電源與其他放電電源,對上述 5 種材料的切割效能進行比較,

如圖 6-3 所示,對於電晶體放電電源而言,因單發放電的能量均較「電阻-電容」放電電源來得大,雖可使放電加工速度增快,但卻讓表面粗糙度變粗 及放電間隙變大;而在單「電阻-電容」放電電源中,雖可獲致良好的表面 粗糙度,不過因電容器需有足夠充放電時間,致使充放電的時間增加,放電 頻率不如電晶體放電電源(衝擊係數低)來得高,換句話說,相同放電能量下,

單位時間的材料移除量低,切割效能無法提升;反之,以本研究開發的多重

「電阻-電容」放電電源加工,對單位時間的材料移除量而言,雖無法媲美 電晶體放電電源,但比起單「電阻-電容」放電電源,最快的單位時間的材 料移除量可達 2 倍以上;在表面粗糙度表現方面,更比其他放電加工的電源 好,遂能有效提升其切割效能,達到本研究所需高效能精微放電加工功效。

圖 6-3 三種放電電源對各種材料之切割效能比較

170

6-3 不同放電電源對切割金屬的析出物(鈷)的影響

由於放電電源不同,線切割放電加工過程中,所施予材料的能量亦隨之 而異。因此,火花放電後材料表層的組織結構也可能因金屬燃燒的能量不同 而不同,故本章節以能量分析光譜儀(Energy dispersive X-ray spectrometry, EDS)分析上述三種高熔點高硬度難削材料---碳化鎢、導電陶瓷及含硼聚晶

171 放電電源來得低,所以放電能量在切割金屬的表面熱影響(Heat affecting)方 面也較少,因此鈷的析出量也較低,對於上述三種材料的強度影響,自然比

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(a) 原始材料 (b) 單「電阻-電容」放電電源

(c) 多重「電阻-電容」放電電源 (d) 電晶體放電電源 圖 6-4 不同放電電源對碳化鎢切割後的金屬析出物(鈷)的影響

(a) 原始材料 (b) 單「電阻-電容」放電電源

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(c) 多重「電阻-電容」放電電源 (d) 電晶體放電電源 圖 6-5 不同放電電源對導電陶瓷切割後的金屬析出物(鈷)的影響

(a) 原始材料 (b) 單「電阻-電容」放電電源

(c) 多重「電阻-電容」放電電源 (d) 電晶體放電電源 圖 6-6 不同放電電源對含硼聚晶鑽石切割後的金屬析出物(鈷)的影響

174

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高熔點的碳化鎢材料,則可提高至2倍的切割速度。

e). 本研究開發之多重電阻電容放電電源,經多次實驗,證實,其所加工出 的溝槽其尺寸公 差可達±0.5µm。而最佳的加工表面粗糙 度更可達Ra 0.14µm以下。

6-4-2 本研究貢獻

a). 本研究成功研發出多重「電阻-電容」放電電源,放電頻率及切割進給率,

分別可達原單「電阻-電容」放電電源的3倍及2倍以上。

b). 經實驗證實,本研究開發之多重「電阻-電容」放電電源較單「電阻-電 容」放電電源表面粗糙度,可改善60%以上;而尺寸精度可維持與單「電 阻-電容」放電電源相同,其誤差值在±0.5 μm內。

c). 實驗證實,多重「電阻-電容」放電電源之放電時間極短,極間恢復絕緣 時間極快,材料熱影響區少,故金屬析出物極低。

d). 本研究提出線切割放電加工電源之「精微放電加工切割效能評估準則 (Cutting performance assessment criterion)」,當工件切割的面粗度值愈小、

放電間隙越小或金屬移除率愈大時,表示切割效能Cp值愈大,意味著此 一放電電源的切割效能愈好。

e). 在已知材料熔點條件下,若使用本研究開發的多重「電阻-電容」放電電 源,則透由火花腐蝕能力曲線轉換,可獲得被切材料的最適切割進給率。

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6-5 未來展望

本研究開發之多重電阻電容放電電源,研究初步已針對多種材料進行切 割加工,並得到良好的加工成果,不過尚有諸多問題有待改善,未來可朝下 列幾點持續進行研究:

a). 電路元件的選用:本研究在所選用的電晶體雖可達到一定的切換速度,

但如可尋找到更快且更耐高壓的電晶體,可使本研究開發之電源具有更 快的切換,以達到更小能量更高頻率的放電加工。

b). 電容的改變:本研究開發之電源,可有效將較大電容轉以較小的電容,

但卻不使加工進給率下降。可運用此特性,以多顆較小的電容配合純水 加工,利用小能量的放電,降低水的熱漲冷縮現象,避免斷線。

c). 即時檢測:本研究開發之電源在放電加工過程中,並無即時檢測系統,

使本研究在實驗時,求得進給率為最保守參數,如可設計出即時的檢測 系統,可使放電加工過程中更為順暢,且更高的加工速度。

d). 整合型應用:本研究將多重電阻電容放電電源建構於精微線切割放電加 工機上,日後可將本電源建構於其他的加工機上以增加電源應用性,如:

建構於精微銑削機台上,可即時修整刀具,可減少刀具組裝誤差。

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參考文獻

[1] Yole Développement, Status of the MEMS industry, Yole Développement, July 2012

[2] https://www.mems-exchange.org/MEMS/fabrication.html

[3] S.T. Chen, H.Y. Yang, C.W. Du, Study of an ultrafine w-EDM technique, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.19, No.11, pp.115033-115040, 2009

[4] http://www.eetasia.com/ART 8800416404_1034362_NT_a5fd45ee.HTM [5] L. Alting, F. Kimura, H.N. Hansen, G. Bissaccoa, Micro engineering,

Annals of the CIRP, Vol.52, pp.635-637, 2003

[6] 齋藤長男、賴耿陽譯,放電加工機活用,復漢出版社,pp 7-57,1981 [7] 鳳誠三郎、蒼藤尚雄,放電加工,復漢出版社, pp5-12,1976

[8] A.G. Mamalis, G.C. Vosniakos, N.M. Vaxevanidis, Macroscope and microscopic phenomena of electro-discharge machined steel surface: an experimental investigation, Journal of Mechanical Working Technology, Vol.15, pp.335-356, 1987

[9] N.F. Petrofes, A.M. Gadalla, Processing aspects of shaping advanced materials by electrical discharge machining, Materials and Manufacturing Process, Vol.3, No.1, pp.127-157, 1988

[10] R. Bormann, Understanding die-sinking EDM surface integrity, Carbide and Tool Journal, Vol.20, No.6, pp.12-16, 1988

[11] J.P. Kruth, L. Stevens, L. Froyen, B. Lauwers, Study of the white layer of a surface machined by die-sinking electro-discharge machining, Annals of CIRP, Vol.44, No.1, pp.169-172, 1995

[12] J.S. Soni, G. Chakraverti, Experimental investigation on migration of material during EDM of die steel, Journal of Materials Processing Technology, Vol.56, pp.439-451, 1996

[13] J.C. Rebelo, A. Morao Dias, J.L. Lebrun, Influence of EDM pulse energy on the surface integrity of martensitic steels, Journal of Materials Processing Technology, Vol.84, pp. 90-96, 1998

178

[14] Y.F. Tzeng, C.Y. Lee, Effects of powder characteristics on electrodischarge machining efficiency, International Journal of Advanced Manufacturing Technology, Vol.17, pp.586-592, 2001

[15] Y.F. Tzeng, F.C. Chen, A simple approach for robust design of high-speed electrical-discharge machining technology, Machine Tools and Manufacture, vol.43, pp.217-227, 2003

[16] Y.H. Guu, AFM surface imaging of AISI D2 tool steel machined by the EDM process, Applied Surface Science, Vol.242, pp.245-250, 2005

[17] Y.Y. Hu, D. Zhu, N.S. Qu, B. Zeng, P.M. Ming, Fabrication of high-aspect-ratio electrode array by combining UV-LIGA with micro electro-discharge machining, Microsystem Technologies, Vol.15, Issue4, pp.519-525, 2008

[18] S.C. Di, X.Y. Chu, D.B. Wei, Z.L. Wang, G.X. Chi, Y. Liu, Analysis of kerf width in micro-WEDM, International Journal of Machine Tools &

Manufacture, Vol.49, pp.788-792, 2009

[19] C. Mai, H.H. Cheng, S. Huang, Advantages of carbon nanotubes in electrical discharge machining, International Journal of Advanced Manufacturing Technology, Vol.59, pp.111-117, 2011

[20] J. Wang, F.Z. Han, G. Cheng, F.L. Zhao, Debris and bubble movements during electrical discharge machining, International Journal of Machine Tools & Manufacture, Vol.58, pp.11–18, 2012

[21] J. Goda, K. Mitsui, Development of an integrated apparatus of micro-EDM and micro-C MM, Measurement, Vol.46, pp.552–562, 2013

[22] T. Magara, Power Source for Electric Discharge Machining, U.S. Patent US5149931A, 1992.

[23] Sodick Co., Ltd., Method and apparatus for achieving a fine surface finish in wire-cut EDM, United States Patent, US6130395A, 2000

[24] 林東漢,放電加工用之電源供應手段,中華民國發明專利,586980,

2001

[25] Charmilles Technologies Co. Ltd, Process and Device for Machining by Electroerosion, United States Patent, US6465754B1, 2002

[26] Mitsubishi Co. Ltd, Power Supply System for Applying A Voltage of Both

179

Positive and Negative Polarties in Electric Discharge Machining, United States Patent, , US6727455B1, 2004

[27] 財團法人工業技術研究院,自調式放電加工節能電源裝置及其方法,

中華民國發明專利,I413559,2011

[28] 顏木田,放電加工之電源控制裝置,中華民國發明專利,I357840,2012 [29] M.T. Yan, G.R. Fang and Y.T. Liu, An Experimental Study on Micro

Wire-EDM of Polycrystalline Diamond Using a Novel Pulse Generator, The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, Vol.66, No. 9-12, pp.1633-1640, 2013

[30] Y. Sakai, A. Goto, K. Nakamura, K. Hattori, K. Kobayashi, Improvement of Machining Accuracy in Wire Electrical Discharge Machining, Proceedings of 15th International Symposium on Electromachining, pp.171-174, 2007

[31] F. Han, S. Wachi, M. Kunieda, Improvement of Machining Characteristics of Micro-EDM using Transistor Type Isopulse Generator and Servo Feed Control, Precision Engineering, Vol.28, pp. 378-385, 2004

[32] D.K. Chung, H.S. Shin, B.H. Kim, C.N. Chu, High frequency micro wire edm for electrolytic corrosion prevention, International Journal Of Precision Engineering And Manufacturing, Vol.12, No.62011, pp.

1125-1128, 2011

[33] Y. Jiang, W. Zhao, X. Xi, A study on pulse control for small-hole electrical discharge machining, Journal of Materials Processing Technology, Vol.212, pp.1463– 1471, 2012

[34] 郭佳儱,微放電加工技術於 MEMS 之應用,機械月刊,第 25 卷,第 11 期,pp.304-313,1999

[35] 蕭瑞聖,微細零件之線切割放電加工,機械技術雜誌,第 120 期,pp.8-15,

1995

[36] T. Masuzawa, M. Fujino, K. Kobayashi, Wire Electro-Discharge Grinding for Micro-Machining, Annals of the CIRP, Vol.34, No.1, pp.431-434, 1985 [37] K. Egashira, T. Masuzawa, Micro ultrasonic Machining by the Application

of Work piece Vibration, Annals of the CIRP, Vol.48, No.1, pp.131-134, 1999

180

[38] W. Ehrfeld, V. Hessel, H. Löwe, C. Schulz, L. Weber, Materials of LIGA technology, Microsystem Technologies, Vol. 5, Issue 3, pp.105-112 , 1999 [39] P.E. Ciddor, K.H. Edensor, K.J. Loughry, H.M.P. Stock, A 70-metre laser

interferometer for the calibration of survey tapes and EDM equipment, Australian Surveyor, Vol.33, Issue 6, pp.493-502, 1987

[40] C. So mmer, Non-traditional machining handbook. Advance Publishing, Inc. 117-124, 2000

[41] EDM 製造產品, http://www.leechind.com/edm.html

[42] T. Masuzawa, Micro-EDM, Proceedings of the 13th international symposium for electromachining, pp.3-19, 2001

[43] T. Masuzawa, M. Fujino, Wire Electro Discharge Grinding for Micro Machining, CIRP, Vol.34, pp.431-434, 1985

[44] S.T. Chen, H.Y. Yang, Study of micro-electro discharge machining (micro-EDM) with on-machine measurement-assisted techniques, Measurement Science & Technology, Vol.22, No.6, 2011

[45] S.T. Chen, H.Y. Yang, Y.C. Lai, Z.X. Zhang, S.W. Fan, Fabrication and

[45] S.T. Chen, H.Y. Yang, Y.C. Lai, Z.X. Zhang, S.W. Fan, Fabrication and

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