• 沒有找到結果。

近十餘年來,學術界專注於奈米科學的研究。主要的原因就是當 材料被縮小至奈米尺度時,其所展現出與塊材截然不同的特殊性質。

其中,特別是低維度的奈米材料吸引了最多的注意。在零維的奈米粒 子(nano particles)或量子點(quantum dots)在催化觸媒方面展現極 高的成就時[1,2],一維的奈米柱(nanorods)[3]、奈米線(nanowires)

[4,5]

、奈米管(nanotubes)[4,6]、奈米帶(nanobelts)[7]等等愈來愈多樣 性的材料,也在各方面發展出實際應用的潛能。

的,特別是擁有極高長寬比的矽奈米線(silicon nanowires)[14]。目前 製備矽奈米線最主要都是透過 1960 年代由 Wagner 提出的固-液-氣 相法(vapor-liquid-solid method, VLS)[15,16]。氣態的矽擴散進入由矽 和金屬催化物的合金液滴,當矽的濃度過飽和時,就會從液滴析出,

當氣態矽持續加入反應,固態的矽也就不斷地在液-固界面間成長,

而矽奈米線的直徑,即取決於合金液滴的大小。從此之後,許多基於 此生長機構的方法都被發展出來。包括化學氣相沈積(chemical vapor deposition, CVD)[17]、熱揮發(thermal evaporation)[18]、雷射剝離(laser ablation)[19]等等。但是,高溫、高能量、高真空、複雜的製程、昂 貴的設備、嚴苛的條件、危險的起始物、緩慢的生長速度、不易量產,

是這些方法的共同缺點。過高的成本及技術門檻,使得這些技術只有 少數先進的實驗室能夠掌握。

另一方面,為了能夠更方便對矽奈米線做檢測,或進一步應用於 元件之中,矽奈米線的排列方向性也很重要。因此,許多研究開始針 對發展出製備矽奈米線陣列(silicon nanowire arrays)的方法。其中,

最主要的是固-液-氣相磊晶法(vapor-liquid-solid epitaxy technique,

VLSE)[20],或以陽極處理氧化鋁(anodic aluminum oxide, AAO)[21]

之類的奈米通道模版輔助。但是這樣的製程,除了有固-液-氣相法 的缺點之外,對於模板、基材、以及催化物,都有更高的要求。

最近幾年發展出的無電金屬沈積法(electroless metal deposition, 面積矽奈米線陣列的方法[25-29]。將矽晶片(silicon wafer)浸入硝酸銀

(silver nitrate)與氫氟酸(hydrofluoric acid)的水溶液,再將此系統 置入高壓彈體中,加熱至 50℃反應,即可以在矽晶片表面蝕刻出大 面積矽奈米線陣列。此法不需要外加模板,僅透過在矽基材表面自發 的電化學氧化還原反應即可完成。可說是一舉克服了以固-液-氣相 磊晶法製備矽奈米線陣列的所有缺點。從另一方面來說,此法利用矽 晶片為起始物做由大而小的反應(top-down reaction),也遠比固-液

-氣相磊晶法的由小而大反應(bottom-up reaction)更容易得到高純 度和高結晶性的產物。

然而,這種新的方法也不是全無缺點,本篇論文即基於此一方 法,對其做進一步的調整與改良。主要分為三個部份。

第一部份,嘗試在更加溫和的條件下進行反應,以解決將反應系

統加溫加壓所可能造成的危險。在這一部份中,嘗試不使用高壓彈

層金屬的奈米顆粒修飾。雖然矽有良好的半導體性質,但是長久置於 大氣之下,表面極易產生一層無結晶性的氧化絕緣層,將大幅影響矽 在電性方面的表現。此一情形在奈米尺度的矽線上更為嚴重,因此希 望能以一層金屬保護。此反應亦透過無電金屬沈積法進行,僅利用不 同金屬離子在沈積時的性質不同,對矽線表面進行修飾。同時又保有 無電金屬沈積法簡單、低成本等優點。在應用方面,最直接的就是發 展成半導體或其他電性元件,如蕭基二極體(Schottky-barrier diodes)

[30]。此外,矽奈米線陣列的表面積極大,在其表面所修飾的金屬奈米 粒子,很有潛力發展成為觸媒,且其安定性將比溶液態時更好,也更 容易達成異相催化(heterogeneous catalysis)[31]的理想。或者,以其 高長寬比,容易吸附物質的特性,發展成為偵檢器[32]。在這一部份中,

嘗試在矽奈米線陣列的表面修飾上銅或鉑的金屬奈米粒子。

相關文件