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半導體工業為現今全球成長快速的工業之一,隨著人們對於電子零件的需求 日益提高,使得半導體工業無論是軟體及硬體方面的技術皆成長得十分迅速,而 代工場聚集的台灣更是將半導體工業視為經濟發展的重點產業。

IC 封裝(Integrated Circuit Packaging)屬於半導體工業的後段製程技術,即將 晶圓切割出的IC 晶片送到封裝廠進行加工包覆,其主要目的為避免環境中的溼 氣及塵粒與晶片直接接觸而造成腐蝕失效的情況,並且可以保護內部的電路不輕 易受外力撞擊而損壞。電子設備系統是由一般規格或訂製規格的半導體積體電路 元件構裝而成,其構裝層級可分為六個層級【2】,分述如下:

1. 第一層級(Level.1)

指半導體積體電路元件(Chip)本身,在此層級晶片型態是屬於裸晶(Bare Chip),是沒有經過任何加工的;

2. 第二層級(Level.2)

將第一層級的晶片進行封裝,可分為密封單一裸晶的單晶片封裝(Single Chip Package)以及氣密密封複數裸晶的多晶片模組(Multi Chip Module);

3. 第三層級(Level.3)

將第二層級的封裝晶片裝構於印刷電路板上,形成電路卡(Card);

4. 第四層級(Level.4)

取數片電路卡,將該印刷電路板的連接器插入諸如主機板等大型印刷電路板 的連接器群,即構成部件;

5. 第五層級(Level.5)

將部件進行堆疊,並於各部件間施行配線,構成次系統;

6. 第六層級(Level.6)

並列數個次系統後,於各系統間施行配線,構成完整的電子設備系統;

銲線接合(Wire Bonding)是第二層級中的一道製程,目的是依照 R&D 部門所 設計出的附有打線資訊之CAD 圖(如圖 1.1 所示),讓打線機台讀取打線資訊,再 利用打線技術以金線連接 IC 晶片上的 I/O 墊片(Pad)與底板之引腳(Lead),使得 電子訊號得以傳輸;常見的底板有兩種,分別是導線架(Leadframe)與基板 (Substrate)。

(a) CAD 圖 (b) a 圖中框選區域之放大圖 圖1.1 附有打線資訊的CAD圖【1】

目前製作導線架的方法為工廠依據 CAD 圖上導線架的樣式以沖壓或蝕刻的 方式製造,其中,沖壓為一項機械的製程,若用來沖壓的模具設計不良或刀具不 利,則會使得製造出來的導線架有毛邊與變形的現象,蝕刻製程主要利用光罩與 光阻以曝光顯影的方式將銅片上不需要的位置露出,再以化學藥劑蝕刻掉不需要 的部份,而由於化學藥劑的濃度不均以及銅片上不同位置的蝕刻速度不相同,均 會使得製造出來的導線架與CAD 圖存在變異。

此外,由於導線架在製程精密度上的限制,封裝廠視產品的精細度與否所設 定的允收規格約為± 0.8 mil ~ ± 2 mil (1mil=25.4μm)之間,導線架廠商配合自家的 設備與製造能力,在光罩設計上以封裝廠提供的原始CAD 圖為基準稍作調整,

預留蝕刻與後續電鍍程序所需的厚度,以使得最終成品的尺寸能盡量與封裝廠的 允收規格相符,故製造出的導線架也會與CAD 圖存在變異。

由於上述導線架的加工誤差,使得導線架上每一根引腳的形狀與位置與 CAD 圖存在少許偏異,故將 CAD 圖上的打線端點座標轉換到實際導線架影像 後,端點可能偏離引腳中軸,造成實際打線時可能出現以下兩種錯誤情形:

1. 金線端點沒有完整的打在 CAD 圖指定的引腳上,造成金線端點容易彈開而 造成損壞。

2. 金線端點打在 CAD 圖指定的引腳上,但端點與墊片的距離較原先 CAD 圖指 定的端點與墊片的距離來得遠或近,若較遠則需要較長的金線連接引腳與墊 片導致成本增加,如圖1.2(b) 所示;若較近則端點可能過於接近引腳下緣,

造成端點有彈開損壞之虞。

延續上述打線端點偏離引腳中軸的問題,傳統是以人工比對 CAD 圖與導線 架影像上的端點位置,並且以人工校正其偏離引腳中軸的端點座標;此外,CAD 圖在設計時為方便線上人員觀看,讓CAD 上同一根引腳的多根線能清楚分辨,

不會因重疊而誤判而刻意使彼此間有空隙而不在引腳中軸上(如圖 1.3 所示),故 在打線端點由CAD 圖轉換到導線架影像上之後,需再以人工將端點校正至引腳 中軸上;然而導線架上常有上百個打線端點,人工校正容易產生人為誤差而將端 點校正至錯誤的引腳上,故實際打線時可能出現問題3 所述的錯誤情形:

3. 金線端點(Bonding Ball)打在錯誤的引腳或是沒有打在任何引腳上,造成損 壞,如圖1.2(c)所示。

(a)打線正確之影像 (b)端點打在引腳較高處 (c)打線至錯誤引腳影像 圖1.2 打線情形【1】

(a) CAD 圖 (b)框選區域放大圖 圖1.3 CAD 圖之打線位置標示

由於完成打線程序的元件無法重新加工,故即使在打線程序後發現該元件存 在上述問題1 與 3 時,也只能丟棄報廢無法修復,而問題 2 若打線端點較遠,雖 不影響元件的功能但累積的金線成本造成的損失仍不容忽視。

有鑒於上述的問題,本研究希望利用電腦視覺(Computer Vision)的自動光學 檢測(Automatic Optical Inspection , AOI)技術,開發一有效、快速、穩定的系 統,該系統能夠校正打線端點至正確可靠的位置,以避免上述問題的發生,降低 成品的不良率與損壞成本。

1.2 研究範圍與目的

李恕明【1】針對 1.1 節中所提到的問題 3 已提出一套 BPC (Bonding Position Check)演算法來解決,在尚未實際打線前利用母機台與子機台的虛擬打線圖,依 照打線順序比對兩者的每一根金線的端點編碼是否相同,藉以校正沒有正確的依 照CAD 圖上的打線資訊打在指定的引腳上的金線。

然而,由於上述的 BPC 演算法是檢查虛擬打線圖的打線端點座標是否位於 CAD 圖指定的引腳座標上,只要打線端點座標落在指定的引腳上即視為正確,

並未進一步探討其端點座標是否位於引腳上可靠的位置,因此仍然會出現問題1 及問題 2 所述的情形;本研究承接其虛擬打線的概念,針對前述的問題進行研

究,在實際打線前校正其虛擬打線圖上的打線端點座標至引腳之中軸,避免實際 打線時端點打到引腳邊緣,使得端點與引腳的黏著力不足造成彈開而損壞元件;

另外在自動將端點校正到引腳中軸後,提供一機制讓操作人員可以調整端點在中 軸上的位置,以因應問題2 所提到的打線問題,且以自動校正取代人工校正可避 免有人為誤差的問題產生。

1.3 論文架構

本論文架構的章節安排如下:第一章為緒論;第二章為文獻探討,介紹本研 究所提之自動光學檢測系統中硬體、軟體以及在演算法中所使用到的相關影像處 理方法;第三章為本論文之研究方法,內容主要為找出引腳中軸並校正打線端點 之演算法;第四章為使用第三章所提出的方法,對於將端點校正至引腳中軸的實 驗結果進行分析及探討;第五章則提出本研究之結論與未來研究發展目標。

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