圖 2-16 高溫燒結爐
圖 2-17 量測載子生命週期之機台
2.3.2 橢圓儀 橢圓儀 橢圓儀 橢圓儀 （ （ （Ellipsometer） （ ） ） ）
本實驗中以橢圓偏振儀來量測薄膜厚度（thickness）、折射率（Refraction Index）。 型號為 Jobin Yvon UVISEL M200 如（圖 2-18）。使用氙燈（Xe Lamp）作為光源，
可量測範圍為 1.5~5eV 之波段，圖（2-19）是橢圓儀裝置量測示意圖。
表 2-1 橢圓儀規格 Model Jobin Yvon / UVISEL M200 Spectral range: UV-VIS (280nm~750nm)
Sample stage: ＞150mm stage，fine tuned independent z and title adjustment.
Substrate: Opaque or transparent(ex..Si, SiGe, GaAs, and SOI ect.) Goniometer more than 60°to 90°, set in ＜5°per step, accuracy better than
0.02°
Measurement time typical ≦10 senconds
圖 2-18 Jobin Yvon UVISEL M200 橢圓儀
圖 2-19 橢圓儀裝置量測示意圖
2.3.3 四點探針 四點探針 四點探針 四點探針(Four-Point Probe)
本實驗中以四點探針來量測片電阻值，型號為 Model 280 CI，如（圖 2-20）。
量測種類為矽晶圓之離子佈植後片電阻、金屬薄膜片電阻、薄膜之片電阻等，只要 在其中兩個探針間加上固定之電流，並同時量測另外兩個探針間之電壓差值，就可 以計算出電阻，系統可偵測的電阻值範圍為 0.001~800,000 Ohms per Square，（圖 2-21）為四點探針示意圖。
表 2-2 四點探針規格
可量測之Wafer r最大尺寸 8 inches 或 6*6 inches square wafer
片電阻量測範圍 From<1mOhm/Sq to > 800K Ohm/Sq Cartesian maps 可測量之點 650 sites
Polar maps 可測量之點 9 to 625 sites Mapping Position can be close to the
wafer edge
Up to 3mm edge exclusion
測量結果之單位 Ohm/Sq, Ohm-cm, V/I, t(µ), t(Å) Accuracy of the electronic < 0.1% (precision resister) Measurement Repeatability < 0.2% (type)
圖 2-20 Model 280 CI 四點探針
圖 2-21 四點探針示意圖
2.3.4 紫外線光譜儀 紫外線光譜儀 紫外線光譜儀 紫外線光譜儀（ （ （ （UV Spectrometer） ） ） ）
此設備主要為量測太陽能電池之穿透反射率。表面粗化後，可藉著此機台量測 反射率，並從反射率中了解光的吸收度。其量測波長可從 300nm~900nm（圖 2-22）。
圖 2-22 量測反射率之機台
2.3.5 I-V 量測設備 量測設備 量測設備（ 量測設備 （ （Current-Voltage measurement） （ ） ） ）
本實驗中以太陽能電池 I-V 特性測量係統來量測太陽能電池之各項 I-V 特 性，I-V 量測是利用元件在不同條件下對節點施加電位所得的電流-電壓關係曲線，
用來評估元件的電性是否在我們所要求的規範內，所量出之參數有最大功率（Pm）、 效率（Eff）、短路電流（Isc）、開路電壓（Voc）、填充係數（FF），型號為 PIV-100
（100Ｖ-10Ａ），（圖 2-23）。
表 2-3 I-V 量測設備規格
圖 2-23 PIV-100 I-V 量測設備
電壓量測範圍 4 range 100V 50V 20V 10V
（最低測定電壓＝4Ｖ以上）
電流量測範圍 2 range 10A ・2A
負載方式 電子負載方式
I-V 量測 以電流做對象，量測電壓
掃描時間 最低2秒以上
量測精度 2 % Ｆ/Ｓ以内 有效數據數 120 點
電流範圍
0-10A
第三章 實驗結果與討論
本研究以 High-k HfO2當作抗反射膜的材料，HfO2抗反射膜折射率約為 2，抗 反射膜的波長設定為 400nm，計算出的抗反射膜厚度為 50nm，將抗反射膜以爐管 不同溫度退火，沉積於太陽能電池上，再利用 PIV-100（100Ｖ-10Ａ）I-V 量測設備 量測太陽能電池的電性參數，以及太陽能電池 I-V 曲線結果。