電子槍蒸鍍機使用步驟

（A）製程前置步驟：

（1）清洗水塔

電子槍中所使用的 Cryo-Pump 是以 He 氣壓縮冷卻，在冷卻的過 程中，會產生大量的廢熱，需要由水冷卻，否則溫度過高，在壓縮機 無自動關閉的情況下，易造成機台的毀損，於此所使用的冷卻系統是

開放式的冷卻水塔冷卻系統，因此水塔必需固定時間（每週兩次）清 洗，否則易造成管路堵塞。

（2）打開水源馬達以及冷卻水塔的開關。

冷卻水源及水塔的開關是獨立的，必須分別打開，並同時作用，

才能讓冷卻水所帶走的廢熱，經由冷卻水塔風散散熱。

（3）對 Cryo-Pump 充以氮氣以做再生用。(若使用前該 Pump 以達 10k，

則無須進行此步驟)

Cryo-Pump 在無開啟的狀況下，其內部逐漸回壓至一大氣壓，而 通以氮氣再生的主要是藉以沖淡其內部的水氣，否則在低溫的狀況 下，水氣易凝結成冰，進而影響壓縮。

一般而言，需以氮氣連續沖約 35 分鐘，但是於此可先於再生前用 機械 Pump 粗抽一段時間後，開氮氣再生，約5 至 10 分鐘後，再用機 械 Pump 粗抽一段時間，如此反覆 2 次，即可快速完成再生的動作。

（4）以機械 Pump 對 Cryo-Pump 進行粗抽的工作。(抽氣至壓力顯示 兩個燈的低壓等級)

再生結束後，必需先對 Cryo-Pump 初步降壓，於此後開啟 Pump 壓縮時，可縮短壓縮的時間。

（5）開啟 Cryo-Pump，並使其壓縮冷卻至 10k。

如在上述的步驟中，有無落實之處，將有可能使 Cryo-Pump 在 壓縮過程中停機，或是在不停機的狀況下仍繼續壓縮，此時將造成 Cryo-Pump 外部周圍大量結冰，不僅不能壓縮冷卻至 Cryo-Pump 所需 要的工作溫度，進而可能造成機台嚴重損壞。

（6）按下自動抽氣開關。(抽至低壓顯示登全亮)

待 Cryo-Pump 壓縮結束後，即可進入電子槍腔體內部的降壓過 程，而在機台的內部設定中，對腔體內部的抽氣流程已自動化，因此 只需自動降壓即可。

（7）開啟冰水機。

在蒸鍍的過程當中，有些許冷卻水的管路遍佈於腔壁及待鍍靶材 的底座，當蒸鍍時，會將待鍍物熔化或昇華，過程中會產生大量的廢 熱，由冰水機的水循環冷卻，將所產生的廢熱利用水循環帶走，達到 降溫的效果，否則會造成底座過熱破損。

（B） 薄膜蒸鍍製程中相關步驟：

(3) 打開電壓及電流控制開關，開始蒸鍍。

(4) 打開電子束掃瞄控制器。

(5) 啟動待鍍物旋轉裝置。

(6) 調整所須之電壓電流並以電子束掃瞄控制器控制所掃區域。

(7) 待材料開始熔化或揮發時打開蒸鍍遮罩(圖 2-10)，讓材料附 著在待鍍物上。

（C）完程薄膜製程後相關步驟：

(1) 關掉蒸鍍遮罩。

(2) 將電流歸零，關掉電劉及電壓控制器。

(3) 關閉電子束掃瞄控制器。

(4) 讓高電壓變壓裝置冷機 10 分鐘後關閉。

(5) 關閉冰水機。

(6) 破真空，打開搶體並取出待鍍物。

(7) 實驗結束後，將腔體用機械 pump 粗抽，抽氣至壓力顯示兩個 燈的低壓等級後關閉機械 pump。

(8) 將取出待鍍物後，利用粗度計與電氣性能量測儀進行薄膜