【11】證書號數：I552343
【45】公告日： 中華民國 105 (2016) 年 10 月 01 日
【51】Int. Cl.： H01L29/772 (2006.01) F03G6/00 (2006.01)
發明 全 8 頁 【54】名 稱：光驅動機械式電子元件及其操作方法
ELECTROMECHANICAL DEVICE WITH LIGHT GATING AND OPERATIONAL METHODS THEREOF
【21】申請案號：103138442 【22】申請日： 中華民國 103 (2014) 年 11 月 05 日 【11】公開編號：201618301 【43】公開日期： 中華民國 105 (2016) 年 05 月 16 日 【72】發 明 人： 高國興 (TW) KAO, KUO HSING
【71】申 請 人： 國立成功大學 NATIONAL CHENG KUNG UNIVERSITY 臺南市東區大學路 1 號 【74】代 理 人： 蔡清福 【56】參考文獻： TW 200929874A TW 201219291A WO 2013/067541A1 TW 201207377A US 2013/012633A1 審查人員：王敬雅 [57]申請專利範圍 1. 一種光驅動機械式電子元件，包含：一光源，產生一光線；一第一電極，具有一第一可 動電極臂；以及一第二電極，是一固定電極或具有一第二可動電極臂，其中，當該光線 未導向該第一可動電極臂或該第二可動電極臂時，該第一電極與該第二電極為分離狀 態，以使該第一電極與該第二電極間一漏電流為零，且當該光線導向該第一可動電極臂 或該第二可動電極臂時，該第一電極與該第二電極接觸，以形成一電子通路，俾使一導 通電流流經該電子通路。 2. 如申請專利範圍第 1 項所述之光驅動機械式電子元件，其中該光源是一內建光源或一外 部光源，該第一電極與該第二電極是由一金屬材料或一半導體材料所製成，該光線依該 光驅動機械式電子元件的一構型，而自任一未被阻擋之方向照射該第一可動電極臂或該 第二可動電極臂，當該光線自該任一未被阻擋之方向照射該第一可動電極臂時，該光線 之一光壓產生一推力，該推力使該第一可動電極臂向該第二電極移動一第一距離，而使 該第一電極與該第二電極導通，當該光線自該任一未被阻擋之方向照射該第二可動電極 臂時，該推力使該第二可動 電極臂向該第一電極移動一第二距離，而使該第二電極與該 第一電極導通。 3. 如申請專利範圍第 2 項所述之光驅動機械式電子元件，更包括一金氧半場效電晶體，其 中該固定電極是該金氧半場效電晶體的一閘極，該推力=△p/△t，△p 是一動量的變動 量，△t 是一時間的變動量，該光線照射至該第一可動電極臂或該第二可動電極臂後，因 該第一電極或該第二電極之一材質，該光線會被該第一電極或該第二電極吸收或反射， 當該光線被完全吸收時，該△p=p，當該光線被完全反射時，該△p=2p，而當該光線被 部分吸收及部分反射時，p<△p<2p，p 是該光線之一動量，當該光線具有一頻率 f 時， 該光線被視為一具有一能量 E 之粒子，E=hf=hc/λ，p=h/λ，該 h 是一普朗克常數，該 c 是該光線之一速度，該λ 是該光線之一波長。
4. 一種光驅動機械式電子元件，包含：一光源；一電極臂；以及一電極，其中當該電極臂 或該電極未被該光源照射到時，使該電極臂與該電極分離，且當該電極臂或該電極被該 光源照射到時，使該電極臂與該電極間導通。 5. 如申請專利範圍第 4 項所述之光驅動機械式電子元件， 更包括一絕緣層，其中該絕緣層 是設置於該電極臂與該電極之間，該電極臂與該電極分別接收一第一偏壓與一第二偏 壓，該電極臂包括一基座與一懸吊臂，該懸吊臂連接於該基座，該懸吊臂為一第一矩 形，該基座為一第二矩形或者該基座包含一梯形與一連接於該梯形之第三矩形。 6. 如申請專利範圍第 5 項所述之光驅動機械式電子元件，其中該第一矩形具有一相對狹長 之形狀，該懸吊臂與該基座為一體成型，且該梯形與該第三矩形亦為一體成型。 7. 一種光驅動機械式電子元件，包含：一電極；以及一電極臂，其中因應一光線之照射至 該電極臂或該電極而使該電極臂與該電極電導通，並因該光線之消失而使該電極臂與該 電極斷路。 8. 一種光驅動機械式電子元件，包含：一第一端；一第二端；以及一光動元件，結合於該 第一端或第二端或該第一端與該第二端之間，因應一光線之照射而使該兩端電連接，並 因該光線之消失而使該兩端成為斷路。 9. 一種一光驅動機械式電子元件之操作方法，其中該光 驅動機械式電子元件包括一產生一 光線之光源、一具有一電極臂之第一電極與一第二電極，該操作方法包含：當該光線未 導向該電極臂或該第二電極時，使該電極臂與該第二電極分離，以使一第一電極至第二 電極漏電流為零；以及當該光線導向該電極臂或該第二電極時，使該電極臂與該第二電 極間形成一電子通路，俾使一導通電流流經該電子通路。 10. 一種一光驅動機械式電子元件之操作方法，其中該光驅動機械式電子元件包括一光源、 一電極臂與一電極，該操作方法包含：當該電極臂或該電極未被該光源照射到時，使該 電極臂與該電極分離；以及當該電極臂或該電極被該光源照射到時，使該電極臂與該電 極間導通。 圖式簡單說明 第一圖(a)：其係顯示一依據本發明構想之第一較佳實施例的光驅動機械式電子元件未被 一光源照射時之電路示意圖。 第一圖(b)：其係顯示一依據本發明構想之第一較佳實施例的光驅動機械式電子元件在被 一光源照射時之電路示意圖。 第二圖(a)：其係顯示一依據本發明構想之第一較佳實 施例的光驅動機械式電子元件之電 極臂的一第一構型之上視圖。 第二圖(b)：其係顯示一依據本發明構想之第一較佳實施例的光驅動機械式電子元件之電 極臂的一第二構型之上視圖。 第三圖：其係顯示一依據本發明構想之第二較佳實施例的光驅動機械式電子元件未被一 光源照射時之電路示意圖。 第四圖(a)：其係顯示一依據本發明構想之第二較佳實施例的光驅動機械式電子元件之電 極臂的一第一構型之上視圖。 第四圖(b)：其係顯示一依據本發明構想之第二較佳實施例的光驅動機械式電子元件之電 極臂的一第二構型之上視圖。 第五圖(a)：其係顯示一依據本發明構想之第三較佳實施例的光驅動機械式電子元件未被 一光源照射時之電路示意圖。 第五圖(b)：其係顯示一依據本發明構想之第三較佳實施例的光驅動機械式電子元件在被 一光源照射時之電路示意圖。 10168
-第六圖：其係顯示一習知之金氧半場效電晶體之上視圖。
第七圖：其係顯示一依據本發明構想之第三較佳實施例的光驅動機械式電子元件之上視 圖。
第八圖：其係顯示一依據本發明構想之第四較佳實施例的光驅動機械式電子元件之上視 圖。
