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接觸角與塗佈

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第三章 彩色濾光片光阻塗佈

3.1 光阻塗佈技術原理

3.1.2 接觸角與塗佈

當液體塗佈在一移動之基材上時,由於慣性力的關係,在基材表面的空氣會施作 用力在液體上(圖三),其作用力的大小則與基材的速度有關。此時液體與基材表面 的 接觸角將隨基材速度的增加而增加,由於此時接觸角並非固定,故稱為動態接觸角 (Dynamic ContactAngle),當基材速度大到某個速度後(動態接觸角趨近 180),空氣 就 會滲入塗佈液膜中(圖四),此一現象稱為空氣滲入(Air Entrainment)。當此一現 象發生 即無法得到良好塗膜,故在塗佈操作時需避免發生此一現象。至於動態接觸 角的變化 則與基材速度、流體黏度及流體表面張力有關。對牛頓流體,G u t o ff 和 Kendrick(1982) (4) 由實驗結果提出兩個簡單的經驗公式:

圖 3-3 :塗佈時接觸線之作用力示意圖 資料來源: 電子與材料雜誌第 12 期[21]

圖 3-4 塗佈缺陷空氣滲入

資料來源: 電子與材料雜誌第 12 期[21]

θ= 73V 0.22μ0.18σ0.11 (7) 及接觸角 180°時

其中,V 是基材速度、μ 是塗佈流體的黏度、σ 是塗佈流體的表面張力。

若已知流體黏度即可由(7)式及(8)式來估計,避免發生空氣滲入的塗佈速度。

3.1.3 表面張力與塗佈缺陷

塗佈缺陷除了上述空氣滲入之外,跟表面張力有關的塗佈缺陷還有 Craters 、 Benard Convection Cell 、Fat Edges 、Dewetting 等,分述如下:

一、Craters

當一低表面張力顆粒如灰塵、油滴、凝膠(Gel)或其它不溶物等存在於高表面張力 液 膜表面時,由於表面張力梯度的關係,會使顆粒周遭流體往高表面張力方向流動,

而 形成凹陷,就稱作 Craters (圖五)。解決方法可降低液膜厚度、提高液膜黏度、

選用適 當的界面活性劑、維持無塵室烘箱內空氣清潔度等都可減少 Craters 發生。

圖 3-5 Craters 示意圖

資料來源: 電子與材料雜誌第 12 期[21]

二、Benard Convection Cell

液膜乾燥時因溶劑揮發太快或因溫度不均使液膜產生表面張力梯度,會使液膜產 生自然對流現象,形成所謂 BenardCell (圖六)。判斷指標是 Marangoni 數。

其中,μ 是黏度,k 是熱擴散係數(ThermalDiffusivity),h 是液膜厚度。

當 Ma 超過 80 時,即會產生 Benard Cell 。由於 Benard Cell 會造成乾燥缺陷,

解決方式 可提高液膜黏度、降低乾燥速率或改用揮發性較低的溶劑。

圖3-6 (a)因表面張力梯度所造成的Benard Cells (b)因密度梯度所造成的Benard Cell

資料來源: 電子與材料雜誌第12期[21]

三、Fat Edges

液膜的邊緣在乾燥時,溶劑除了往上揮發,也會從側邊揮發,這會使邊緣乾燥較 快,溶質濃度也會較其它地方高,這會使邊緣的表面張力變得比較高,此時,流體會 往邊緣流動,使得液膜邊緣的厚度變厚,造成所謂Fat Edges(圖七)。解決方式可降 低 乾燥速率,或加入界面活性劑來降低液膜的表面張力。

圖3-7: Fat Edges發生示意圖 資料來源: 電子與材料雜誌第12期[21]

四、Dewetting

液膜能在固體基材表面被覆,液膜的表面張力須小於基材的表面張力,若基材表 面有局部區域受到油污或其它因素的影響,使得該區域的表面張力變得比液膜小,此 時,即會產生不被覆(Dewetting)的現象(圖八)。解決方式是避免基材表面受到污染。

圖3-8: Dewetting發生示意圖

資料來源: 電子與材料雜誌第12期[21]

表面處理

為了增加塗膜液體在基材表面的被覆與接著能力,亦可針對基材表面做處理,以 增加基材表面的表面張力,特別是對水性溶液,因其表面張力較高,基材在塗佈前通 常需要做表面處理。增加基材表面張力的方法有物理方法如Corona處理、Plasma 處 理, 或用化學方法如以酸液微蝕刻基材表面等。其中,Corona 處理是最常用的,以 下簡單介 紹Corona 處理。

Corona 處理(圖九)是利用高壓放電使基材表面空氣中的氧變成臭氧,而臭氧 能活 化基材表面,因而提高塗液與基材的接著性。只是Corona 處理的效果是有時間 性,它的 效果會隨時間增加而逐漸減少,所以一般Corona 處理都是在塗佈前一段做 處理,以確保 其效果。

圖3-9 Corona裝置示意圖 資料來源:電子與材料雜誌第12期[21]

至於Corona 處理設備的選擇需考量:要處理的基材種類與表面性質、發電裝置 (Generator)的操作頻率、電極的介電性質、輪軸(Base Roll)的介電性質等因素,而實 際操 作時可用達因筆(Dyne Pen)來測量基材處理後的表面張力,以確認是否達到要 求。另外 ,在Corona 處理一個很重要的問題就是臭氧,因臭氧具腐蝕性與毒性,

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