實驗計劃分析

1.PUMP OUT 氣動閥壓力

我們分別以不同的 PUMP OUT 氣動閥壓力下對膜厚變異之影響，以 F-檢定進行 實驗條件如下圖:

測試內容 level 1 Level 2 備註

pump out 氣動閥壓力 0.2kpa 0.45kpa Normal 0.35kpa 表 4-7 pump out 氣動閥壓力 2 sample-T 檢定

利用二種不同壓力所得到之膜厚 Data

片數 0.2kpa 0.45kpa 片數 0.2kpa 0.45kpa 片數 0.2kpa 0.45kpa 1 0.1 0.13 11 0.06 0.09 21 0.1 0.1 2 0.15 0.12 12 0.08 0.1 22 0.11 0.11 3 0.11 0.09 13 0.13 0.11 23 0.12 0.09 4 0.08 0.08 14 0.12 0.12 24 0.13 0.13 5 0.12 0.09 15 0.08 0.08 25 0.12 0.15 6 0.101 0.14 16 0.15 0.07 26 0.11 0.12 7 0.09 0.16 17 0.12 0.06 27 0.08 0.11 8 0.08 0.12 18 0.09 0.07 28 0.07 0.07 9 0.09 0.09 19 0.1 0.11 29 0.07 0.08 10 0.1 0.12 20 0.09 0.12 30 0.08 0.06

表 4-8 pump out 氣動閥壓力膜厚測試數據

測試 2 種壓力,利用 Minitab F-檢定分析得知以下圖 4-16:

圖 4-16 pump out 氣動閥壓力 F-檢定分析圖

由 Regression 分析得知，P-value=0.503>0.05,do not reject H0，顯示 PUMP OUT 氣動 閥壓力對膜厚變異無明顯影響

2.Coating gap(塗佈間隙)

我們分別以不同的 Coating gap 對膜厚變異之影響，以 F-檢定進行實驗條件如下 圖:

測試內容 測試一 測試二 備註

coating gap 100um 200um Normal 150um 表 4-9 coating gap2 sample-T 檢定

利用二種不同 coating gap 所得到之膜厚變異全距 Data 如下所示:

片數 100um 200um 片數 100um 200um 片數 100um 200um 1 0.08 0.14 11 0.11 0.18 21 0.05 0.1 2 0.18 0.12 12 0.08 0.1 22 0.11 0.11 3 0.12 0.13 13 0.16 0.11 23 0.12 0.09 4 0.06 0.08 14 0.12 0.12 24 0.06 0.06 5 0.13 0.12 15 0.08 0.08 25 0.12 0.15 6 0.11 0.14 16 0.13 0.1 26 0.1 0.11 7 0.08 0.09 17 0.12 0.06 27 0.08 0.11 8 0.15 0.12 18 0.08 0.13 28 0.12 0.07 9 0.16 0.09 19 0.1 0.11 29 0.07 0.09 10 0.1 0.09 20 0.06 0.12 30 0.09 0.06

表 4-10 Coating gap 膜厚測試數據

測試 2 種不同塗佈間隙,利用 Minitab F-檢定分析得知以下圖 4-17

圖 4-17 Coating gap F-檢定分析圖

由 Regression 分析得知，P-value=0.394>0.05,do not reject H0，顯示 Coating gap 高/

低對膜厚變異無明顯影響

3.Coating speed(塗佈速度)

我們分別以不同的 Coating speed 對膜厚變異之影響，以 F-檢定進行實驗條件如 下圖:

測試條件 測試一 測試二 備註

coating speed 70mm/sec 160mm/sec normal 120mm/sec 表 4-11 coating speed 2-sample-T 檢定

利用二種不同 coating speed 所得到之膜厚 Data 如下所示:

片數 70 160 片數 100um 200um 片數 100um 200um 1 0.05 0.012 11 0.11 0.14 21 0.05 0.11 2 0.05 0.11 12 0.08 0.1 22 0.08 0.11 3 0.09 0.1 13 0.07 0.12 23 0.08 0.09 4 0.04 0.08 14 0.08 0.12 24 0.06 0.15 5 0.06 0.12 15 0.08 0.13 25 0.09 0.15 6 0.09 0.14 16 0.06 0.1 26 0.1 0.11 7 0.08 0.09 17 0.09 0.12 27 0.08 0.11 8 0.1 0.13 18 0.08 0.13 28 0.08 0.12 9 0.08 0.12 19 0.06 0.1 29 0.07 0.11 10 0.07 0.09 20 0.06 0.12 30 0.09 0.1

表 4-12 Coating speed 膜厚測試數據

測試 2 種不同塗佈速度(高/低速),利用 Minitab F-檢定分析得知以下圖 4-18

圖 4-18 Coating speed F-檢定分析圖

由 Regression 分析得知，P-value=0.025<0.05,do not reject H0，顯示 Coating gap 高/

低對膜厚變異有明顯影響

4.Coating start gap(塗佈初期間隔)

我們分別以不同的 Coating start gap 對膜厚變異之影響，以 F-檢定進行實驗條件 如下圖:

測試條件 測試一 測試二 備註

coating starat gap 25um 100um Normal 55 表 4-13 coating start gap 2-sample-T 檢定

利用二種不同 coating start gap 所得到之膜厚 Data 如下所示:

片數 25um 100um 片數 25um 100um 片數 25um 100um 1 0.11 0.04 11 0.12 0.08 21 0.09 0.05 2 0.13 0.06 12 0.11 0.06 22 0.09 0.06 3 0.09 0.06 13 0.09 0.07 23 0.12 0.08 4 0.08 0.05 14 0.08 0.08 24 0.15 0.06 5 0.11 0.06 15 0.13 0.07 25 0.12 0.05 6 0.12 0.06 16 0.1 0.06 26 0.11 0.1 7 0.07 0.06 17 0.11 0.06 27 0.1 0.08 8 0.13 0.08 18 0.13 0.05 28 0.13 0.08 9 0.09 0.06 19 0.09 0.06 29 0.11 0.07 10 0.09 0.07 20 0.12 0.06 30 0.1 0.05

表 4-14 coating start gap 膜厚測試數據

測試 2 種不同塗佈初期間隔(高/低),利用 Minitab F-檢定分析得知以下圖 4-19

圖 4-19 Coating start gap F-檢定分析圖

由 Regression 分析得知，P-value=0.038<0.05,do not reject H0，顯示 Coating start gap 高/低對膜厚變異有明顯影響

5.塗佈前 pump 洩壓量

我們分別以不同的塗佈前 pump 洩壓量對膜厚變異之影響，以 F-檢定進行實驗條 件如下圖:

測試條件 測試一 測試二 備註

塗佈前 pump 洩壓量 1cc 3cc normal 1.5cc 表 4-15 塗佈前 pump 洩壓量 2-sample-T 檢定

利用二種不同塗佈前 PUMP 洩壓量所得到之膜厚 Data 如下所示:

片數 1cc 3cc 片數 1cc 3cc 片數 1cc 3cc 1 0.11 0.1 11 0.07 0.09 21 0.1 0.11 2 0.11 0.09 12 0.09 0.1 22 0.12 0.11 3 0.11 0.09 13 0.13 0.11 23 0.12 0.12 4 0.1 0.08 14 0.12 0.12 24 0.11 0.13 5 0.11 0.11 15 0.08 0.08 25 0.12 0.11 6 0.101 0.14 16 0.12 0.07 26 0.11 0.12

7 0.1 0.16 17 0.12 0.1 27 0.11 0.11 8 0.09 0.12 18 0.11 0.09 28 0.07 0.11 9 0.11 0.09 19 0.1 0.11 29 0.08 0.08 10 0.1 0.12 20 0.09 0.12 30 0.08 0.11

表 4-16 塗佈前 PUMP 洩壓量膜厚測試數據

測試 2 種不同塗佈前 PUMP 洩壓量(高/低速),利用 Minitab F-檢定分析得知以下圖 4-20

圖 4-20 塗佈前 PUMP 洩壓量 F-檢定分析圖

由 Regression 分析得知，P-value=0.3>0.05,do not reject H0，顯示塗佈前 PUMP 洩壓 量多少對膜厚變異無明顯影響

6.pump recharge speed(pump 光阻回收速度)

我們分別以不同的 pump recharge speed 對膜厚變異之影響，以 F-檢定進行實驗 條件如下圖:

測試條件 測試一 測試二 備註

pump recharge speed 1500 3500 normal 2500 表 4-17 pump recharge speed 2-sample-T 檢定

利用二種不同 pump recharge speed 所得到之膜厚 Data 如下所示:

片數 1500 3500 片數 1500 3500 片數 1500 3500 1 0.04 0.14 11 0.12 0.09 21 0.09 0.1 2 0.08 0.13 12 0.11 0.12 22 0.09 0.1 3 0.09 0.11 13 0.09 0.12 23 0.12 0.12 4 0.08 0.09 14 0.08 0.12 24 0.15 0.11 5 0.1 0.11 15 0.13 0.12 25 0.12 0.1 6 0.11 0.11 16 0.1 0.13 26 0.11 0.08 7 0.09 0.12 17 0.11 0.11 27 0.1 0.09 8 0.09 0.13 18 0.13 0.12 28 0.13 0.1 9 0.1 0.11 19 0.09 0.1 29 0.11 0.11 10 0.12 0.09 20 0.12 0.1 30 0.1 0.12

表 4-18 pump recharge speed 膜厚測試數據

測試 2 種不同回吸速度(高/低速),利用 Minitab F-檢定分析得知以下圖 4-21

圖 4-21 pump recharge speed F-檢定分析圖

由 Regression 分析得知，P-value=0.044<0.05,do not reject H0，顯示 pump recharge speed 高/低對膜厚變異有明顯影響

7.pump 特性

我們分別以不同的 PUMP 特性對膜厚變異之影響，以 F-檢定進行實驗條件如下 圖:

測試條件 測試一 測試二 備註

PUMP 特生 CT Pump 60cc PT Pump 200cc Normal CT Pump100 表 4-19 Pump 特性 2-sample-T 檢定

利用二種不同 pump 特性所得到之膜厚 Data 如下所示:

片數 CT Pump 60cc

PT Pump

200cc 片數

CT Pump

60cc

PT Pump 200cc 片數

CT Pump

60cc

PT Pump 200cc 1 0.11 0.06 11 0.11 0.1 21 0.07 0.09 2 0.01 0.07 12 0.09 0.09 22 0.09 0.08 3 0.09 0.09 13 0.08 0.05 23 0.09 0.09 4 0.08 0.06 14 0.08 0.06 24 0.08 0.09 5 0.1 0.05 15 0.08 0.06 25 0.11 0.08 6 0.09 0.06 16 0.09 0.07 26 0.1 0.05 7 0.08 0.07 17 0.11 0.06 27 0.08 0.06 8 0.1 0.08 18 0.1 0.05 28 0.09 0.06 9 0.09 0.09 19 0.09 0.06 29 0.11 0.06 10 0.08 0.06 20 0.08 0.08 30 0.09 0.08

表 4-20 pump 特性膜厚測試數據

測試 2 種不同 pump 特生 ,利用 Minitab F-檢定分析得知以下圖 4-22

圖 4-22 pump 特性 F-檢定分析圖

由 Regression 分析得知，P-value=0.044<0.05,do not reject H0，顯示 pump 特性對膜 厚變異有明顯影響

8.光阻黏度

我們分別以不同光阻黏度來測試對膜厚變異之影響，以 F-檢定進行實驗條件如 下圖:

測試條件 測試一 測試二 備註

光阻黏度 2.5 4 normal 3.3~3.5

表 4-21 光阻黏度 2-sample-T 檢定

利用二種不同光阻黏度所得到之膜厚 Data 如下所示:

片數 2.5 4 片數 2.5 4 片數 2.5 4

1 0.06 0.12 11 0.04 0.09 21 0.05 0.11 2 0.07 0.13 12 0.06 0.12 22 0.06 0.12 3 0.06 0.09 13 0.07 0.12 23 0.08 0.11 4 0.05 0.09 14 0.05 0.06 24 0.06 0.1 5 0.06 0.11 15 0.07 0.13 25 0.05 0.11 6 0.06 0.12 16 0.06 0.11 26 0.05 0.11

7 0.06 0.08 17 0.07 0.08 27 0.08 0.1 8 0.08 0.13 18 0.05 0.15 28 0.06 0.12 9 0.06 0.09 19 0.06 0.16 29 0.07 0.11 10 0.07 0.1 20 0.06 0.1 30 0.05 0.1

表 4-22 Coating speed 膜厚測試數據

測試 2 種不同光阻黏度,利用 Minitab F-檢定分析得知以下圖 4-23

圖 4-23 光阻黏度與膜厚變異 F-檢定分析圖

由 Regression 分析得知，P-value=0.00<0.05,do not reject H0，顯示光阻黏度對膜厚變 異有明顯影響