為了有效執行作業環境測定，對於所規劃目標的背景資料必須 充分收集，才能進一部執行策略規劃及後續工作，對於作業環境測 定規劃的執行，調查之背景資料包括人員組織、製程機台分類、機 台對應之化學品清單，化學品危害資訊蒐集，歷年環測資料整理、
歷年健康檢查資料整理等，各項資料說明如下：
3.1.1 人員組織
依據我國目前勞工安全衛生法相關規章之規定及美國AIHA 之 建 議( 勞 工 安 全 衛 生 教 材 、 A Strategy for Assessing and Managing Occupational Exposure)，規劃以個人採樣方式為主，區 域採樣為輔，於測定結果顯示需進一步監測的部分，依循暴露評 估之循環迴路的精神，輔助以區域採樣之測定。故先對於會在磊 晶製程區內進行作業的人員及其職務做調查。
3.1.2 機台分類
為了掌握化學品可能的暴露來源，依機台的種類，將實廠 內磊晶製程設備分類詳列。
3.1.3 機台對應化學品清單
為了對各項可能的危害有更深入的瞭解，須標定每一個機 台使用的原物料種類。
3.1.4 化學品危害資料收集
配合原物料之物質安全資料表，整理化學品的危害資訊，
包括物化特性，國內外暴露容許溶度標準等，以利評估其暴露 危害程度。
3.1.5 歷年環測資料整理
整理歷年作業環境測定結果，作為規劃作業環境測定時參 考。
3.1.6 歷年健康檢查資料整理
整理歷年健康檢查資料，作為規劃作業環境測定時參考。
3.2 危害鑑認
3.2.1 建立 SEG 架構圖
適當的將工作人員劃分為各種相似暴露群(SEG)，同一暴 露群內每個人工作內容及暴露情境類似，可合併評估其暴露狀 況，並可以抽樣的方式針對族群中個人或少數人進行作業環境 測定，取得代表整體族群的暴露情形。根據危害等級評估結果 實行有效的管理，可以針對全部工作人員、全部工作時間、全 部健康危害物質進行系統性的評估，協助掌握工作場所內的全 盤狀況，而非僅止於瞭解侷限於各種假設之下的特定工作狀況 或針對少數人員(最高暴露群)的暴露狀況瞭解。
3.2.2 作業危害特性調查
評估一個相似暴露族群長時間的暴露情形，要考慮到該群族 的一般性作業類型，即所從事的不同作業名稱，如機台操作、添 加有機物…等，每個作業類型皆應包含其所使用的化學品、控制 措施及使用時間等危害特性。除了評估相似暴露族群的長時間暴 露之外，因為操作時間短暫而容易輕忽的非常態作業也可能造成 極高的暴露情形，這種暴露時間較短的作業類型若是只進行長時 間的測定，測定結果勢必會被其他的低暴露稀釋掉而被忽略，因 此需要特別針對作業時間較短或非每天都進行的非常態作業進 行評估，將所有非常態作業都定義出來。
3.2.3 定義作業場所
本次採樣點的規劃以人員採樣方式為主，區域採樣為輔。
3.3 初步危害分析
3.3.1 初步危害分析列表
將前述危害鑑認所定義出的SEG、非常態作業，分別依可能 的暴露危害物展開並列表，以利進行後續初步危害分析。評分項 目共分三大項，分別是健康危害等級、暴露危害等級及不確定 性，由於暴露對人員所造成的危害程度取決於暴露危害物本身的 毒性及暴露的程度，故健康危害等級評分的項目包括健康危害程 度、接觸情形、防護具等三項，依危害物本身的毒性、暴露頻率 及個人防護加以分級；暴露危害等級分為物理狀態、暴露時間、
抽風換氣及環境控制等四項，依危害物本身的物理性質（如揮發 性）、污染控制設備進行分級；至於相關資料取得之不確定性，
則考量歷年作業環境測定的結果及健康管理的狀況加以分級，對 於未知性較大（其不確定性亦較高）或人員較擔心暴露的危害 物，以風險評估的角度考量，應視為具有較高的危害。
3.3.2 初步危害分析評分
將上述鑑認後的分析項目，依照健康危害等級、暴露危害 等級及不確定性，評分標準說明如4.3 初步危害分析之說明。
3.4 實施作業環境測定
針對初步危害分析的資料，提出採樣策略，規劃採樣點，實施 作業環境測定，作業環境空氣中總砷測定係以纖維素脂濾紙為採樣 介質，經消化後，以石墨爐式原子吸收光譜儀測定。
3.5 健康影響評估研究
作業環境測定數據與年度健康檢查資料，經整理後將資料建立 於Excel 套裝軟體，以 SPSS for Windows 套裝軟體進行描述性統計
分析、t 檢定(t-test)，並設定顯著水準 P=0.05，期找出其中的相對性，
確認高暴露風險與高健康風險作業，並研擬危害預防對策。
3.6 後續改善規劃
依據作業環境測定與健康檢查評估結果，調整作業環境測定計 畫之採樣策略。