四、 結果與討論
4.5 採樣結果
4.5.1 以砷化鎵磊晶製程而言，可能有砷暴露的環境包括磊晶機台 區、管件清洗區，以 93 年至 95 年的環測數據來看，作業環 境中的砷濃度分布範圍為N.D.~0.134 mg/m3，平均值為0.013 mg/m3，作業環境測定結果遠小於法規之容許濃度 0.5 mg/m3。 4.5.2 由擦拭採樣的結果可知管件清洗區的砷濃度略高於磊晶機台
區，如圖 6。
4.5.3 作業環境中砷暴露的數據，以個人採樣及區域採樣來看，個人 採樣的濃度略高於區域採樣；以採樣時間長短區分則看不出明 顯分佈，如圖 7。採樣結果彙整如表 9 及表 10。
4.6 健康影響評估研究
因Arsine(AsH3)氣體可引起溶血，故對各相似暴露群之年度健 康檢查之血紅素測定數據進行分析，血紅素測定數值會整如表11。
4.6.1 依 94 年度 M01(磊晶工程師)的樣本有 7 個，血紅素介於 13.5~15.8g/dl；M02(設備工程師)樣本有 12 個，血紅素介於 14.8~16.3g/dl；M03(技術員 1)的樣本有 14 個，血紅素介於 11.7~17.2g/dl，上述三個 SEG 皆為男性，而 M04(技術員 2) 則皆為女性，其樣本有6 個，血紅素介於 11.8~13.6g/dl，分析 各 SEG 間之血紅素的變異數及獨立樣本，M02(設備工程師)
與 M01(磊晶工程師)顯著性檢定的結果為 0.004，故有顯著相 關性存在，其餘 SEG 間無顯著相關性存在，如圖 8~圖 15。
4.6.2 依 93 年度 M01(磊晶工程師)的樣本有 6 個，血紅素介於 13.8~17.7g/dl；M01(設備工程師)樣本有 12 個，血紅素介於 14.7~17.1g/dl；M03(技術員 1)的樣本有 12 個，血紅素介於 11.9~16.5g/dl，上述三個 SEG 皆為男性，而 M04(技術員 2) 則皆為女性，其樣本有7 個，血紅素介於 11.9~13.7g/dl，分析 各 SEG 間之血紅素的變異數及獨立樣本，皆無顯著相關性存 在，如圖 9~圖 14。
表7：初步危害分析列表
HER ER UR
SEG 代碼 測定項目
PEL_TWA接觸情形 防護具 物理狀態 暴露頻率 抽風換氣 環境控制 環境測定 健檢管理
M01 砷 4 2 3 1 1 4 3 3 2
M01 砷化氫 4 2 3 4 1 1 3 1 2
M01 磷化氫 4 2 3 4 1 1 3 1 2
M01 四氫化矽 3 2 3 4 1 1 3 1 2
M01 碲及其化合物(以碲計) 4 2 3 1 1 1 3 1 2
M01 乙矽烷 1 2 3 4 1 1 3 1 2
M02 砷 4 3 2 1 2 4 3 3 2
M02 碲及其化合物(以碲計) 4 3 2 1 2 3 3 3 2
M02 砷化氫 4 3 2 4 2 3 3 1 2
M02 磷化氫 4 3 2 4 2 3 3 1 2
M02 四氫化矽 3 3 2 4 2 3 3 1 2
M02 氟化氫 3 3 2 4 2 2 3 1 2
M02 硫酸 4 3 2 1 2 3 3 1 2
M02 硝酸 3 3 2 3 2 2 3 1 2
M02 溴酸 3 3 2 2 2 3 3 1 2
M02 乙矽烷 1 3 2 4 2 3 3 1 2
M02 磷酸 4 3 2 1 2 2 3 1 2
HER ER UR SEG 代碼 測定項目
PEL_TWA接觸情形 防護具 物理狀態 暴露頻率 抽風換氣 環境控制 環境測定 健檢管理
M02 氯化氫 3 3 2 2 2 2 3 1 2
M02 過氧化氫 3 3 2 2 2 2 3 1 2
M02 氫氧化鈉 3 3 2 1 2 3 3 1 2
M02 溴酸鈉 1 3 3 1 2 3 3 1 2
M02 四甲基銨水 1 3 2 3 2 2 3 1 2
M03 砷 4 2 3 1 3 4 3 3 2
M03 砷化氫 4 2 3 4 1 1 3 1 2
M03 磷化氫 4 2 3 4 1 1 3 1 2
M03 四氫化矽 3 2 3 4 1 1 3 1 2
M03 碲及其化合物(以碲計) 4 2 3 1 1 1 3 1 2
M03 乙矽烷 1 2 3 4 1 1 3 1 2
M04 砷 4 2 3 1 3 4 2 3 2
表 7：初步危害分析列表(續)
表8：初步危害分析評分
表9：歷年個人採樣數據 測定類型
區域 測定項目 日期 採樣時間
(分) 濃度 單位 低於
偵測極限 偵測極限 備註 分析方法
人員 管件清洗區 砷 93.10.05 420 0.003 mg/m3 - 10ng/sample 作業員： NIOSH7300&EPA Method 200.8 人員 磊晶機台區 砷 93.10.05 80 0.011 mg/m3 - 10ng/sample 作業員： NIOSH7300&EPA
Method 200.8 人員 磊晶機台區 砷 94.05.17 23 <0.005 mg/m3 是 0.2ug/sample 作業員： NIOSH7300
人員 管件清洗區 砷 94.05.17 410 0.001 mg/m3 - 0.2ug/sample 作業員： NIOSH7300
人員 管件清洗區 砷 94.10.28 113 <0.0005 mg/m3 是 0.1ug/sample 作業員： 勞3002
人員 管件清洗區 砷 94.11.25 45 <0.0013 mg/m3 是 0.1ug/sample 作業員： 勞3002
人員 磊晶機台區 砷 95.05.04 60 <0.001 mg/m3 是 0.1ug/sample 作業員： 勞3002
表10：歷年區域採樣數據
測定類型 區域 測定項目 日期 採樣時間
(分) 濃度 單位 低於
偵測極限 偵測極限 分析方法
區域 管件清洗區 砷 93.10.05 510 0.002 mg/m3 - 10ng/sample NIOSH7300&EPA Method 200.8 區域 磊晶機台區 砷 93.10.05 80 0.134 mg/m3 - 10ng/sample NIOSH7300&EPA
Method 200.8 區域 磊晶機台區 砷 94.05.17 396 0.002 mg/m3 - 0.2ug/sample NIOSH7300
區域 管件清洗區 砷 94.05.17 410 0.001 mg/m3 - 0.2ug/sample NIOSH7300
區域 磊晶機台區 砷 95.05.10 15 <0.0001 mg/m3 是 0.0001
表11：歷年擦拭採樣數據 測定類型
區域 測定點 測定項目 日期 濃度 單位 低於
偵測極限 偵測極限 分析方法
擦拭 管件清洗區 地面 砷 93.10.05 0.166 mg - 10ng/sample NIOSH7300&EPA Method 200.8 擦拭 管件清洗區 拉門 砷 93.10.05 0.14 mg - 10ng/sample NIOSH7300&EPA
Method 200.8 擦拭 磊晶機台區 機台前門板 砷 93.10.05 0.006 mg - 10ng/sample NIOSH7300&EPA
Method 200.8 擦拭 磊晶機台區 機台支架橫桿 砷 93.10.05 0.002 mg - 10ng/sample NIOSH7300&EPA
Method 200.8 擦拭 管件清洗區 地面 砷 94.05.17 3.88 mg - 0.2ug/sample NIOSH7300 擦拭 磊晶機台區 磊晶機台保養 砷 94.05.17 1 mg - 0.2ug/sample NIOSH7300 擦拭 管件清洗區 地面 砷 94.10.28 <0.1 ug 是 0.1ug/sample 勞3002 擦拭 管件清洗區 機台表面 砷 94.10.28 <0.1 ug 是 0.1ug/sample 勞3002 擦拭 管件清洗區 機台表面 砷 94.11.25 0.1125 ug - 0.1ug/sample NIOSH6001
表11：歷年擦拭採樣數據(續) 測定類型
區域 測定點 測定項目 日期 濃度 單位 低於
偵測極限 偵測極限 分析方法 擦拭 管件清洗區 地面 砷 94.11.25 0.1082 ug - 0.1ug/sample NIOSH6001 擦拭 磊晶機台區 石墨盤清潔區 砷 95.05.04 0.162 ug -
擦拭 磊晶機台區 烤箱區 砷 95.05.04 0.1536 ug -
擦拭 磊晶機台區 磊晶機台 砷 95.05.04 0.1273 ug -
0 0.002 0.004 0.006 0.008 0.01 0.012
93/8/1 93/11/9 94/2/17 94/5/28 94/9/5 94/12/14 95/3/24 95/7/2
管件清洗區 磊晶機台區
圖6：擦拭採樣結果比較圖
0 0.002 0.004 0.006 0.008 0.01 0.012
93/8/1 93/11/9 94/2/17 94/5/28 94/9/5 94/12/14 95/3/24 95/7/2
人員 區域
0 0.002 0.004 0.006 0.008 0.01 0.012
93/8/1 93/11/9 94/2/17 94/5/28 94/9/5 94/12/14 95/3/24 95/7/2
長時間 短時間
圖7：個人採樣與區域採樣結果比較圖
報表 血紅素
12.5333 6 .8641 .747
12.9750 12 .8069 .651 12.8278 18 .8288 .687 1:SEG1,2:SEG2
10.896 16 .681
11.676 17 (組合)
組間 組內 總和 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2
平方和 自由度 平均平方和 F檢定 Sig.
由於少於三組，因此無法計算 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2的線性量數。
a.
獨立樣本檢定
.130 .723 -1.070 16 .300 -.4417 .4126 -1.3164 .4330
-1.045 9.491 .322 -.4417 .4227 -1.3905 .5071 假設變異數相等
報表 血紅素
14.9286 14 1.4907 2.222
14.7857 7 .7734 .598
14.8810 21 1.2762 1.629 1:SEG1,2:SEG2
32.477 19 1.709 32.572 20
(組合) 組間
組內 總和 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2
平方和 自由度 平均平方和 F檢定 Sig.
由於少於三組，因此無法計算 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2的線性量數。
a.
獨立樣本檢定
2.367 .140 .236 19 .816 .1429 .6052 -1.1239 1.4096
.289 18.898 .776 .1429 .4941 -.8918 1.1775 假設變異數相等
報表 血紅素
15.8083 12 .5600 .314 14.9286 14 1.4907 2.222 15.3346 26 1.2221 1.494 1:SEG1,2:SEG2
5.001 1 5.001 3.712 .066
32.338 24 1.347 37.339 25
(組合) 組間
組內 總和 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2
平方和 自由度 平均平方和 F檢定 Sig.
由於少於三組，因此無法計算 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2的線性量數。
a.
獨立樣本檢定
6.628 .017 1.927 24 .066 .8798 .4566 -6.271E-02 1.8222 2.046 17.085 .056 .8798 .4300 -2.701E-02 1.7865 假設變異數相等
報表 血紅素
15.8083 12 .5600 .314
14.7857 7 .7734 .598
15.4316 19 .8049 .648 1:SEG1,2:SEG2
4.623 1 4.623 11.168 .004
7.038 17 .414
11.661 18 (組合)
組間 組內 總和 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2
平方和 自由度 平均平方和 F檢定 Sig.
由於少於三組，因此無法計算 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2的線性量數。
a.
獨立樣本檢定
.632 .437 3.342 17 .004 1.0226 .3060 .3770 1.6682
3.062 9.734 .012 1.0226 .3340 .2756 1.7696 假設變異數相等
報表 血紅素
15.6833 12 .8768 .769 15.0667 12 1.3714 1.881 15.3750 24 1.1689 1.366 1:SEG1,2:SEG2
2.282 1 2.282 1.722 .203
29.143 22 1.325 31.425 23
(組合) 組間
組內 總和 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2
平方和 自由度 平均平方和 F檢定 Sig.
由於少於三組，因此無法計算 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2的線性量數。
a.
獨立樣本檢定
1.256 .274 1.312 22 .203 .6167 .4699 -.3578 1.5911
1.312 18.706 .205 .6167 .4699 -.3678 1.6012 假設變異數相等
報表 血紅素
15.6833 12 .8768 .769 15.1000 6 1.5608 2.436 15.4889 18 1.1375 1.294 1:SEG1,2:SEG2
1.361 1 1.361 1.055 .320
20.637 16 1.290 21.998 17
(組合) 組間
組內 總和 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2
平方和 自由度 平均平方和 F檢定 Sig.
由於少於三組，因此無法計算 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2的線性量數。
a.
獨立樣本檢定
3.201 .093 1.027 16 .320 .5833 .5678 -.6204 1.7871
.851 6.627 .425 .5833 .6856 -1.0565 2.2232 假設變異數相等
獨立樣本檢定
.244 .628 -.047 16 .963 -3.333E-02 .7166 -1.5525 1.4858 -.044 8.996 .966 -3.333E-02 .7501 -1.7304 1.6637 假設變異數相等
32.867 16 2.054 32.871 17
(組合) 組間
組內 總和 血紅素 * 1:SEG1,2:SEG2
平方和 自由度 平均平方和 F檢定 Sig.
15.0667 12 1.3714 1.881 15.1000 6 1.5608 2.436 15.0778 18 1.3905 1.934 1:SEG1,2:SEG2
1.00 2.00 總和
平均數 個數 標準差 變異數