危害鑑認結果

表 5：相似暴露族群(SEG)分類表 SEG 代號 說 明 人數 使用或可能接觸的化學品

M01 磊晶工程師 1 AsH3、PH3、Si2H6、DeTe、SiH4、N2、H2、 CP2Mg、TMAl、TMGa、TMIn、砷化鎵晶片 M02 設備工程師 1 AsH3、PH3、Si2H6、DeTe、SiH4、N2、H2、

CP2Mg 、 TMAl 、 TMGa 、 TMIn 、 H2SO4、 NaOH 、 NaBrO3、 H3PO4、 NaOCl 、 HCl 、 HNO3、H2O2、NH4OH

M03 磊晶技術員 1 AsH3、PH3、Si2H6、DeTe、SiH4、N2、H2、 CP2Mg、TMAl、TMGa、TMIn、砷化鎵晶片 M04 磊晶技術員 6 砷化鎵晶片

4.2.3 作業危害特性調查

以作業觀察、人員訪談的方式，收集各相似暴露族群作業 區域、作業流程、使用之化學品、作業頻率及防護措施等資料，

調查的結果彙整如表6。

表6：作業危害特性調查表 CP2Mg、TMAl、TMGa、

TMIn、砷化鎵晶片 CP2Mg、TMAl、TMGa、

TMIn 、H2SO4、NaOH、

職別 職務 作業區域 作業流程(SOP) 設 備 或 作 業 使 用 之

4.3 初步危害分析

初步危害分析評分標準說明如下。

4.3.1 健康危害等級(Health Effect Rank；HER)

由健康危害程度、接觸情形、防護具作為健康危害等級之 判定，三項分數的平均值為健康危害等級的分數。計算公式為：

HER = (健康危害程度+接觸情形+防護具) /3。

4.3.1.1 健康危害程度

以法定八小時日時量平均容許暴露濃度標準(PEL-TWA;

單位 ppm)為判斷基準，PEL-TWA 越低，則給予的評分越高。

若沒有PEL 值則以 TLV 值替代。若是未經定義 PEL 或 TLV 值，

則參考美國環保署於 FIFRA 中建議的方法(如下表)進行評估。

美國環保署FIFRA 危害評估指標 Hazard Indicators

評分 Oral LD50 Inhalation LC50 Dermal LD50

1 >5000 mg/kg >20 mg/L >20,000 mg/kg 2 500-5000 mg/kg 2-20 mg/L 2000-20,000 mg/kg 3 50-500 mg/kg 0.2-2 mg/L 200-2000 mg/kg 4 ≦50 mg/kg ≦0.2 mg/L ≦200 mg/kg 來源：Code of Federal Regulations Title 40, Part 162.10(h)

4.3.1.2 接觸情形

依接觸的頻繁程度進行評分，分為正常操作、維修保養、

異常處理，接觸越頻繁分數越高。

4.3.1.3 防護具

依防護具的周密性進行評分，分為活性碳口罩、濾毒罐式 全面面罩、供氣式面罩，周密性越低則分數越高。

評分 健康危害等級

(HER) 接觸情形 防護具

1 PEL-TWA＞100 無接觸 Air mask

2 100≧PEL-TWA＞10 異常處理 濾毒罐式全面面罩

3 10≧PEL-TWA＞1 維修保養 活性碳口罩

4 PEL-TWA≦1 正常操作 無防護具

4.3.2 暴露危害等級(Exposure-effect Rank；ER)

暴露危害等級為物理狀態、暴露時間、抽風換氣及環境控制 等四項分數的平均值。計算公式為：

ER = (物理狀態+暴露時間+抽風換氣+環境控制) /4 4.3.2.1 物理狀態

本次規劃以蒸汽壓為評分標準，當危害物蒸汽壓越大，則表 示其可能揮發的量越大，所以可能造成危害的機會越高，因此給 予的分數越高。

4.3.2.2 暴露時間

使用或可能暴露時間係指執行該作業時，使用或可能暴露化 學品的時間，本次規劃以每週作業小時數為評分標準，作業時間 越長，分數越高。

4.3.2.3 抽風換氣

volatile liquid (VP <1 mmHg)

Non-respirable particulate, volatile liquid (VP 10~100 mmHg)

Gas, respirable particulate, volatile liquid (VP >100 mmHg)

＞30 小時/週 無控制措施 維修空間未獨立 空調系統共用

4.3.3 不確定度(uncertainty rating；UR)

不確定度為進行評估時，對該項作業暴露情形瞭解的程度，

4.3.3.2 健康管理

視關切員工健康檢查的程度進行評分，檢康管理執行越良 善，則給予的分數愈低。

評分 環測評定 健康管理 1 現場未變更，近2 次環測資料皆小

於1/100PEL_TWA 分析各類健檢結果

2 現場未變更，近1 次環測資料皆小 於1/100PEL_TWA

除法令規定項目外，針對人員疑慮 的項目，納入健康檢查特定項目

3 現場未變更，近1 次環測資料皆小

於PEL_TWA，但人員有暴露疑慮依法令規定執行健康檢查 4 現場變更，無相關環測資料 未執行健康檢查

4.3.4 總分

總分為健康危害等級(HER)、暴露危害等級(ER)、不確定 度(UR)三項得分相乘所得到的乘積。計算公式為：

總分= HER ×ER ×UR

完成初步危害分析評分後，可以得到每一個相似暴露族群 的每個危害物之相對危害性總分，將相似暴露族群危害性總分 由大至小分別排序。

4.3.5 初步危害分析列表

初步危害分析列表詳見表 7。

4.3.6 初步危害分析評分

將上述鑑認後的分析項目，依照健康危害等級、物理狀 態、使用頻率、控制措施、不確定性評分，所得結果詳見表8。