前置過濾器之處理結果

4.2 前置過濾器之處理結果

前置過濾器之階段性結果將配合圖 3.7 的流程圖呈現，其步驟為標示紅色檢 查點及尋找 N N 大小的矩形、計算綠色檢查點的數量、消除周圍為同一電路元 件的綠色檢查點、分析無法形成 N N 大小矩形的紅色檢查點。在上述步驟完成 後，會有一張標示紅色檢查點的影像與一張標示綠色檢查點的影像，我們整合紅 色與綠色檢查點以產生最後的結果。

標示紅色檢查點及尋找 N × N 大小的矩形

影像中非電路元件的區域填滿紅色檢查點，亦即將影像中黑色像素置換成紅 色像素，如圖 4.4(a)，以便接下來尋找 N N 大小的矩形。我們將 Dth定為 75nm，

因此我們需要對影像尋找 5 5 大小的矩形，若能找到這種矩形，則移除矩形中 圖 4.3 擷取電路元件範圍影像之結果。

(a)原始影像，並反白處理，藍框為欲擷取之區域，(b)擷取之後的影像。

(a) (b)

的紅色檢查點，但保留四個角落的紅色檢查點，如圖 4.4(b)。接下來可以分為兩 個部份，一部分為矩形內四個角落的紅色檢查點，如圖 4.4(c)；另一部份為無法 找到 5 5 大小的矩形所遺留下來的檢查點，如圖 4.4(d)。

(a) (b)

圖 4.4 尋找 N × N 大小矩形之結果。

(a)標示紅色檢查點，(b)尋找矩形後的結果，(c)矩形內的的綠色檢查點，(d)無 法找到矩形而遺留下來的紅色檢查點。

。

(c) (d)

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計算綠色檢查點的數量

我們在第三章提到，檢查點的數量除了與 N 的大小有關之外，尚頇考慮是 否有可能發生最壞情況。在這個階段，針對每一組的檢查點計算 x 軸方向檢查點 的數量，以及 y 軸方向檢查點的數量。圖 4.5(a)為每一組都考慮最壞情況下的檢 查點，此時綠色檢查點的數量約佔全影像的 7%；圖 4.5(b)加入考慮不會發生最 壞情況下的檢查點，此時檢查點的數量約佔全影像的 5.2%。由於這個步驟受到 實際資料影響，若所有綠色檢查點皆發生最壞情況則沒有效果，因此可以納入是 否執行的選項之一。

(a) (b)

圖 4.5 考慮是否發生最壞情況以決定綠色檢查點的數量。

(a)將所有情況視為最壞情況的綠色檢查點配置，(b)對於不會發生最壞情況的區 域以一般情況配置綠色檢查點。

消除周圍為同一電路元件的綠色檢查點

利用標籤的方式，移除周圍為同一電路元件的綠色檢查點，如圖 4.6 為其結 果。此時綠色檢查點只佔原影像的 0.2%。紅色橢圓標示處雖然是同一電路元件，

但沒有被移除，這是由於我們只觀察綠色檢查點周圍，若要改善這個部份可以觀 察較大的範圍，或者先對電路元件做連通元件（connected component）以識別是 否為相同的電路元件。

圖 4.6 消除周圍為同一電路元件的綠色檢查點。

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無法形成 N × N 以上大小矩形的紅色檢查點

對於無法形成 N × N 大小矩形的區域，我們可以針對水平方向或垂直方向 判斷是否有可能發生最壞情況，藉由這種方法可以消除一部分不必要的紅色檢查 點。圖 4.7(a)中紅色檢查點為無法形成 N × N 大小矩形的區域，圖 4.7(b)為處理 結果。這個步驟的效果受到實際資料與 Dth影響，若所有邊緣皆發生最壞情況則 沒有效果，因此可納入是否執行的選項之一。圖 4.7(a)的紅色檢查點約佔全影像 的 5.2%，而圖 4.7(b)的紅色檢查點佔全影像的 5%。

(a) (b)

圖 4.7 考慮紅色區域是否會發生最壞情況。

(a)找不到 N × N 大小矩形的區域，(b)移除水平或垂直距離不會過短的檢查點。

紅色檢查點的進一步分析

最後我們同時顯示綠色檢查點與紅色檢查點的結果，如圖 4.8(a)為針對紅色 檢查點處理的結果，圖 4.8(b)為不針對紅色檢查點處理的結果。我們將較狹長形 狀的紅色區域標示為藍色區域，如圖 4.8(c)。至此為前置過濾器處理後得到的結 果，根據顏色可分為三個區域，紅色區域將在進一步測量二維的距離，藍色區域 主要檢查一維距離（水平或垂直），綠色區域則針對綠色檢查點對應的方向測定 距離。

(a) (b)

圖 4.8 同時顯示紅色與綠色檢查點之結果。

(a)針對紅色檢查點做處理的結果，(b)不對紅色檢查點另外處理的結果，(c)針對 不同顏色區域可分別進行檢查。

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(c) 圖 4.8(續)

圖 4.8(續)