1. 電子元件的抗靜電能力加強 2. 抗靜電材開發
3. 防護設備精進
如何設置一適當的無塵室加濕能力,以及靜電防護設備的臨界預警系統,應是面 板組裝業者及學術界,還有設備廠商可以繼續研究的標的。
表 7.2 無塵室溫溼度統計表
日期 20090117
時間 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00 00:00 溼度 58.3 58.5 58.4 58.2 58.1 57.9 58.0 57.4 57.3 57.5 57.1 57.0
日期 20090118
時間 01:00 02:00 03:00 04:00 05:00 06:00 07:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 溼度 56.8 56.7 56.7 56.6 56.7 56.6 56.5 56.3 56.3 56.2 56.1 56.0
日期 20090118
時間 13:00 14:00 15:00 16:00 17:00 18:00 19:00 20:00 21:00 22:00 23:00 00:00 溼度 56.0 56.1 56.0 56.2 56.1 56.3 56.2 56.2 56.4 56.3 56.3 56.4
日期 20090119
時間 01:00 02:00 03:00 04:00 05:00 06:00 07:00 08:00 09:00 10:00 11:00 12:00 溼度 56.6 56.9 57.0 57.3 57.5 58.1 58.8 59.3 60.0 61.4 62.0 63.0
資料來源:本研究整理
參考文獻
一、 中文
1. 冉存仁、傅武雄(2003),液晶顯示器製程現場靜電問題評估與防制成效,
第二屆台灣靜電放電防護技術研討會,pp 77-81。
2. 何堃山(2005),實用電工技術問答(法規相關常識篇),文笙,pp29-34 3. 高雄科技大學電機系(2009),電工法規(工程類),電子書,第 24-29 條。
4. 郭侃誠、蕭名男、江志強、王志延、莊蕙端(2002),靜電消除器於膜厚量 測 設 備 之 應 用 與 改 善 研 究 , 第 一 屆 台灣 靜 電 放 電 防 護 技 術 研 討 會 , pp.138-142。
5. 陳永昇(2002) ,電子產業及無塵室廠房之靜電控制、檢測與改善,第一屆 台灣靜電放電防護技術研討會,pp124-127。
6. 陳蓮春譯(1999),LCD 彩色液晶顯示器原理與技術,建興出版社。
7. 曾亭嘉、黃昱仁、莊蕙端(2004),靜電防護與監測應用於平面顯示器之製 造,第10 屆全國品質管理研討會論文集,pp71-82
8. 黃建華,魏曉波,徐明,吳玲橋,鄒祥(2006),潔淨室服裝的評價方法,
第十八屆國際污染控制學術會議,會議記錄ID : 6344852
9. 劉友台、陳俊傑(1998),無塵室中防護衣的特性,纖維科技研討會。
10. 蔡燿城、江志強(2002) ,利用 ANSI/ESD S20.20-1999 建立公司的靜電放 電防制計劃,第一屆台灣靜電放電防護技術研討會,pp.138-142。
11. 魏中文(1996),無塵室內靜電現象之研究,國立交通大學機械工程研究所 碩士論文。
二、 網路
1. American Society for Testing and Materials(1993),「ASTM E 648 Flooring Radiant Panel Test」,20090407 搜尋www.astm.org/Standards/E648.htm
2. American Society for Testing and Materials(1993),「ASTM E662 - 09 Standard Test Method for Specific Optical Density of Smoke Generated by Solid
Materials」, 20090407 搜尋www.astm.org/Standards/E662.htm
3. American Society for Testing and Materials(2006),「ASTM F 150 Standard Test Method for Electrical Resistance of Conductive and Static Dissipative Resilient Flooring」, 20090407 搜尋www.astm.org/Standards/F150.htm
4. American Society for Testing and Materials(2008),「ASTM D1044 - 08 Standard Test Method for Resistance of Transparent Plastics to Surface Abrasion」,20090407 搜尋http://www.astm.org/Standards/D1044.htm
5. American Society for Testing and Materials(2008),「ASTM E84 - 09 Standard Test Method for Surface Burning Characteristics of Building Materials,
Abrasion」,20090407 搜尋http://www.astm.org/Standards/E84.htm 6. Electrostatic Discharge Association(1999),「ANSI/ESD S20.20-1999」,
20090304 搜尋http://www.esda.org/pdf_files/s2020std.pdf
7. Electrostatic Discharge Association(2003),「ANSI/ESD S541-2003」,
20090304 搜尋http://www.denclare.com/ANSI/ESD S541-2008 Packaging Materials for ESD Sensitive Items
8. ESD Association(2003),「ANSI/ESD STM3.1-2000 Ionization」,20090408 搜 尋
http://www.sematech.org/meetings/archives/other/20030912/Gary_ESD_Funda mentals_2003.pdf
9. IEEE Standards Department(1982),「IEEE Recommended Practice for Grounding of Industrial and Commercial Power Systems」,20090304 搜尋 http://hmin.tripod.com/als/ccs/docs/pdf/Greenbook.pdf
10. IEEE Standards Department(2000),「Earthing Grounding Rod」, 20090304 搜
尋http://www.pdf-search-engine.com/ieee-std-80-2000-pdf.html
11. Japanese Industrial Standards Committee(1986),「JIS K 6199-1995 testing methods for thermosetting plastics (foreign standard)」,20090407 搜尋 http://www.bylm.net/www/76/99866.html
12. Japanese Industrial Standards Committee(1986),「JIS K 7215-1986 Testing methods for durometer hardness of plastics」,20090407 搜尋
http://www.anystandards.com/jis/8/20081011/1170.html
13. National Fire Protection Association(1988),「NFPA 77: Recommended Practice on Static Electricity」,20090407 搜尋
www.nfpa.org/aboutthecodes/AboutTheCodes.asp?DocNum=77
14. National Fire Protection Association(2002),「Lightning Protection Systems Information and Sources of Lightning Protection Systems」,20090304 搜尋 http://www.nfpa.org/index.asp?cookie%5Ftest=1
15. National Fire Protection Association(2002),「National Electrical Code 2002」, 20090304 搜尋http://www.nfpa.org/index.asp?cookie%5Ftest=1
16. National Fire Protection Association(2005),「NFPA 101: Life Safety Code」,20090407 搜尋
www.nfpa.org/aboutthecodes/aboutthecodes.asp?docnum=101
17. National Fire Protection Association(2005),「NFPA 99. Standard for Health Care Facilities」,20090407 搜尋
www.nfpa.org/aboutthecodes/AboutTheCodes.asp?DocNum=99
18. Underwriters Laboratories Inc (2005),「UL 779Electrically Conductive Floorings」,20090407 搜尋http://ulstandardsinfonet.ul.com/
19. 中央氣象局(2008),「南區氣象服務」,20090211 http://south.cwb.gov.tw 20. 中國國家標準局(1984),「防靜電膠底鞋、導電膠底鞋安全技術條件」,
20090304 搜尋http://www.cqlbw.com/n51c10.aspx
21. 台灣DNV公司,「靜電防護控制管理體系ANSI/ESD S20.20-1999」,
22. 台灣SGS公司,「靜電防護控制管理體系ANSI/ESD S20.20-1999」,2008 搜尋
1215 http://www.iecq.tw.sgs.com
23. 台灣傳鼎國際有限公司,「靜電防護控制管理體系ANSI/ESD S20.20-1999」,20081215 搜尋http://www.megalinsource.com
24. 林同聖(2007),「由管理者角度看靜電防護之應用」,20080812 搜尋 www.okinternational.com.tw
25. 奇美電子網站http://www.cmo.com.tw
26. 美國軍用EMC標準(1980),「MIL-STD-1686 Electrostatic Discharge Control Program」,20090304 搜尋
http://www.everyspec.com/MIL-STD/MIL-STD+(1600+-+1699)/MIL-STD-16 86_11032/
27. 夏普網站 http://www.sharp.co.jp
28. 經濟部標準檢驗局(1984),「CNS 10785 A3203 建築材料及建築組件磨耗試 驗法(研磨紙法)」,20090407 搜尋http://www.cnsonline.com.tw/
29. 經濟部標準檢驗局(1984),「CNS 4447—k6425 塑料耐化寃藥品性檢驗法
」,20090407 搜尋http://www.cnsonline.com.tw/
30. 電子時報 http://www.digitimes.com.tw
31. 維基百科(2008),「閃電」,20090305 搜尋http://zh.wikipedia.org/w/index.php
附錄
7 8
剝離生電
物質A (電荷平衡)
接觸 分離
物質B (帶負電荷 正電荷) ) 物質A
(帶 物質B (電荷平衡)
9 10
11 12
13 14
靜電放電模式
人體放電模式
(Human-Body Model,HBM)
機器放電模式 (Machine Model,MM)
元件充電模式
(Charged-Device Model,CDM)
15
人體放電模式(HBM)的ESD是指因人體在地上走動磨 擦或其他因素在人體上已累積了靜電,當此人去碰觸到IC 時,人體上的靜電便經由IC的腳(pin)而進入IC內,再經由 IC放電到地上去。此放電的過程會在短到幾百毫微秒(ns, nanosecond,10-9sec)的時間內產生數安培的瞬間放電電流,
電流會把IC內的元件給燒毀。 nanosecond,10-9sec)的時間內產生數安培的瞬間放電電流,
電流會把IC內的元件給燒毀。
HBM與MM-->人體、機器或環境帶電
HBM是最古老且最常發生的模式,但並非最嚴重的
23
移除PC板上的Mylar 膠帶
1.5
●石英(Quartz) ●聚胺脂(Polyethylene)
●尼龍(Nylon) ●聚乙烯(Polyethylene)
●羊毛(Wool) ●聚丙烯(Polypropylene)
●絲綢(Silk) ●乙烯基(Vinyl)
●鋁(Aluminum) ●矽(Silicon)
●紙(Paper) ●鐵弗龍(Teflon)
●棉(Cotton) ↓負(Negative)
27
導電材料
認識靜電放電防制
105Ω/square 1012Ω/square
●導電材料(Conductive Materials) 電流可輕易穿過或流過的材料
●兩個導體接觸時,電荷會快速移轉
●可使用接地的方式來「中和」靜電荷
●表面電阻率小於1×105Ω/square或其體積電阻率小於 1×104Ω-cm的材料(EIA-625,MIL-263B,ESD ADV 1.0)
●帶電時電荷會分布於表面
●受材料形狀 、附近的接地或帶電物體影響
●需特別注意因感應而產生靜電的情況
●可使用Field meter量測材料上的靜電壓
28
靜電消散材料與靜電屏蔽材料
認識靜電放電防制
105Ω/square 1012Ω/square
●靜電消散材料(Static Dissipative Materials)
●穿過或流過材料的電流量由材料的表面電阻率或 表面電阻來決定
●表面電阻率至少為1×105Ω/square且小於1×1012Ω/square , 或 其體 積電阻率至少為1×104Ω-cm且小於1×1011Ω-cm (ESD ADV 1.0 , EIA-625-1994 , MIL-263B)
●與另兩種材料以電阻值的範圍作為區別
●靜電屏蔽材料(Static Shielding Material) 可防止元件遭受外界靜電場破壞的一種保護屏障
●絕緣材料(Insulative Materials) 可防止或限制電流穿過或流過的材料
●最主要的靜電源
●表面電阻率大於1×1012Ω/square或其體積電阻率大於 1×1011Ω-cm的材料(EIA-625-1994;ESDA ADV 1.0-1994)
●電阻非常大,很少電子可以流經表面或穿過材料
●可能同時在表面的不同位置上出現正負電荷
●以Field meter量測的結果僅能當作參考
●在EPA中應儘量避免使用
30
接地系統
主要目的:將靜電防護設施接地,提供一個路徑 使靜電消散材料、導電材料及個人接地設備在同 一個電位上,減少ESDS元件受到破壞。(ESD S6.1)
人員安全防護:考慮人員碰觸電源時,通過人體 的電流。故接觸人體的接地系統必須要有限流電 阻(靜電環)。
31
ESD Ground (Soft Ground)靜電放電接地 能夠使靜電產生源(人或物)藉由此路徑到接地的端點、
排線、金屬線或其他接地系統。(EIA-625)
Ground(Hard Ground)實接地
藉由電子線路或特殊設備和大地(Earth)連接的導電接點 Touch 測試鈕&手按 測試鈕
39
靜電手環/腳環 Wrist strap/heel strap
1M Ω±20% through strap
靜電消散桌墊/地板 between 2.5×104and 5×106Ω/sq
46
靜電消散紡織物品
靜電防護衣、帽
-- surface resistivity 106~ 109 Ω/sq 靜電鞋
-- surface resistivity <106 Ω/sq